JPS60253300A - Ｉｃ基板のハンドリング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明はＩＣ基板のハンドリング装置に係シ、特に基板
に工Ｃを挿着したり基板からＩＣを抜き取る場合の基板
の自動供給、収納を行うのに好適な工Ｃ基板のハンドリ
ング装置に関する。

〔発明の背景〕

第１図は従来のＩＣ基板のノ・ンドリング装置の一例を
示している。このハンドリング装置は、テーブル上面に
作業ステージ言ンとしての基板ガイドレール２ａ、２’
ｂを設置した固定式の作業テーブル−と、基板ラヅク４
を設置したエレベータ３と、基板ハンドリングユニット
５とを備え、基板ハンドリングユニット５の前面にエレ
ベータ３を、そのエレベータ３の前面に作業テーブル１
を、その作業テーブル１の前面に工Ｃ挿着ヘッド６およ
び工Ｃ抜取ヘッド７を有し、かつ前後に移動可能なＩＣ
着脱ユニット８を、それぞれ配置した構成となっている
。

次に前記ＩＣ基板のノ・ンドリング装置の作用にを ついて説明すると、検査済のＩＣ塔載し、エレペ△ 一夕３の基板ラック４の基板レール４ａ、４ｂＫ置かれ
ている基板にけ、基板ハンドリングユニット５の動作に
より作業テーブル１の基板ガイドレール２ａ、２ｂに移
し替えられセットされる。これに対して、ＩＣ着脱ユニ
ット８が移動してきて、作業テーブル１にセットされた
基板の検査済ＩＣの抜き取り、およびＸＣを抜き取った
その位置への未検工Ｃの挿着動作を繰り返し行う。そし
て未検のＩＣを基板に全部挿着したら、該基板Ｋを基板
ハンドリングユニット５により作業テーブル１からエレ
ベータ３の基板ラック４に戻す。

しかし、前述の基板ハンドリング装置では、基板ハンド
リング５の動作ストロークが長くなる問題がある。

第２図も従来のＩＣ基板のハンドリング装置を示し、テ
ーブル上面に抜取専用ステーシロン１２Ａおよび挿着専
用ステージ目ン１２Ｂを設置した１台の固定式作業テー
ブル１１と、基板ラック１４Ａ、１４Ｂをそれぞれ設置
した２台のエレベータ１３Ａ、１３Ｂと、２台の基板ハ
ンドリングユニット１５Ａ、１５Ｂとを備え、工Ｃ挿着
ヘッド１６および工Ｃ抜取ヘッド１７を移動させながら
３− ＩＣの着脱を行う構成となっている。尚、図中１２ａ、
１２ｋ）は抜取専用ステージ嘗ン１２Ａの基板ガイドレ
ール、１２０．１２１）は挿着専用ステージ璽ン１２Ｂ
の基板ガイドレール、ｊ４ａ、１４ｂは基板ラック１４
Ａの基板ガイドレール、１４ａ％　１４ａは基板ラック
１４Ｂの基板ガイドレールを示す。

この基板ハンドリング装置は、基板ハンドリングユニッ
ト１５Ａにより検査済のＩＣを搭載された基板Ｋを基板
ラック１４Ａから抜取専用ステージ、ン１２Ａにセット
し、そこで空になった基板４Ｂから挿着ステーシロン１
２Ｂにセットし、そこで未検のＩＣを搭載された基板Ｘ
を再び基板ラック１４Ｂに戻す。

しかし、前述の基板ハンドリング装置では、各基板ハン
ドリング装置ツ）１５Ａ、１５Ｂが作業テーブル１１上
で各々の作業をされた基板Ｋを一旦各々の基板ラック１
４Ａ、１４Ｂに戻してから４− 次に新しい基板を抜取専用ステージ言ン１２Ａ、挿着専
用ステージ冒ン１２Ｂにそれぞれセットするため基板の
ハンドリングに時間がかかる問題がある。また抜取側と
挿着側とでは使用基板が別々となるため、抜取側で空に
なった基板をそのま＼挿着側で直ちに使用する第１図の
方式に比べて検査用基板の保有数を２倍にしなくてはな
らない問題がある。さらに、基板ハンドリングユニット
１５Ａ、１５Ｂの動作ストロークが長くなる問題もある
。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、前述した従来技術の問題点を解消し、
基板のハンドリングを短時間で行え、抜取り作業で空に
なった基板を挿着側で直ちに使用できて基板の保有数が
少なくてすみ、しかも基板ハンドリングユニットの動作
ストロークを短かくできる工Ｃ基板のハンドリング装置
を提供することにある。

〔発明の概要〕

この目的を達成するために、本発明のＩＣ基板のハンド
リング装置は、基板供給側エレベータおよび基板収納側
エレベータと、回転軸を中心にそれぞれ回転可能な基板
ローダおよび基板アンローダと、基板中間ローダと、前
後、左右に移動可能な作業テーブルとを備え、基板供給
側エレベータ、基板ローダ、基板中間ローダおよび基板
アンローダ、基板収納側エレベータをその順序に横一列
に配置し、かつ作業テーブルを両エレベータの間におい
て基板ローダ、基板中間ローダ、基板アンローダの前面
側に配置し、工Ｃ挿着ヘッドを基板収納側エレベータ寄
りにおいて作業テーブルの前面側に、かつＩＣ抜取ヘッ
ドを基板収納側エレベータ寄りにおいて作業テーブルの
前面側にそれぞれ配置し、基板供給側エレベータに検査
済ＩＣを搭載した基板を複数枚収納し、かつ該基板の出
口を基板ローダの側面側に向けた基板ラックを設置し、
基板収納側エレベータに未検工Ｃを挿着された基板を収
納でき、かつ該基板の人口を基板アンローダの側面側に
向けた基板ラックを設置し、基板ローダ、基板中間ロー
ダおよび基板アンローダの各上面に、基板の両側辺を支
持して該基板を水ホ０ 平保持するサポータと、基板の前辺をクランプするクラ
ンプ爪および該クランプ爪を前進、後退させる駆動ユニ
ットとをそれぞれ設置し、作業テーブルの上面の基板供
給側エレベータ寄りに工Ｃ抜取ステーションとしての基
板ガイドレールを、かつ基板収納側エレベータ寄りに工
Ｃ挿着ステーシリンとしての基板ガイドレールをそれぞ
れ設置した構成とし、検査済ＩＣの搭載された基板を供
給側の基板ラックから取り出し、３台の基板ハンドリン
グユニットおよび作業テーブルを介してトランスファー
させていき、最終的に未検工Ｃが挿着された基板を収納
側の空ラックへ収納していくものである。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を第３図により説明する０第３
図は本発明によるＩＣ基板のハンドリング装置の平面図
を示している。この基板ハンドリング装置は、基板供給
側エレベータ３１および基板収納側エレベータ３２と、
基板ローダ３３．基７− 板中間ローダ３４および基板アンローダ３５と、作業テ
ーブル３６とを備えている。前記の基板供給側エレベー
タ３１、基板ローダ３３、基板中間ローダ３４、基板ア
ンローダ３５、基板収納側エレベータ３２はその順序に
横一列に配置され、作業テーブル３６は両エレベータ３
１．３２の間において基板ローダ３３、基板中間ローダ
３４、基板アンローダ３５の前面側に配置されている。

そして、ＩＣ着脱装置の工Ｃ挿着ヘッド３７が基板収納
側エレベータ３２寄りにおいて作業テーブル３６の前面
側に、かつ工Ｃ抜取ヘッド３８が基板供給側エレベータ
３１寄りにおいて作業テーブル３６の前面側にそれぞれ
配置されている。基板供給側エレベータ３１には検査済
のＩＣを搭載した基板Ｋを複数枚収納でき、かつ該基板
の出口を基板ローダ３３の側面に向けた基板ラック３９
が設置されている。基板ラック３９には基板ガイドレー
ル４０ａ、４０ｂが取付けられている。また基板Ｋには
カードブラー４１　ａ１４１１１が付いている。基板収
納側エレベータ３２には未検のＩＣを、−８７ 挿着した基板を収納でき、かつ該基板の入口を基板アン
ローダ３５の側面に向けた基板ラック４２が設置されて
いる。基板ラック４２には基板ガイドレール４３ａ、４
３ｂが取付けられている。基板ローダ３３、基板中間ロ
ーダ３４および基板アンローダ３５の各上面には、基板
の両側辺を溝部で支持して基板を水平保持するサポータ
４４ａ１４４ｂ、４５ａ、４５ｂ、４６ａ、４６ｔ＋と
、基板の前辺をクランプするクランプ爪４７ａ、４７ｂ
、４８ａ、４８ｂ、４９　ａ、　４９　ｂオｘＵ該クラ
ンプ爪を前進、後退させるための駆動ユニット５０．５
Ｌ　５２とがそれぞれ設置されている。

前記の各サポータは基板にのカードブラー４１ａ、４１
ｂの通過をスムーズに行わすため、駆動ユニッ）５０．
５１．５２の前進、後退に同期して左右に開閉できる構
成となっている。また基板ローダ３３は回転軸５３を中
心として時計方向に９０回転でき、基板アンローダ３５
は回転軸５４を中心として反時計方向に９０回転できる
ようになっている。基板中間ローダ３４は固定して設置
されている。

一方、作業テーブル３６の上面の基板収納側エレベータ
３２寄りには工Ｃ挿着ステーショントシての基板ガイド
レール５５ａ、５５１）が、基板供給側エレベータ３１
寄りには工Ｃ抜取ステーションとしての基板ガイドレー
ル５６＆、５６１）がそれぞれ設置されている。また作
業テーブル３６は前後、左右に移動できるようになって
いる。尚、この実施例ではＩＣの抜取り、挿着作業のタ
クトタイムを下げるため、工Ｃ抜取へ、ド３８と工Ｃ挿
着ヘッド３７とを固定してセットし、作業テーブル３６
を遂−移動させながらＩＣの抜取りと挿着とを同時に行
う例を示している。

次に本発明の作用について説明する。基板供給側エレベ
ータ３１を駆動して基板ラック３９のある段にある基板
を取出レベルまでもってくる。基板ローダ３３を回転軸
５３を中心に時計方向に９０回転させて基板ラック３９
に対向させる。その位置で駆動ユニツ）５０ａを前進さ
せ基板Ｋをクランプ爪４７ａ、４７ｂでクランプする。

この時溝付サポータ４４ａ、４４ｂは基板のカードプラ
ー４１＆、４１　ｂを迎え入れるために左右に開いて退
避している。基板をクラブ　したまま駆動ユニッ）　５
０ａを後退さ・Ｌると基板は基板ラックのガイドレール
４ｏａ、４Ｑｂをすべって基板ローダ３３上へ移動し、
また、基板が迎え入れられるのと同期して、カードプラ
ー４０ａ１４０ｂが通過し終った時溝付サポータ４４１
Ｌ、４４１）が閉じて基板の左右の辺を支持する。そし
て基板を持ったまま基板ローダ３３を反時計回りに９０
回転させてもとにもどし作業テーブル３６に対向させる
。次いで駆動ユニツ）５０ａを前進させると基板トレー
ル５６ａ、５６ｂにセットされる。この時も溝付サポー
タ４４ａ、４４’ｂは基板の前進と同期して左右へ開き
カードプラー４３ａ、４０ｂを通過させる。作業テーブ
ル３６上の抜取ステージ冒ンのガイドレール５６！Ｌ、
５６１）にある検査済のＩＣが搭載された基板は作業テ
ーブル３６によ１１− って移動し工Ｃ抜取ヘッド３８でＩＣを抜き取られてい
き、作業が終った時点で空になった基板を載せた作業テ
ーブル３６は左の方向へ１ピツチ移動シており、抜取ス
テージワンのガイドレール５６ａ、５６ｂが基板中間ロ
ーダ３４に対向する位置に来ることになる。以下この位
置をＭＹテーブルの第２原点と呼ぶ。

作業テーブル３６が第２原点にある状態で、中間ローダ
３４は、抜取ステージ、ンのガイドレール５６ａ、５６
１）にある空になった基板を引き出して保持する。一方
基板ローダ３３は抜取作業の行われている間に上記の動
作を繰り返し基板ラック３９の次の段から検査済のＩＣ
の搭載された基板を取り出して待機している。

この状態で、作業テーブル３６を右へ１ピツチ移動させ
原点へ戻して、基板ローダ３３により、検査済のＩＣの
搭載された基板を抜取側のガイドレール５０ａ、５６ｂ
にセットし、基板中間ローダ３４により抜取作業を経て
空になった基板を挿入側のガイドレール５５ａ、５５ｂ
にセットする一１２＝ 。この状態で作業テーブル３６を移動させガイドレール
５４ａ、５４１）側では工Ｃ抜取ヘッド３８にて抜取作
業を、ガイドレール５５ａ、５５１）側では工Ｃ挿着ヘ
ッド３７にて未検のＩＣの挿着作業を同時に行う。

作業を終えて第２原点へ作業テーブル３６が来ると、ガ
イドレール５６ａ、５６ｂは基板中間ローダ３４に対向
し、ガイドレール５５ａ、５５１）は基板アンローダ３
５に対向する。この位置で、基板中間ロニダ３４は空に
なった基板を一旦保持し、基板アンローダ３５は、未検
のＩＣが搭載された基板を引き出す。そして作業テーブ
ル３６は原点へ帰るが、その間に基板アンローダ３５は
回転軸５４を中心に反時計方向に９０″回転し、その位
置で未検のＩＣの搭載された基板を基板ラック４２のガ
イドレール４３　’　ｓ　４３　ｂに収納してゆく。以
上述べた動作を繰り返すことによって、基板ラック３９
にセットされた検査済のＩＣの搭載された基板は、基板
ローダ３３、基板中間ローダ３４、基板アンローダ３５
と作業テーブル３６を春分して、未検のＩＣを新たに搭
載されて基板ラック４２に収納されていく。従って、本
発明によるハンドリング装置では、基板が次々と右から
左へトランスファーされていくため、各々の基板ハンド
リングユニットが第２図に示すように作業の終った基板
を一旦収納してから新基板を供給するという形をとらな
くてすみ、基板ローダ３３はいつでも新基板を持ったま
ま次のローディング時期を待ち基板アンローダ３５はい
つでも空のまま次のアンローディングの時期を待つため
基板のハンドリング時間が少くてすむ。また検査法のＩ
Ｃを抜き取られて空になった基板にそのまますぐに未検
のＩＣを挿着するため検査用の基板の保有数を最小限に
おさえることができる。また基板ハンドリングユニット
の前進後退のストロークが第２図に示す実施例の半分に
なり、基板ハンドリングの時間を短くすると共に、ユニ
ットがコンパクトになる長所もある。また、各々の基板
ハンドリングユニットに開閉式の溝付サポータを設置し
たことでカードプラー付基板のハンドリングを可能とし
た長所がある。さらには、基板ローダ３３と基板アンロ
ーダ３５に回転機能を付けたため、基板供給側および収
納側エレベータ３１．３２と作業テーブル３６と基板ハ
ンドリングユニットの配置を理想的にコンパクト化する
ことができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、次のような効果
が得られる。

（１）基板のハンドリング時間の短縮を図れる。

（２）　検査用基板の保有数を最小限におさえることが
できる。

（３）基板ハンドリングユニットの動作ストロークを短
かくできる。

（４）基板ハンドリングユニットのコンパクト化および
ハンドリング装置全体のコンパクト化を図れる。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は従来のＩＣ基板のハンドリング装
置を示す平面図、第３図は本発明のＩＣ基板のハンドリ
ング装置の一実施例を示す平面図１５− である。 ３１・・・基板供給側エレベータ　３２・・・基板収納
側エレベータ　３３・・・基板ローダ　３４・・・基板
中間ローダ　３５・・・基板アンローダ　３６・・・作
業テーブル　３７・・・工Ｃ挿着ヘッド　３８・・・■
ｃ抜取へｙド　３９，４２・・・ｌＨＮうｙり　４４ａ
、４４ｂ、４５ａ、４５ｂ、４５ａ、４６ｂ、、、溝付
サポート　４７　ａ、　４７ｂ　、　４ｊ３ａ　、　４
８　ｂ、　４９　ａ　。 ４９ｂ・・・クランプ爪　５０，５１．５２・・・駆動
ユニット　５３．５４・ｌｉｍ転軸　５５ａ、５５１）
。 ５５ａ、５６ｂ・・・基板ガイドレール。 、−１（３＝

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、基板供給側エレベータおよび基板収納側エレベータ
   と、回転軸を中心にそれぞれ回転可能な基板ロータおよ
   び基板アンローダと、基板中間ローダと、前後、左右に
   移動可能な作業テーブルとを備え、基板供給側エレベー
   タ、基板ローダ、基板中間ローダおよび基板アンローダ
   、基板収納側エレベータをその順序に横一列に配置し、
   かつ作業テーブルを両エレベータの間において基板ロー
   ダ、基板中間ローダ、基板アンローダの前面側に配置し
   、工Ｃ挿着ヘッドを基板収納側エレベータ寄りにおいて
   作業テーブルの前面側に、かつ工Ｃ抜取ヘッドを基板供
   給側エレベータ寄りにおいて作業テーブルの前面側にそ
   れぞれ配置し、基板供給側エレベータに検査済工Ｃを塔
   載した基板を複数枚収納し、かつ該基板の出口を基板ロ
   ーダの側面側に向けた基板ラックを設置し、基板収納側
   エレベータに未検工Ｃを挿着された基板を収納できかつ
   該基板の入口を基板アンローダの側面側に向けた基板ラ
   ックを設置し、基板ローダ、基板中間ローダおよび基板
   アンローダの各上面に、基板の両側辺を支持して該基板
   を水平保持するザボータと、基板の前辺をクランプする
   クランプ爪および該クランプ爪を前進、後退させる駆動
   ユニットをそれぞれ設置し、作業テーブルの上面の基板
   供給側エレベータ寄りに工Ｃ抜取ステージ冒ンとしての
   基板ガイドレールを、かつ基板収納側エレベータ寄りに
   工Ｃ挿着ステージ璽ンとしての基板ガイドレールをそれ
   ぞれ設置したことを特徴とするＩＣ基板のハンドリング
   装置。 ２、基板ローダ、基板中間ローダおよび基板アンローダ
   の各サポートは、駆動ユニットの前進、後退に同期して
   左右に開く構成となっていることを特徴とする特許請求
   の範囲第１項記載のＩＣ基板のハンドリング装置。