JPS60255645A - 固有の熱膨張挙動を有するガラスセラミツクス - Google Patents

固有の熱膨張挙動を有するガラスセラミツクス

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JPS60255645A
JPS60255645A JP60109495A JP10949585A JPS60255645A JP S60255645 A JPS60255645 A JP S60255645A JP 60109495 A JP60109495 A JP 60109495A JP 10949585 A JP10949585 A JP 10949585A JP S60255645 A JPS60255645 A JP S60255645A
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glass
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Schott AG
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Schott Glaswerke AG
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C10/00Devitrified glass ceramics, i.e. glass ceramics having a crystalline phase dispersed in a glassy phase and constituting at least 50% by weight of the total composition
    • C03C10/0018Devitrified glass ceramics, i.e. glass ceramics having a crystalline phase dispersed in a glassy phase and constituting at least 50% by weight of the total composition containing SiO2, Al2O3 and monovalent metal oxide as main constituents
    • C03C10/0027Devitrified glass ceramics, i.e. glass ceramics having a crystalline phase dispersed in a glassy phase and constituting at least 50% by weight of the total composition containing SiO2, Al2O3 and monovalent metal oxide as main constituents containing SiO2, Al2O3, Li2O as main constituents

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、結晶化を調整することによって透明なh−石
英固溶体を含むガラスセラミックスに転換され、かつ次
の3要件を満足するガラスセラミックを基礎とするガラ
スの製造用組成物に関する。
1、−50℃と+100℃の温度範囲におけるΔ Q/
Ωの最大値と△N/flの最小値との差が大量lX10
−5またはそれ以下、すなわち1 (ΔΩ/Q)最大−
(八Ω/Ω)最小1≦1×10−5であり、 2.0℃と+50℃の温度範囲における線熱膨張係数、
αo15o1が絶対値で0.lX10−6/Kまたはそ
れ以下であり、上限は0.065x10’/Kが好まし
く、 3、適用可能な範囲の温度から異なる速度で冷却した後
、20°Cにおいて長さの可逆調整は、20℃における
相対長さの差として表わすときに0゜lX10−5また
はそれ以下であり、上限は0.14X10−5が好まし
い。
低膨張係数を有し、かつh−石英固溶体を結晶相として
含有する数多くの透明カラスセラミックスは関連文献か
ら知ることができる。さらに特殊な光学的な使用の、特
に反射望遠鏡用材料としてのガラスセラミックスは、−
50℃から+100℃の温度範囲における低熱膨張係数
が最も重要であるために1開発された。
(従来の技術) 例えば、そのような材料は西ドイツ特許第1゜496.
611号公報に記載されている。この特許明細書では、
0℃から300℃の温度範囲における線膨張係数、α 
、によって膨張挙動が0/300 特徴づけられており、その値は一3≦α0/300≦3
X10−7/にである。実施例には+1.0IX10−
7/により小ざいα 値も記載されてい0/300 る。
西ドイツ特許第1,902,432号公報には、加工容
易なガラスを溶融し、結晶化を調整することによって、
ガラスセラミック状態に転化し、低線熱膨張係数を有す
る透明なガラスセラミックスが生ずる条件が記載されて
いる。それによ・つて、−30’Cから+70℃の温度
範囲における線熱膨張係数が750℃≦T(温度)58
70℃およq4h(時間)≦t(時間)≦100h(時
間)の広い範囲のセラミック化においてO±0.15X
10°6/Kに調整可能な組成物を得ることができる。
この最後の条件は大型の鋳物で、非常に遅い昇温速度に
調節して得られる均質温度分布で1および同一のα−値
を達成するために重要である。
(発明が解決しようとする問題点) 先に述べた特許明細書で実施された光学的使用のガラス
セラミック材料の特色は、二定の長さに関する今日の要
求を満足しないことがしばしば起る。今日、与えられた
温度範囲において線熱膨張係数に1つの値を特定する代
わりに、長さおよび形状を一定とすることを特徴とする
前述の特許請求の範囲に規定される三基率に適合するこ
とが必要である。
商業上のガラスセラミックスであるセルヒツト(CER
VIT>およびゼロドウル(ZERODUR)を試験す
ると、両者はいずれも前述の要件を同時に満足しないこ
とが判るであろう。
ニス、エフ、ヤコプス(S、F、Jacobs) 、 
エム、エイ、ツートン(H,A、Norton) 、ジ
ェイ、ダ7’)ユ、バーソルト、ザ・サード(J、W、
Berthold III)による[サーマル、イクス
パンションJ (Thermal Expansion
 ) 、 1973. 、エイ、アイ、ピー、コン7、
ブロクNo、17 (AIP Conf、 Proc、
 NO,17)280〜193頁およびジエイ、ダブリ
ュ、バーソルト、ザ・サード(J、W、Berthol
dIII)、ニス、エフ、ヤコブス(S、F、Jaco
bs)によるアプライド、オプティカル 15(197
6)2344〜2347頁 (八pp、、Opt、 1
 !コ、(1976)p、2344〜2347>の文献
にはセルヒツト(CERVIT)は要件1を満たさない
ことが記載されている。ニス、ジェイ、ペンネット(S
、J、Bennett )によるジャーナル、フィジッ
クス、イー、第10巻、1977.525〜530頁[
J、 Phys、 E、 vol、10 (1977)
、 p525〜530]には、ゼロドウル(7EROD
UR)は要件3を満たされないことが記載されている。
(問題点を解決するための手段) それ故に、本発明の目的は膨張係数に関する三要求を満
たすことによって、ガラスセラミック組成物および基礎
ガラス用のセラミック化条件を提供することである。そ
の上、1Q+4dpa−S粘度、以後vA値と称する、
に対応する温度を基礎ガラス(base glass)
の加工性を良くする目的で1300℃以下とすべき追加
の要求もある。
第一に、異なる速度における冷却後、室温において、相
対長さの差を決定するためにはさらに少しの詳細な事項
が必要である。試験材料の150℃から350℃の温度
における冷却速度は室温における棒の長さを調整するた
めに重要であることが判った。異なる速度で冷却後、室
温において相対長さの差を決定するために、長さ約10
0mm、直径約5mmの棒を350℃から20℃まで1
時間当り6℃でそのまま冷却し、そして350℃から2
0℃まで急速空冷してその長さを比較する。
新規ガラスは5i02.B203 、Al103 。
P205 、L +20.Na20.に20.M(JO
cao、Bad、zno、ZrO2,T!02゜As2
O3および5b203の組成から成る。P2O5,Tt
02およびZ r 02は核形成および結晶化の開始お
よび促進剤として強く作用する。
As2O3および/または5b203はガラス溶融品の
清澄剤として作用する。残りの成分は、その時の混合物
の割合によってセラミック化工程中における結晶相の析
出およびそれにより生ずるガラスセラミックの特色を決
定する。
意外にも、上述の範囲の温度における異なる速度におけ
る冷却後、室温において充分ではないが長さの可逆調整
の問題は、MgO含有量に関係することが判った。すな
わち、MCl0含有量か少なくなればなる程、異なる速
度における冷却後、°室温における相対長さの差も小さ
くなる。上記要求を満足するガラスセラミックを基礎と
するガラス組成物は、全くあるいは少ししがMgoを含
まないことは明らかである。
次の目的は一り0℃〜100’Cの温度範囲において相
対長さの変化Δ9/Ω、以後短かく6979曲線と称す
る、がほぼ直線に延びており、そのためにα。150が
ほぼ零である組成範囲を見い出すことである。さて、α
0150がほぼ零であるならば大部分の組成は非常に狭
い範囲、すなわち1710重量%そこそこで変化し、こ
れらの小さな変化はΔΩ/Q曲線のゆがみにほとんど影
響を与えないことが判った。
本発明の組成は次の範囲内である、、 3 i Q2゛ 50.’O〜65.0重量%A+20
3 18.0〜27.0重量%B203 0 〜1.0
重量% P205 0 〜10’、O重量% L!20 2.5〜4.0重量% Na2O0〜 2.0重量% に20 0 〜2.0重量% MqOO〜 0.5重量% ZnO1,0〜 5.0重量% CaOO〜 4.0重量% BaO1,O〜 5.0重量% TiO20〜 5.0重量% ZrO20〜 3.0重量% A3203 0 〜1.5重量%。
5b203は本発明で使用されるA32.03と同等で
ある。
(実施例) さらに本発明を実施例によって詳細に説明する。
ガラスセラミックの竺性比較のために、次のセラミック
化工程を使用した。“すなわち、730 ℃まで1分間
に4℃の速度で昇温し、730℃で1時間保持し、さら
に850℃まで1分間に4℃の速度で昇温し、850℃
で1,5時間保持し、炉のスイッチを切って室温まで冷
却する。
第1図には、組成の異なる3種類のガラスセラミックの
温度に関するΔQ/Q曲線、すなわちΔQ/Q変化を示
す。
第1表には、本発明をさらに説明するため12種類のガ
ラスセラミックを基礎にするガラスの組成を示す。
第2表には、本発明にとって重要であるガラスおよびそ
れに対応するガラスセラミック品の特性をいくつか示す
(発明の効果) VA値を示す行には、大部分の組成物はVA値が130
0℃以下であることが示されており、それにより加工性
の良好なガラスセラミックを基礎とするガラスを見い出
すという目標が達成された。
実施例4のVA値は1300℃よりも低い1235℃で
あり、そのガラスは溶融性およびさらに加工性が良い。
最初の4つの実施例は、すべてSiO2+AΩ203 
+P205 =84.5重量%であるという条件を満足
する。個々の組成はかなり変化するが、((ΔΩ/Q>
最大=(ΔΩ/Ω)最小1≦1×10−5の要求を満足
する。すなわち、これらの実施例はさらに、α0150
の変化が他の成分、特にLI20.zno、caoおよ
びBaOを少し変更することによって補うことができる
ことを示す。
実施例2,5および6は、SiO2含有量を一定に保っ
てP2O5に対してAO203を交換することによって
温度に関するΔΩ/Ω曲線のひずみを示す。P2O5に
対するAΩ203の交換によって、α0150値は変化
するが、他の成分の助けによってほぼ零に修正される。
これらの3つの実施例のΔΩ/Q曲線の状態を第1図に
示す。
実施例2.7.8および9から膨張挙動に関する3条件
の要件を満足するガラスセラミックに関連するS i 
02 +A O203+P205含有量が85.5およ
び86.5重量%の組成物を児い出すことができること
が明らかである。さらに、これらの実施例からS!02
+AΩ203 +P205含有量を84.5より小さく
、あるいは86゜5より大きくするとガラス組成を変更
しなければならないことが明らかである。
最後に、実施例10〜12の比較から、異なる速度にお
ける冷却後、室温における相対長さの差はMQO含有量
によって影響を受けることが判る。
MCJO含有量が多くなるとこの値も順次増加する。
【図面の簡単な説明】
第1図はへΩ/Ω曲線を示す図である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 次の事項を特徴とするエッチ(h)−石英固溶体を含有
    するガラスセラミックス、 (1)−50℃と+100℃の温度範囲において、ΔQ
    /Ωの最大値とΔQ/Qの最小値との差に基礎を置いて
    いる式、 1 (Δ(1/Q)最大−(ΔQ/Q)最小1の値がl
    X10−5またはそれ以下であり、 (2)0℃と+50℃の温度範囲において線熱膨張係数
    が絶対値で0.1X10−6/Kまたはそれ以下であり
    、 C3)20℃における相対長さの差として表わすときに
    、 [Ql (速度1で冷却後)− Ω2 (速度2で冷却後)]/G1゜ ΔQ=(1,1−112<Ql は0.lX10−5またはそれ以下の値であり、ここで
    りは長さを示し、速度1は350℃から20℃に1時間
    当り6℃で冷却することであり、速度2は350℃から
    20℃に急速空冷して冷却することであり、それらを基
    礎とするガラスは次の組成で表わされる、 SiO250,0〜65.0重量% Al2O318,0〜27.0重量% B203 0 〜1.0重量% P205 0 〜10.0重量% Li2O2,5〜 4.0重量% Na2O0〜 2.0重量% に20 0 〜2.0重量% Mg0 0 〜0.5重量% ZnO1,0〜 5.0重量% CaOO〜 4.0重量% Ba0 1.O〜 5.0重量% T ! 02 0 〜5.0重量% ZrO20〜 3.0重量% A3203 0 〜1.5重量%。
JP60109495A 1984-05-23 1985-05-23 固有の熱膨張挙動を有するガラスセラミツクス Granted JPS60255645A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007197310A (ja) * 2005-12-28 2007-08-09 Nippon Electric Glass Co Ltd 結晶化ガラスおよびそれを用いた反射鏡基材並びに反射鏡
JP2015113280A (ja) * 2013-12-09 2015-06-22 ショット アクチエンゲゼルシャフトSchott AG 低温適用のためのコンポーネント

Families Citing this family (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5009709A (en) * 1988-09-15 1991-04-23 Den-Mat Corporation Strong dental porcelain and method for its manufacture
IT1239945B (it) * 1990-03-09 1993-11-27 Marazzi Ceramica Composizione vetrosa ceramizzabile ad elevata velocita' di cristallizzazione per il rivestimento di pezzi ceramici, in particolare piastrelle
JP2516537B2 (ja) * 1992-09-14 1996-07-24 株式会社オハラ 低膨張透明結晶化ガラス
DE4321373C2 (de) * 1993-06-26 1995-12-14 Schott Glaswerke Glaskeramik mit hoher Transmission im Wellenlängenbereich von 2700 bis 3300 nm, Verfahren zu deren Herstellung und deren Verwendung
US5508235A (en) * 1994-07-06 1996-04-16 Schott Glass Technologies, Inc. Cladding glass ceramic for use in high powered lasers
US5476821A (en) * 1994-11-01 1995-12-19 Corning Incorporated High modulus glass-ceramics containing fine grained spinel-type crystals
DE10017701C2 (de) * 2000-04-08 2002-03-07 Schott Glas Gefloatetes Flachglas
FR2830248B1 (fr) * 2001-09-28 2004-09-24 Snc Eurokera Verre mineral, precurseur d'une vitroceramique opaque; ladite vitroceramique et son obtention
US20030125184A1 (en) 2001-12-21 2003-07-03 Schott Glas Glass ceramic product with variably adjustable zero crossing of the CTE-T curve
US7129010B2 (en) * 2002-08-02 2006-10-31 Schott Ag Substrates for in particular microlithography
DE10238608A1 (de) * 2002-08-16 2004-03-04 Schott Glas Bauteil aus einer Lithiumaluminosilikat-Glaskeramik
DE10302342A1 (de) * 2003-01-17 2004-08-05 Schott Glas Substrat für die EUV-Mikrolithographie und Herstellverfahren hierfür
DE10333399B3 (de) * 2003-07-16 2005-04-07 Schott Ag Verwendung eines Glases für optische Transmissionskomponenten großer Dicke
JP4412952B2 (ja) 2003-09-19 2010-02-10 株式会社オハラ 極低膨張透明ガラスセラミックス
US7226881B2 (en) * 2003-09-19 2007-06-05 Kabushiki Kaisha Ohara Ultra low thermal expansion transparent glass ceramics
DE102004008824B4 (de) * 2004-02-20 2006-05-04 Schott Ag Glaskeramik mit geringer Wärmeausdehnung sowie deren Verwendung
CN101091251B (zh) * 2004-08-18 2011-03-16 康宁股份有限公司 包含高应变玻璃或玻璃陶瓷的绝缘体上半导体结构
DE102008039042B4 (de) 2008-08-21 2011-04-14 Schott Ag Substrat für einen Spiegelträger mit reduziertem Gewicht sowie Spiegel mit gewichtsreduziertem Spiegelträger
DE102010002188B4 (de) 2010-02-22 2018-11-08 Schott Ag Transparente LAS-Glaskeramik hergestellt mit alternativen umweltfreundlichen Läutermitteln
CN102167514B (zh) * 2011-01-20 2013-07-17 电子科技大学 基板用微晶玻璃陶瓷材料及其制备方法
CN106029594B (zh) 2014-02-21 2022-06-24 肖特股份有限公司 高均匀性玻璃陶瓷部件
WO2017106629A1 (en) 2015-12-17 2017-06-22 Corning Incorporated Ion exchangeable glass with fast diffusion
DE102018111144A1 (de) 2017-05-26 2018-11-29 Schott Ag Präzisionskomponente
KR20220129481A (ko) 2021-03-16 2022-09-23 쇼오트 아게 특정한 열 팽창 특성을 갖는 유리 세라믹
WO2022194846A1 (de) 2021-03-16 2022-09-22 Schott Ag Euvl-präzisionskomponente mit spezifischem thermischen ausdehnungsverhalten
DE102022118025A1 (de) 2022-07-19 2024-01-25 Schott Ag Heiß-Füge-Prozess zur Herstellung von komplexen Leichtgewichtsstrukturen
DE102022123616A1 (de) 2022-09-15 2024-03-21 Schott Ag Glaskeramik mit spezifischem thermischen Ausdehnungsverhalten
EP4495077A1 (de) * 2023-07-19 2025-01-22 Schott Ag Transparente lithiumaluminiumsilikat-glaskeramik
DE102024109304A1 (de) 2024-04-03 2025-10-09 Schott Ag Isotherm langzeitstabile Glaskeramikkomponente
DE102024113731A1 (de) 2024-05-16 2025-11-20 Schott Ag Glaskeramik mit spezifischem thermischen Ausdehnungsverhalten

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US378865A (en) * 1888-03-06 Car-lamp
DE1596855B2 (de) * 1967-03-29 1971-11-25 Jenaer Glaswerk Schott & Gen., 6500 Mainz Zusammensetzungen zum herstellen von undurchsichtigen glas keramiken mit gezielt einstellbaren zwischen 9 und 75 10 hoch 7 grad c liegenden ausdehnungskoeffizienten
DE1771149A1 (de) * 1967-04-13 1972-03-30 Owens Illinois Glass Co Hochhitzebestaendige Glaeser niedriger Waermeausdehnung und daraus hergestellte Keramik
US3834911A (en) * 1972-05-31 1974-09-10 Ppg Industries Inc Glass composition and method of making
US4192688A (en) * 1972-07-07 1980-03-11 Owens-Illinois, Inc. Product and process for forming same
DE2263234C3 (de) * 1972-12-23 1975-07-10 Jenaer Glaswerk Schott & Gen., 6500 Mainz Verfahren zur Herstellung von hochfesten und temperaturwechselbeständigen Glasgegenständen durch Oberflächenkristallisation unter Ausnutzung eines lonenaustausches innerhalb des Glases
NL7507155A (nl) * 1974-06-20 1975-12-23 Jenaer Glaswerk Schott & Gen Werkwijze voor de bereiding van donkerrood, door- zichtig glaskeramisch materiaal met een variabele hoge warmtespanningsfactor, meer in het bijzonder voor de vervaardiging van vuurvaste platen.
US4285728A (en) * 1975-02-06 1981-08-25 Owens-Illinois, Inc. Method of making low expansion crystallized glass-ceramics and telescope mirror blanks made thereby
US4461839A (en) * 1982-12-20 1984-07-24 Corning Glass Works Colored transparent, translucent and opaque glass-ceramics
US4438210A (en) * 1982-12-20 1984-03-20 Corning Glass Works Transparent colorless glass-ceramics especially suitable for use as stove windows

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007197310A (ja) * 2005-12-28 2007-08-09 Nippon Electric Glass Co Ltd 結晶化ガラスおよびそれを用いた反射鏡基材並びに反射鏡
JP2015113280A (ja) * 2013-12-09 2015-06-22 ショット アクチエンゲゼルシャフトSchott AG 低温適用のためのコンポーネント

Also Published As

Publication number Publication date
FR2564823B1 (fr) 1991-08-23
US4851372A (en) 1989-07-25
FR2564823A1 (fr) 1985-11-29
GB8512894D0 (en) 1985-06-26
GB2159514B (en) 1987-12-02
JPH0377137B2 (ja) 1991-12-09
GB2159514A (en) 1985-12-04

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