JPS60253210A - 防塵装置 - Google Patents
防塵装置Info
- Publication number
- JPS60253210A JPS60253210A JP10830784A JP10830784A JPS60253210A JP S60253210 A JPS60253210 A JP S60253210A JP 10830784 A JP10830784 A JP 10830784A JP 10830784 A JP10830784 A JP 10830784A JP S60253210 A JPS60253210 A JP S60253210A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dust
- opening
- case
- attached
- conston spring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Prevention Of Fouling (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、防塵装置に係り、特に半導体製造装置のよう
に微細な塵埃の発生が問題となるような装置に好適な防
塵装置に関するものである。
に微細な塵埃の発生が問題となるような装置に好適な防
塵装置に関するものである。
防塵装置としては、例えば、不二越カタログ屑６０００
−２０（１９８０−１０）の第６頁に示されているよう
にジャバラを用いるものが知られている。
−２０（１９８０−１０）の第６頁に示されているよう
にジャバラを用いるものが知られている。
この装置では、ジャバラがそれ自体伸縮するため、ジャ
バラ同士の機械的な接触等により塵埃が発生し、微細な
塵埃の発生が問題となる半導体製造装置に適用するには
問題がある。
バラ同士の機械的な接触等により塵埃が発生し、微細な
塵埃の発生が問題となる半導体製造装置に適用するには
問題がある。
本発明の目的は、塵埃の発生源となる機械的な接触部等
をなくすことで、塵埃の発生を抑制できる防塵装置を提
供することにある。
をなくすことで、塵埃の発生を抑制できる防塵装置を提
供することにある。
本発明は、開口部を有するケースに開口部をシールド可
能にコンストンバネの一端を取り付け、該コンストンバ
ネの他端を開口部と対応して移動可能に設けられた移動
体に取り付けたことを特徴とするもので、塵埃の発生源
となる機械的な接触部等を防塵装置自体からな（すよう
にしたものである。
能にコンストンバネの一端を取り付け、該コンストンバ
ネの他端を開口部と対応して移動可能に設けられた移動
体に取り付けたことを特徴とするもので、塵埃の発生源
となる機械的な接触部等を防塵装置自体からな（すよう
にしたものである。
本発明の一実施例を図面により説明する。
図面で、開口部１０を有するケース１１が、この場合、
縦型で開口部１０を対向させて並設されている。
縦型で開口部１０を対向させて並設されている。
ケース１１内には、開口部１０と対応してガイド１２が
設けられている。ケース１１間には、開口部ｌＯと対応
して移動可能、この場合は、上下動可能に移動体温がア
ーム１３を介してガイド１２に設けられている。ケース
１１には、開口部１０をシールド可能にコンストンバネ
（張カ一定のロール状板バネ）３０の一端が取り付けら
れ、コンストンバネ加の他端は移動体温に取り付けられ
ている。なお、コンストンバネ□□□の他端部、即ち巻
取り部はカバー２１によって保護されている。
設けられている。ケース１１間には、開口部ｌＯと対応
して移動可能、この場合は、上下動可能に移動体温がア
ーム１３を介してガイド１２に設けられている。ケース
１１には、開口部１０をシールド可能にコンストンバネ
（張カ一定のロール状板バネ）３０の一端が取り付けら
れ、コンストンバネ加の他端は移動体温に取り付けられ
ている。なお、コンストンバネ□□□の他端部、即ち巻
取り部はカバー２１によって保護されている。
移動体温がアーム１３を介しガイド１２に沿って上下動
するとコンストンバネ別は移動体温のこのような動きに
対応して伸縮しながらケース１１の開口部をシールドす
る。
するとコンストンバネ別は移動体温のこのような動きに
対応して伸縮しながらケース１１の開口部をシールドす
る。
本実施例のような防塵装置では、コンストンバネは伸縮
するものの従来の装置のジャバラのように機械的に接触
しないため、塵埃の発生を抑制できる。したがって、微
細な塵埃の発生が問題となる半導体製造装置にも、本実
施例のような防塵装置を問題なく適用することができる
。
するものの従来の装置のジャバラのように機械的に接触
しないため、塵埃の発生を抑制できる。したがって、微
細な塵埃の発生が問題となる半導体製造装置にも、本実
施例のような防塵装置を問題なく適用することができる
。
本発明は、以上説明したように、開口部を有するケース
に開口部をシールド可能にコンストンバネの一端を取り
付け、該コンストンバネの他端を開口部と対応して移動
可能に設けられた移動体に取り付けたことで、塵埃の発
生源となる機械的な接触部等が防塵装置自体からなくな
るので、塵埃の発生を抑制できるという効果がある。
に開口部をシールド可能にコンストンバネの一端を取り
付け、該コンストンバネの他端を開口部と対応して移動
可能に設けられた移動体に取り付けたことで、塵埃の発
生源となる機械的な接触部等が防塵装置自体からなくな
るので、塵埃の発生を抑制できるという効果がある。
図面は、本発明による防塵装置の一実施例を示す縦断面
図である。
図である。
Claims (1)
- １、 開口部を有するケースに前記開口部をシールド可
能にコンストンバネの一端を取り付け、該コンストンバ
ネの他端を前記開口部と対応して移動可能に設けられた
移動体に堆り付はたことを特徴とする防塵装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10830784A JPS60253210A (ja) | 1984-05-30 | 1984-05-30 | 防塵装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10830784A JPS60253210A (ja) | 1984-05-30 | 1984-05-30 | 防塵装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60253210A true JPS60253210A (ja) | 1985-12-13 |
Family
ID=14481382
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10830784A Pending JPS60253210A (ja) | 1984-05-30 | 1984-05-30 | 防塵装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60253210A (ja) |
-
1984
- 1984-05-30 JP JP10830784A patent/JPS60253210A/ja active Pending
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