JPS60246416A - 加熱電源装置 - Google Patents
加熱電源装置Info
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- JPS60246416A JPS60246416A JP59101760A JP10176084A JPS60246416A JP S60246416 A JPS60246416 A JP S60246416A JP 59101760 A JP59101760 A JP 59101760A JP 10176084 A JP10176084 A JP 10176084A JP S60246416 A JPS60246416 A JP S60246416A
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- load
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- thyristors
- thyristor
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/0019—Circuit arrangements
- H05B3/0023—Circuit arrangements for heating by passing the current directly across the material to be heated
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- Control Of Electrical Variables (AREA)
- Control Of Voltage And Current In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
゛〔発明の技術分野〕
この発明はシリコンがどを加熱成長させる加熱電源装置
特に、通電開始時（加熱初期）には高電圧を必要とし通
電最終時（加熱後期）には大電流を必要とする加熱電源
装置に関するものである。
特に、通電開始時（加熱初期）には高電圧を必要とし通
電最終時（加熱後期）には大電流を必要とする加熱電源
装置に関するものである。
第１図は従来の加熱電源装置を示す回路図であり、図に
おいて、１は１次巻線１ａと２次巻＄３１ｂｆｔ有する
タップ付変圧器、２．３は夫々一対のサイリスタを逆並
列接続したサイリスタユニットで、前記２次巻線ｌｂの
高圧タップと低圧タップとに接続されている。４はシリ
コンなどの負性抵抗特性を有する負荷で、前記サイリス
タユニット２．３を通じて電力の供給金受けている。
おいて、１は１次巻線１ａと２次巻＄３１ｂｆｔ有する
タップ付変圧器、２．３は夫々一対のサイリスタを逆並
列接続したサイリスタユニットで、前記２次巻線ｌｂの
高圧タップと低圧タップとに接続されている。４はシリ
コンなどの負性抵抗特性を有する負荷で、前記サイリス
タユニット２．３を通じて電力の供給金受けている。
次に動作について説明する。加熱前の負荷４は抵抗が高
く、高電圧の電源が必要となる。そこで、タップ付変圧
器１の高圧タップに接続されたサイリスタユニット２を
ＯＮし、負荷４には高電圧を供給する。
く、高電圧の電源が必要となる。そこで、タップ付変圧
器１の高圧タップに接続されたサイリスタユニット２を
ＯＮし、負荷４には高電圧を供給する。
サイリスタユニット２は負荷４が加熱により成長し、そ
の抵抗が下がるに従い、負荷の成長に見合った電流を通
電するように１図示しない制御回路からの出力信号で制
御されるが、電圧の低下によって力率が悪化する。この
ため、負荷に対する供給電圧が予じめ決めた規定値まで
下がったときはタップ付変圧器１の低圧タップに接続さ
れたサイリスタユニット３に前記制御回路からの出力信
号を供給しサイリスタユニツ） ２ｉＯＦＦするように
回路を切り替え、力率を良くして通電を続け、最終的に
は負荷４を大電流が流れるまでに成長させる。
の抵抗が下がるに従い、負荷の成長に見合った電流を通
電するように１図示しない制御回路からの出力信号で制
御されるが、電圧の低下によって力率が悪化する。この
ため、負荷に対する供給電圧が予じめ決めた規定値まで
下がったときはタップ付変圧器１の低圧タップに接続さ
れたサイリスタユニット３に前記制御回路からの出力信
号を供給しサイリスタユニツ） ２ｉＯＦＦするように
回路を切り替え、力率を良くして通電を続け、最終的に
は負荷４を大電流が流れるまでに成長させる。
従来の加熱電源装置は以上のように構成されているので
、高圧タップでは低電流でよいが、低圧タップになると
大電流が必要となるため、特殊なトランスが必要となり
、電流制御用のサイリスタユニットも大容量のものが必
要になるなどの欠点があった。
、高圧タップでは低電流でよいが、低圧タップになると
大電流が必要となるため、特殊なトランスが必要となり
、電流制御用のサイリスタユニットも大容量のものが必
要になるなどの欠点があった。
この発明は上記のような従来の欠点を除去するためＫな
嘔れたもので、通電開始時は数台の負荷全並列に接続し
、負荷が成長するに従い該負荷を直列接続して、全通電
区間において加熱電源出力がほぼ同一となるように構成
することにより、トランス、大容量のサイリスタユニッ
トヲ必要とせず、入力力率を調整することのできる加熱
電源装置を提供するものである。
嘔れたもので、通電開始時は数台の負荷全並列に接続し
、負荷が成長するに従い該負荷を直列接続して、全通電
区間において加熱電源出力がほぼ同一となるように構成
することにより、トランス、大容量のサイリスタユニッ
トヲ必要とせず、入力力率を調整することのできる加熱
電源装置を提供するものである。
以下、この発明の一実施例を前記第１図と同一部分に同
一符号を付した第２図について説明する。
一符号を付した第２図について説明する。
第２図において２１は主変圧器で、その２次巻線２１ｂ
の一端に第１．第２のサイリスタユニット２．３の一端
が接続され該第１．第２のサイリスタユニットの他端間
に負荷４１．４２が直列に接続されている。５，６は一
対のサイリスタを逆並列接続したスイッチとして機能す
る第３．第４のサイリスタユニットで、第３のサイリス
タユニット５は前記第２のサイリスタユニット３および
負荷４２の接続路と前記２次巻＠２１ｂの他端間に接続
され、第４のサイリスタユニット６は前記負荷４１．４
２の相互接続路と前記第３のサイリスタユニット５の前
記２次巻線２１ｂの接続端間に接続芒れている。
の一端に第１．第２のサイリスタユニット２．３の一端
が接続され該第１．第２のサイリスタユニットの他端間
に負荷４１．４２が直列に接続されている。５，６は一
対のサイリスタを逆並列接続したスイッチとして機能す
る第３．第４のサイリスタユニットで、第３のサイリス
タユニット５は前記第２のサイリスタユニット３および
負荷４２の接続路と前記２次巻＠２１ｂの他端間に接続
され、第４のサイリスタユニット６は前記負荷４１．４
２の相互接続路と前記第３のサイリスタユニット５の前
記２次巻線２１ｂの接続端間に接続芒れている。
次に動作圧ついて説明する。通電開始時、負荷４１．４
２は高圧低電流が必要となる。又通電最終時は低圧大電
流が必要となる。このため、通電開始時は、負荷４１．
４２を並列に最終時は直列に接続すれば、主変圧器２１
より見た負荷は、はぼ一定となる。
２は高圧低電流が必要となる。又通電最終時は低圧大電
流が必要となる。このため、通電開始時は、負荷４１．
４２を並列に最終時は直列に接続すれば、主変圧器２１
より見た負荷は、はぼ一定となる。
そこで、通電開始時、サイリスタユニット２゜サイリス
タユニット３．サイリスタユニット６をＯＮ、サイリス
タユニット−５ＯＦＦ（、、負荷４１゜４２を並列接続
して高電圧をかける。
タユニット３．サイリスタユニット６をＯＮ、サイリス
タユニット−５ＯＦＦ（、、負荷４１゜４２を並列接続
して高電圧をかける。
負荷４１．４２が成長し、抵抗が下がるに従い、サイリ
スタユニット２．サイリスタユニット３は図示しない制
御回路からの出力信号を受けて電流全制御し、負荷４１
．４２の成長に見合った電流を通電する。そして、負荷
に対する供給電圧が予じめ決めた規定値まで下がったと
きは、サイリスタユニット３．サイリスタユニット６−
１ＯＦＦし、サイリスタユニット２．′サイリスタユニ
ット５金ＯＮとするように、図示しない制御回路からの
出力信号で回路を切換え、負荷４１．４２’ｌ（直列に
接続する。これにより、電源側から負荷を見た電圧は２
倍、電流は１／２となり、力率が改善はれ、最終的には
負荷４１．４２には大電流が流れるまで成長する。
スタユニット２．サイリスタユニット３は図示しない制
御回路からの出力信号を受けて電流全制御し、負荷４１
．４２の成長に見合った電流を通電する。そして、負荷
に対する供給電圧が予じめ決めた規定値まで下がったと
きは、サイリスタユニット３．サイリスタユニット６−
１ＯＦＦし、サイリスタユニット２．′サイリスタユニ
ット５金ＯＮとするように、図示しない制御回路からの
出力信号で回路を切換え、負荷４１．４２’ｌ（直列に
接続する。これにより、電源側から負荷を見た電圧は２
倍、電流は１／２となり、力率が改善はれ、最終的には
負荷４１．４２には大電流が流れるまで成長する。
上記実施例では負荷４１．４２’（Ｈ２台設ける例を示
したが、前記第２図と同一部分に同一符号を付し次第３
図に示すように、負荷とサイリスタユニットを前記第２
図のように接続した多数の加熱電源ユニット８１〜８ｍ
を順次並列に接続し、隣接する一方の加熱電源ユニット
の第２．第４のサイリスタユニットの接続路と他方の加
熱電源ユニットの第１のサイリスタユニットと負荷との
接続路間に第５のサイリスタユニツ）７１，７２．・・
・を接続することにより、負荷は倒台でも設けることが
できる。又、負荷台数が多いほど負荷直並列の組合せが
多くでき、より細かな力率調整ができる利点がある。
したが、前記第２図と同一部分に同一符号を付し次第３
図に示すように、負荷とサイリスタユニットを前記第２
図のように接続した多数の加熱電源ユニット８１〜８ｍ
を順次並列に接続し、隣接する一方の加熱電源ユニット
の第２．第４のサイリスタユニットの接続路と他方の加
熱電源ユニットの第１のサイリスタユニットと負荷との
接続路間に第５のサイリスタユニツ）７１，７２．・・
・を接続することにより、負荷は倒台でも設けることが
できる。又、負荷台数が多いほど負荷直並列の組合せが
多くでき、より細かな力率調整ができる利点がある。
以上のように、この発明によれば、通電開始時は数台の
負荷を並列に接続して高電圧を供給し、負荷電流の増加
に従って負荷を順次直列忙接続するように構成したので
、大電流を流すための変圧器低圧タップ及び大容量サイ
リスタユニットを必要とせず通電開始時から通電最終時
まで力率を低下筋せることのない、構造が簡単な安価な
加熱電源装置が得られる効果がある。
負荷を並列に接続して高電圧を供給し、負荷電流の増加
に従って負荷を順次直列忙接続するように構成したので
、大電流を流すための変圧器低圧タップ及び大容量サイ
リスタユニットを必要とせず通電開始時から通電最終時
まで力率を低下筋せることのない、構造が簡単な安価な
加熱電源装置が得られる効果がある。
第１図は従来の加熱電源装置を示す回路図、第２図はこ
の発明の一実施例による加熱電源装置を示す回路図、第
３図はこの発明の他の実施例を示す回路図である。 １・パタツプ付変圧器、２．２１〜２ｍ・・サイリスタ
ユニット、３．３１〜３ｍ・・・サイリスタユニット、
４．４１〜４ｍ・・・負荷、５，５１〜５ｍ・・・サイ
リスタユニット、６．６１〜６ｍ“°゛サイリスタユニ
ツト ７１，７２．・・・・・・サイリスタユニット、
８１〜８ｍ・・・加熱ｔ ｍユニット、２１・・・主変
圧器。 ゛なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 特許出願人 三菱電機株式会社 代理人 弁理士 １）澤 博 昭 （外２名） 第１図 第２図 第３図 昭和 年 月 日 特許庁長官殿 １、事件の表示 特願昭 ５９−１０１７６０号２、発
明の名称 加熱電源装置 ３、補正をする者 代表者片山仁へ部 ４ 代 理 人 郵便番号 １０５ 住 所 東京都港区西新橋１丁目４番１０号７−−〕＼
５ 、゛）１ ｊ、イヅ）７゜ （１）明細書の特許請求の範囲の橢 （２） 明細書の発明の詳細な説明の欄６、補正の内容 （１） 特許請求の範囲を別紙のとおり補正する。 （２）明細書第４頁第３行目〜第４行目の「トランス」
を「特殊なトランス」と補正する。 ７、添付書類の目録 補正後の特許請求の範囲を記載した書面 １通以上 補正後の特許請求の範囲 一対のサイリスタを逆並列接続して一端を主変圧器の２
次巻線の一端に接続した第１．第２のサイリスタユニッ
トと、前記第１．第２のサイリスタユニットの他端に夫
々直列に接続され、かつ、相互に直列接続された複数の
負荷と、一対のサイリスタを逆並列接続して一端を前記
第２のサイリスタユニットと前記一方の負荷との接続路
に接続し他端を前記２次巻線の他端に接続した第３のサ
イリスタユニットと、一対のサイリスタを逆並列接続し
て一端を前記負荷の相互接続路に接続し他端を前記第３
のサイリスタユニットの前記２次巻線接続端側に接続し
た第４のサイリスタユニットとを備え、通電開始時は前
記負荷を並列接続とし、負荷電流の増加過程で該負荷を
直列接続とするように前記各サイリスタユニットを制御
する構成としたことを特９とする加熱電源装置。
の発明の一実施例による加熱電源装置を示す回路図、第
３図はこの発明の他の実施例を示す回路図である。 １・パタツプ付変圧器、２．２１〜２ｍ・・サイリスタ
ユニット、３．３１〜３ｍ・・・サイリスタユニット、
４．４１〜４ｍ・・・負荷、５，５１〜５ｍ・・・サイ
リスタユニット、６．６１〜６ｍ“°゛サイリスタユニ
ツト ７１，７２．・・・・・・サイリスタユニット、
８１〜８ｍ・・・加熱ｔ ｍユニット、２１・・・主変
圧器。 ゛なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 特許出願人 三菱電機株式会社 代理人 弁理士 １）澤 博 昭 （外２名） 第１図 第２図 第３図 昭和 年 月 日 特許庁長官殿 １、事件の表示 特願昭 ５９−１０１７６０号２、発
明の名称 加熱電源装置 ３、補正をする者 代表者片山仁へ部 ４ 代 理 人 郵便番号 １０５ 住 所 東京都港区西新橋１丁目４番１０号７−−〕＼
５ 、゛）１ ｊ、イヅ）７゜ （１）明細書の特許請求の範囲の橢 （２） 明細書の発明の詳細な説明の欄６、補正の内容 （１） 特許請求の範囲を別紙のとおり補正する。 （２）明細書第４頁第３行目〜第４行目の「トランス」
を「特殊なトランス」と補正する。 ７、添付書類の目録 補正後の特許請求の範囲を記載した書面 １通以上 補正後の特許請求の範囲 一対のサイリスタを逆並列接続して一端を主変圧器の２
次巻線の一端に接続した第１．第２のサイリスタユニッ
トと、前記第１．第２のサイリスタユニットの他端に夫
々直列に接続され、かつ、相互に直列接続された複数の
負荷と、一対のサイリスタを逆並列接続して一端を前記
第２のサイリスタユニットと前記一方の負荷との接続路
に接続し他端を前記２次巻線の他端に接続した第３のサ
イリスタユニットと、一対のサイリスタを逆並列接続し
て一端を前記負荷の相互接続路に接続し他端を前記第３
のサイリスタユニットの前記２次巻線接続端側に接続し
た第４のサイリスタユニットとを備え、通電開始時は前
記負荷を並列接続とし、負荷電流の増加過程で該負荷を
直列接続とするように前記各サイリスタユニットを制御
する構成としたことを特９とする加熱電源装置。
Claims (1)
- 一対のサイリスタを逆並列接続して一端金主変圧器の２
次巻線の一端に接続した第１．第２のサイリスタユニッ
トと、前記第１１第２のサイリスタユニットの他端に夫
々直列に接続され、かつ、相互に並列接続された複数の
負荷と、一対のサイリスタを逆並列接続して一端を前記
第２のサイリスタユニットと前記−万の負荷との接続路
に接続し他端を前記２次巻線の他端に接続した第３のサ
イリスタユニットと、一対のサイリスタを逆並列接続し
て一端を前記負荷の相互接続路に接続し他端を前記第３
のサイリスタユニットの前記２次巻線接続端側に接続し
た第４のサイリスタユニットとを備え、通電開始時は前
記負荷を並列接続とし、負荷電流の増加過程で該負荷を
直列接続とするように前記各サイリスタユニットを制御
する構成としたことを特徴とする加熱電源装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59101760A JPH0795246B2 (ja) | 1984-05-22 | 1984-05-22 | 加熱電源装置 |
| US06/723,284 US4617453A (en) | 1984-05-22 | 1985-04-15 | Thyristor controlled power source for gradually decreasing loads |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59101760A JPH0795246B2 (ja) | 1984-05-22 | 1984-05-22 | 加熱電源装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60246416A true JPS60246416A (ja) | 1985-12-06 |
| JPH0795246B2 JPH0795246B2 (ja) | 1995-10-11 |
Family
ID=14309186
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59101760A Expired - Lifetime JPH0795246B2 (ja) | 1984-05-22 | 1984-05-22 | 加熱電源装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4617453A (ja) |
| JP (1) | JPH0795246B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015190336A1 (ja) * | 2014-06-11 | 2015-12-17 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置、プラズマ処理装置の運用方法、及び給電装置 |
| JP2017069563A (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 東京エレクトロン株式会社 | Ｅｓｃ温度制御のためのシステムおよび方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB8611305D0 (en) * | 1986-05-09 | 1986-06-18 | Eaton Williams Raymond H | Humidifier control means |
| US6093916A (en) * | 1997-10-06 | 2000-07-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Control device with first and second power control elements to control heater drive apparatus |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57190697U (ja) * | 1981-05-27 | 1982-12-03 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2363326A (en) * | 1940-12-12 | 1944-11-21 | Westinghouse Electric & Mfg Co | Electric heating apparatus |
| US3668367A (en) * | 1969-05-15 | 1972-06-06 | Dreamland Electrical Appliance | Electrically heated pads or blankets |
| JPS58146435A (ja) * | 1982-02-24 | 1983-09-01 | Osaka Titanium Seizo Kk | 加熱用電源装置 |
-
1984
- 1984-05-22 JP JP59101760A patent/JPH0795246B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1985
- 1985-04-15 US US06/723,284 patent/US4617453A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57190697U (ja) * | 1981-05-27 | 1982-12-03 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015190336A1 (ja) * | 2014-06-11 | 2015-12-17 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置、プラズマ処理装置の運用方法、及び給電装置 |
| JP2016001638A (ja) * | 2014-06-11 | 2016-01-07 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置、プラズマ処理装置の運用方法、及び給電装置 |
| KR20170009852A (ko) * | 2014-06-11 | 2017-01-25 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 플라즈마 처리 장치, 플라즈마 처리 장치의 운용 방법 및 급전 장치 |
| US10699883B2 (en) | 2014-06-11 | 2020-06-30 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing apparatus, method of operating plasma processing apparatus, and power supply device |
| JP2017069563A (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 東京エレクトロン株式会社 | Ｅｓｃ温度制御のためのシステムおよび方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0795246B2 (ja) | 1995-10-11 |
| US4617453A (en) | 1986-10-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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