JPS6025652A - 研削盤 - Google Patents
研削盤Info
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- JPS6025652A JPS6025652A JP58135464A JP13546483A JPS6025652A JP S6025652 A JPS6025652 A JP S6025652A JP 58135464 A JP58135464 A JP 58135464A JP 13546483 A JP13546483 A JP 13546483A JP S6025652 A JPS6025652 A JP S6025652A
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- Japan
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- tilting
- workpiece
- jig
- grinding
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 12
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims abstract description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 13
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 claims 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
- B24B49/12—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation involving optical means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B51/00—Arrangements for automatic control of a series of individual steps in grinding a workpiece
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は研削盤に関し、特に被加工物の加工面を微細に
調節設定することが可能な研削盤に関するものである。
調節設定することが可能な研削盤に関するものである。
被加工物の研削端面は特定の部分に対しかなりの精度で
平行度を要求される場合がある。（例えば磁気記録用磁
気ヘッドのギャップ深さ又はボールハイド等）、従来は
この様な研削加工においては傾斜固定した治具台を用い
て研削加工したり、ラップ盤においては荷重をアンバラ
ンスになる様にして加工していたが、能率が悪かったり
、微細な調整が不可能なために部品精度も要求通りに仕
上げることは不可能に近かった。
平行度を要求される場合がある。（例えば磁気記録用磁
気ヘッドのギャップ深さ又はボールハイド等）、従来は
この様な研削加工においては傾斜固定した治具台を用い
て研削加工したり、ラップ盤においては荷重をアンバラ
ンスになる様にして加工していたが、能率が悪かったり
、微細な調整が不可能なために部品精度も要求通りに仕
上げることは不可能に近かった。
本発明は従来の上述のような欠点に鑑み、従来の装置で
は得られなかった精度で被加工物を位置調整することの
出来る研削盤を提供せんとするものである。
は得られなかった精度で被加工物を位置調整することの
出来る研削盤を提供せんとするものである。
本発明による研品］盤は、被加工物を保持する保持台の
傾きをｉ整可能に支持する傾斜治具と、被加工物の研削
面を特定の基準位置に対して位置検出する光学的検出装
置と、傾斜治具を前記光学的検出装置の検出信号に基づ
き傾斜駆動する制御装置と、前記傾斜治具上の保持台に
保持された被加工物を′研削する研削装置と、被加工物
に送り運動を付与する移動体とから構成されても・るこ
とを特徴とするものである。
傾きをｉ整可能に支持する傾斜治具と、被加工物の研削
面を特定の基準位置に対して位置検出する光学的検出装
置と、傾斜治具を前記光学的検出装置の検出信号に基づ
き傾斜駆動する制御装置と、前記傾斜治具上の保持台に
保持された被加工物を′研削する研削装置と、被加工物
に送り運動を付与する移動体とから構成されても・るこ
とを特徴とするものである。
第１図に示すように、ベッド１上に横方向（Ｘ軸）移動
Ｘ軸テーブル２及びその土産縦方向（Ｙ軸）移動Ｙ軸テ
ーブル３が案内溝により摺動可能に設けられ、夫々モー
タに連結された送りねじ（図示せず）によって送り駆動
される。
Ｘ軸テーブル２及びその土産縦方向（Ｙ軸）移動Ｙ軸テ
ーブル３が案内溝により摺動可能に設けられ、夫々モー
タに連結された送りねじ（図示せず）によって送り駆動
される。
Ｙ軸テーブル６上には傾斜治具４が載置されており、一
部に被加工物を保持する構造となっている。更に、ベッ
ド１上には上下一対の顕微鏡１３ａ、１４ａ付のテレビ
カメラ１１１４から構成される光学的検出装置がコラム
１５に夫々上下動可能に支持されパルスモータ１６−１
７により案内溝上を上下方向に移動するようになってい
る。また、コラム１５に併設されるように研削装、＃２
０が同じくベッド１上に設置されている。
部に被加工物を保持する構造となっている。更に、ベッ
ド１上には上下一対の顕微鏡１３ａ、１４ａ付のテレビ
カメラ１１１４から構成される光学的検出装置がコラム
１５に夫々上下動可能に支持されパルスモータ１６−１
７により案内溝上を上下方向に移動するようになってい
る。また、コラム１５に併設されるように研削装、＃２
０が同じくベッド１上に設置されている。
第２図は第１図における傾斜治具４及び前記光学的検出
装置の一部を拡大表示する部分側面図である。第３図は
同じく傾斜治具４及び光学的検出装置の一部を示す上面
図、第４図は第３図のＡ−Ａ断面を示す断面図である。
装置の一部を拡大表示する部分側面図である。第３図は
同じく傾斜治具４及び光学的検出装置の一部を示す上面
図、第４図は第３図のＡ−Ａ断面を示す断面図である。
傾斜治具４は第４図に詳細に示す如く一支持部７−８を
形成した本体６、前記支持部７．８に係合し、挟装する
如く形成されたガイド部９−９３を有する傾斜部材１０
によって構成されている。
形成した本体６、前記支持部７．８に係合し、挟装する
如く形成されたガイド部９−９３を有する傾斜部材１０
によって構成されている。
傾斜部材１Ｇは本体６の支持部７−８に形成されり複数
個ノ静圧ハツト１１− １２．７ａ、７ｂ、８ａ、８ｂ
によって静圧支持されており、前記静圧パッド１’１１
２は外部油圧源（図示せず）より供給される一定圧力の
供給圧油によって均等に支持されている。
個ノ静圧ハツト１１− １２．７ａ、７ｂ、８ａ、８ｂ
によって静圧支持されており、前記静圧パッド１’１１
２は外部油圧源（図示せず）より供給される一定圧力の
供給圧油によって均等に支持されている。
また、前記静圧パノ）”７ａ−７ｂ−８ａ、８ｂはサー
ボ弁３３＝３４により差圧が生じた場合例えば７ａ、８
ｂ＞７ｂ、８ａの場合には図示において仮想軸０を中心
に時計方向に回動し、７ａ−８ｂ＜７ｂ−８ａの場合に
反時計方向に回動する。本体乙の裏面には変位計２１．
２２が設けられており、傾斜部材１０の傾斜を検出する
ようになっている。また傾斜部材１ｏの端部は被加工物
２４を吸着固定する真空チャックが設けられている。（
図示せず）。
ボ弁３３＝３４により差圧が生じた場合例えば７ａ、８
ｂ＞７ｂ、８ａの場合には図示において仮想軸０を中心
に時計方向に回動し、７ａ−８ｂ＜７ｂ−８ａの場合に
反時計方向に回動する。本体乙の裏面には変位計２１．
２２が設けられており、傾斜部材１０の傾斜を検出する
ようになっている。また傾斜部材１ｏの端部は被加工物
２４を吸着固定する真空チャックが設けられている。（
図示せず）。
次に第２図、第３図−第４図に基づき本発明による研削
盤の動作について説明すると、先ず、Ｘ軸テーブルを第
１図に示す右端に移動させ、該Ｘ軸テーブル十に載置さ
れている傾斜治具４の被加工物保持台に被加工物２４を
真空チャックにより吸着固定する。次にテレビカメラ１
３．１４のある位置までＸ軸テーブルを移動し一部３図
に示す位置関係に固定する。（この場合Ｘ軸テーブルの
移動１は被加工物セット位置、光学的検出装置の位置、
研削装置の位置に応じてストロークを予め決定し記憶し
ておけば自動的にシーケンスコントロールが可能である
。）次にテレビカメラ１６．１４を被加工物２４に接近
させて焦慨を合せる。
盤の動作について説明すると、先ず、Ｘ軸テーブルを第
１図に示す右端に移動させ、該Ｘ軸テーブル十に載置さ
れている傾斜治具４の被加工物保持台に被加工物２４を
真空チャックにより吸着固定する。次にテレビカメラ１
３．１４のある位置までＸ軸テーブルを移動し一部３図
に示す位置関係に固定する。（この場合Ｘ軸テーブルの
移動１は被加工物セット位置、光学的検出装置の位置、
研削装置の位置に応じてストロークを予め決定し記憶し
ておけば自動的にシーケンスコントロールが可能である
。）次にテレビカメラ１６．１４を被加工物２４に接近
させて焦慨を合せる。
この場合、第５図は被加工物２４の全体形状が開示した
ものである。（テレビカメラ１１１４には部分的な範囲
でしか画像はとらえられない。第６図はテレビカメラ１
６．１４の視野を示すもので第６図（Ａｌはテレビカメ
ラ１３の像、第６図（Ｂ）はテレビカメラ１４の像を示
し、）被加工面２４ａを研削することにより、基準位置
Ｐに対して高さＨを所要の加工寸法に仕上研削をする。
ものである。（テレビカメラ１１１４には部分的な範囲
でしか画像はとらえられない。第６図はテレビカメラ１
６．１４の視野を示すもので第６図（Ａｌはテレビカメ
ラ１３の像、第６図（Ｂ）はテレビカメラ１４の像を示
し、）被加工面２４ａを研削することにより、基準位置
Ｐに対して高さＨを所要の加工寸法に仕上研削をする。
図示された形状は基準位置Ｐが一面しか現われていない
が実際に反対側の端部も同じようになっており一基準位
置Ｐに対して平行な高さＨが要求される訳である。テレ
ビカメラ１３．１４は夫々上面−下面の画像をとられ、
表示するのであるが、かなり接近するので基準位置Ｐ近
傍に限定された画像になり、第６図（ＡＬ （Ｂｌに示
すような画像となる。通常基準位置Ｐが上下像共に画面
の基準線に一致することはまれであり−Ｘ軸テーブル２
＝ ｙ軸テーブル６及び傾斜治具４を制御することによ
り被加工物２４の位置合せをする。
が実際に反対側の端部も同じようになっており一基準位
置Ｐに対して平行な高さＨが要求される訳である。テレ
ビカメラ１３．１４は夫々上面−下面の画像をとられ、
表示するのであるが、かなり接近するので基準位置Ｐ近
傍に限定された画像になり、第６図（ＡＬ （Ｂｌに示
すような画像となる。通常基準位置Ｐが上下像共に画面
の基準線に一致することはまれであり−Ｘ軸テーブル２
＝ ｙ軸テーブル６及び傾斜治具４を制御することによ
り被加工物２４の位置合せをする。
即ち、第４図において一画像処理装置２５．２６はカメ
ラコントローラ２７＝２８を介して与えられる上下のテ
レビカメラ１６．１４にお１６基準位ＩｔＰと表示面に
おける基準線との差を検出し位置信号を発生する。該位
置信号によりコントロニラ６０は傾斜すべき角度信号と
Ｙ軸の移、動量をめ出力する。例えば位置信号をＰ、’
Ｐ２とすれば傾斜すべき角度信号θは被加工物の長さを
Ｌとして Ｙ軸の移動量Ｙｍけ てめられる。Ｙ軸は研削位置に移動する迄に動かせば良
い。
ラコントローラ２７＝２８を介して与えられる上下のテ
レビカメラ１６．１４にお１６基準位ＩｔＰと表示面に
おける基準線との差を検出し位置信号を発生する。該位
置信号によりコントロニラ６０は傾斜すべき角度信号と
Ｙ軸の移、動量をめ出力する。例えば位置信号をＰ、’
Ｐ２とすれば傾斜すべき角度信号θは被加工物の長さを
Ｌとして Ｙ軸の移動量Ｙｍけ てめられる。Ｙ軸は研削位置に移動する迄に動かせば良
い。
前記角度信号はサーボアンプ６１．６２にて増［１〕さ
れサーボ弁３１３４に出力される。前記サーボ弁６６．
６４は供給圧力Ｐｓをサーボアンプの出力信号に応じた
差圧となる様に前記した静圧バッド７ａ、７ｂ−ｆ３ａ
−３ｂに配分される。静圧バッドの圧力の高くなった側
は隙間が広がり前述の如く傾斜部材１０が回動すること
により被加工物２４が傾斜する。傾斜部材１ｏの傾斜は
変位計２１．．２２で検出されサーボアンプ３１．３２
にフィードバックされる。
れサーボ弁３１３４に出力される。前記サーボ弁６６．
６４は供給圧力Ｐｓをサーボアンプの出力信号に応じた
差圧となる様に前記した静圧バッド７ａ、７ｂ−ｆ３ａ
−３ｂに配分される。静圧バッドの圧力の高くなった側
は隙間が広がり前述の如く傾斜部材１０が回動すること
により被加工物２４が傾斜する。傾斜部材１ｏの傾斜は
変位計２１．．２２で検出されサーボアンプ３１．３２
にフィードバックされる。
従って角度信号と同じ値になるとサーボアンプからの出
力は略ゼロとなり傾斜治具の傾斜は止まり位置決め動作
が完了する。
力は略ゼロとなり傾斜治具の傾斜は止まり位置決め動作
が完了する。
次にＸ軸テ〜プル２を研削位置に移動させながら前記し
た被研削面２４ａを研削する。この際砥石の摩耗量に応
じてＹ軸を移動して研削面の寸法管理をするようにシー
ケンスを組んでおくと尚効果的である。次いで研削加工
終了後はＸ軸テーブルが被加工物セント位置に移動し、
全行程を終了する。
た被研削面２４ａを研削する。この際砥石の摩耗量に応
じてＹ軸を移動して研削面の寸法管理をするようにシー
ケンスを組んでおくと尚効果的である。次いで研削加工
終了後はＸ軸テーブルが被加工物セント位置に移動し、
全行程を終了する。
第７図は本発明の研削盤の基本的な動作シーケンスの一
実施例を示すものである。
実施例を示すものである。
上述した制御動作はテレビ画像を見ながらコントローラ
６０を手動により操作することによって行うこともでき
る。
６０を手動により操作することによって行うこともでき
る。
以上の説明からも明らかなように本発明によれば、被加
工物の特定位置を光学的検出装置により検出し、傾斜治
具を微小制御しながら傾斜させることができるので被加
工面と特定位置との裁置関係を定められた寸法精度に精
度よく仕上げることができ゛るなと精密な研削加工がで
きる。
工物の特定位置を光学的検出装置により検出し、傾斜治
具を微小制御しながら傾斜させることができるので被加
工面と特定位置との裁置関係を定められた寸法精度に精
度よく仕上げることができ゛るなと精密な研削加工がで
きる。
第１図は本発明の研削盤を示す斜視図。第２図は傾斜治
具−光学的検出装置の側面図。第３図は第２図の上面図
。第４図は第３図ＡＬＡ断面図。 １・・・・・・ベッド＝２・・・・・Ｘ軸テーブル、６
・・・・Ｙ軸テーブル、４・・・・・・傾斜治具、６
・・・本体−７−８・・・・・支持部−７ａ−７ｂ、８
ａ −８ｂＬ １１ ＋、 １２”’、”’静圧パッド
、 １０・・・・・傾斜部材、２ｏ・・・・・・研削装置−
２４・・・・・・被加工物−Ｐ・・・・・・基準位置。
具−光学的検出装置の側面図。第３図は第２図の上面図
。第４図は第３図ＡＬＡ断面図。 １・・・・・・ベッド＝２・・・・・Ｘ軸テーブル、６
・・・・Ｙ軸テーブル、４・・・・・・傾斜治具、６
・・・本体−７−８・・・・・支持部−７ａ−７ｂ、８
ａ −８ｂＬ １１ ＋、 １２”’、”’静圧パッド
、 １０・・・・・傾斜部材、２ｏ・・・・・・研削装置−
２４・・・・・・被加工物−Ｐ・・・・・・基準位置。
Claims (2)
- （１） 被加工物を研削する研削装置と、被加工物の加
工面を基準位置に対して位置検出する光学的検出装置と
、被加工物を保持し、かつ、加工面を傾斜可能な傾斜治
具と一該傾斜治具を載置し前記光学的検出装置と研削装
置間を移動可能な移動体と。 前記傾斜治具に回動力を付与し回動させる制御手段と、
該制御手段を制御する制御装置とよりなり、前記光学的
検出装置の位置情報に基づき傾斜治具を回動し、しかる
後前記移動体の移動と研削装置ｉＣよって被加工物を研
削する研削盤。 - （２） 傾斜治具は本体に形成された静圧軸受により回
動可能に支持された傾斜部材と傾斜部材に回動力を付与
すべく前記傾斜部材に対向する面に複数個の静圧バッド
が形成された本体とより構成されており、前記複数個の
静圧バッドは指令値に応じた圧力差となるよう調整する
サーボ弁と、サーボ弁を駆動するサーボアンプと一該サ
ーボアンプに光学的検出装置の出力に応じた信号を付与
するコントローラと、傾斜部材の傾斜を検出する検出器
とに連通ずる如く構成されていることを特徴とする研削
盤。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58135464A JPS6025652A (ja) | 1983-07-25 | 1983-07-25 | 研削盤 |
| US06/631,228 US4546573A (en) | 1983-07-25 | 1984-07-16 | Grinding machine |
| GB08418984A GB2143756B (en) | 1983-07-25 | 1984-07-25 | Grinding machine |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58135464A JPS6025652A (ja) | 1983-07-25 | 1983-07-25 | 研削盤 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6025652A true JPS6025652A (ja) | 1985-02-08 |
Family
ID=15152321
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58135464A Pending JPS6025652A (ja) | 1983-07-25 | 1983-07-25 | 研削盤 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4546573A (ja) |
| JP (1) | JPS6025652A (ja) |
| GB (1) | GB2143756B (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62208871A (ja) * | 1986-03-07 | 1987-09-14 | Kawasaki Steel Corp | 研削用ロボツト |
| JP2007125678A (ja) * | 2005-11-07 | 2007-05-24 | Waida Seisakusho:Kk | 研削盤におけるワークと砥石との相対角度変化検出装置 |
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| US4646475A (en) * | 1985-07-31 | 1987-03-03 | Harsco Corporation | Abrasive belt surface grinder and method |
| GB8617864D0 (en) * | 1986-07-22 | 1986-08-28 | Ex Cell O Corp England Ltd | Machine tool |
| DE3905062A1 (de) * | 1989-02-18 | 1990-08-23 | Wertheim Praezisions Tech | Profilschleifmaschine |
| CA2135620A1 (en) * | 1992-05-01 | 1993-11-11 | Zev Galel | Autonomous selective cutting, method and apparatus |
| GB9315843D0 (en) * | 1993-07-30 | 1993-09-15 | Litton Uk Ltd | Improved machine tool |
| GB2294223B (en) * | 1993-07-30 | 1997-05-07 | Western Atlas Uk Ltd | Control of 2-axis machine tool |
| GB2294226B (en) * | 1993-07-30 | 1997-04-09 | Western Atlas Uk Ltd | Radial force compensation in 2-axis machine tool |
| JPH11254282A (ja) * | 1998-03-04 | 1999-09-21 | Super Silicon Kenkyusho:Kk | 両頭研削装置及び両頭研磨装置 |
| US6080045A (en) * | 1998-05-14 | 2000-06-27 | Pruitt; James E. | Machining methods and apparatus |
| RU2151687C1 (ru) * | 1999-08-04 | 2000-06-27 | Орловский государственный технический университет | Бесконтактный способ измерения температуры абразивной обработки |
| RU2151686C1 (ru) * | 1999-08-04 | 2000-06-27 | Орловский государственный технический университет | Устройство для измерения температуры абразивной обработки |
| IN2012DN00745A (ja) * | 2009-07-31 | 2015-06-19 | Sumitomo Wiring Systems | |
| CN103846767B (zh) * | 2014-03-25 | 2016-04-06 | 温州桦烽紧固件科技有限公司 | 金属表面除锈装置 |
| CN105382645A (zh) * | 2015-11-14 | 2016-03-09 | 合肥国轩高科动力能源有限公司 | 一种锂离子电池顶盖的打磨装置 |
| USD969180S1 (en) * | 2019-12-26 | 2022-11-08 | Nagase Integrex Co., Ltd. | Machine tool |
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| US4268999A (en) * | 1978-05-17 | 1981-05-26 | Hitachi, Ltd. | Automatic polishing apparatus |
-
1983
- 1983-07-25 JP JP58135464A patent/JPS6025652A/ja active Pending
-
1984
- 1984-07-16 US US06/631,228 patent/US4546573A/en not_active Expired - Fee Related
- 1984-07-25 GB GB08418984A patent/GB2143756B/en not_active Expired
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB2143756B (en) | 1987-04-08 |
| GB2143756A (en) | 1985-02-20 |
| US4546573A (en) | 1985-10-15 |
| GB8418984D0 (en) | 1984-08-30 |
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