JPS60257336A - 圧力検出器 - Google Patents
圧力検出器Info
- Publication number
- JPS60257336A JPS60257336A JP11523284A JP11523284A JPS60257336A JP S60257336 A JPS60257336 A JP S60257336A JP 11523284 A JP11523284 A JP 11523284A JP 11523284 A JP11523284 A JP 11523284A JP S60257336 A JPS60257336 A JP S60257336A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure receiving
- pressure
- receiving element
- case
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0001—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
- G01L9/0005—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using variations in capacitance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/12—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in capacitance, i.e. electric circuits therefor
- G01L9/125—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in capacitance, i.e. electric circuits therefor with temperature compensating means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は自動車のブレーキオイルやエンジンシリンダ内
の燃焼圧奪の高圧用の圧力検出器に関する。
の燃焼圧奪の高圧用の圧力検出器に関する。
従来の圧力検出器としてはピエゾ抵抗効果を利用したも
のや、半導体歪ゲージを利用したものがあった。これら
を用いて高圧用の検出器を作る場合、複雑な構造となり
コストおよび信頼性の点で問題があった。また、圧電素
子を使ったセンサとしては特開昭５２−１２３２８３号
公報のものなどは動的な変化に対して検出し易いが、静
的な変化を検出するのは難しいという問題があった。
のや、半導体歪ゲージを利用したものがあった。これら
を用いて高圧用の検出器を作る場合、複雑な構造となり
コストおよび信頼性の点で問題があった。また、圧電素
子を使ったセンサとしては特開昭５２−１２３２８３号
公報のものなどは動的な変化に対して検出し易いが、静
的な変化を検出するのは難しいという問題があった。
本発明は、上記問題点を解決し、構造が簡単で安価、そ
して高圧に対しても信頼性ある圧力検出器を提供するこ
とを目的とする。
して高圧に対しても信頼性ある圧力検出器を提供するこ
とを目的とする。
本発明は、底部に電極取出し部を有し凹構造となってい
るケースと、該ケースの凹部の底部に接着され両側に電
極を有する受圧素子と、該受圧素子の上側電極に当接し
て電極を取り出すための金属板と、該金属板や受圧素子
の上部電極板をケースと電気的に絶縁する絶縁手段と、
該絶縁手段の上側で受圧素子に圧力を伝える受圧板とを
備え、受圧素子の静電容量の変化をインピーダンスブリ
ッジにより検出して圧力を検出することにより上記目的
を達成するものである。
るケースと、該ケースの凹部の底部に接着され両側に電
極を有する受圧素子と、該受圧素子の上側電極に当接し
て電極を取り出すための金属板と、該金属板や受圧素子
の上部電極板をケースと電気的に絶縁する絶縁手段と、
該絶縁手段の上側で受圧素子に圧力を伝える受圧板とを
備え、受圧素子の静電容量の変化をインピーダンスブリ
ッジにより検出して圧力を検出することにより上記目的
を達成するものである。
゛以下図面に基づいて本発明の実施例について説明する
。
。
第１図は、本発明の圧力検出器の第１実施例の構造を示
す。第１図において、１は受圧素子であり、電歪効果を
有する電歪素子からなっている。
す。第１図において、１は受圧素子であり、電歪効果を
有する電歪素子からなっている。
材質としては、Ｐ ｂ （Ｍｇ Ｉ／３Ｎｂ ２／３）
０３−ＰｂＴｉＯ３系、Ｐ ｂ （Ｍｇ ＋ｙ３Ｎｂ
２／３） ０３−Ｐ ｂ Ｔ ｉ ０３−Ｂ ａ （
Ｚ ｎ ｌ／３ Ｎ ｂ ２／３ ） ０３系等のセラ
ミックである。１−１．ｉ２は、電極であり、受圧素子
１０両面に取付けられている。
０３−ＰｂＴｉＯ３系、Ｐ ｂ （Ｍｇ ＋ｙ３Ｎｂ
２／３） ０３−Ｐ ｂ Ｔ ｉ ０３−Ｂ ａ （
Ｚ ｎ ｌ／３ Ｎ ｂ ２／３ ） ０３系等のセラ
ミックである。１−１．ｉ２は、電極であり、受圧素子
１０両面に取付けられている。
材質は、Ａｇ、Ａｆｆ等で、印刷、蒸着等の手段で取付
けられている。２は、絶縁板でＡ／！２０３等からなっ
ている。３は金属板でコバ一ル、Ｃｕ等である。４−１
．４−’２はリードピンであり、４−３はリード線であ
る。５は受圧板でＳＵＳ等である。受圧素子１の上部電
極１−１は金属板３とリード線４−３を介して、リード
ピン４−１と電 −気的導通が保たれている。また、受
圧板５と電極１−１との電気的絶縁は、絶縁板２により
保たれている。６はケースであり、ＳＵＳ等の金属であ
る。１３は圧力導入部で６と同じ材質である。ケース６
と圧力導入部１３にネジを切り、ケース６を圧力導入部
１３にはめ込むことにより受圧素子１と絶縁板２は固定
される。また、受圧板５は、溶接等で圧力導入部１３に
取イ１けられている。
けられている。２は、絶縁板でＡ／！２０３等からなっ
ている。３は金属板でコバ一ル、Ｃｕ等である。４−１
．４−’２はリードピンであり、４−３はリード線であ
る。５は受圧板でＳＵＳ等である。受圧素子１の上部電
極１−１は金属板３とリード線４−３を介して、リード
ピン４−１と電 −気的導通が保たれている。また、受
圧板５と電極１−１との電気的絶縁は、絶縁板２により
保たれている。６はケースであり、ＳＵＳ等の金属であ
る。１３は圧力導入部で６と同じ材質である。ケース６
と圧力導入部１３にネジを切り、ケース６を圧力導入部
１３にはめ込むことにより受圧素子１と絶縁板２は固定
される。また、受圧板５は、溶接等で圧力導入部１３に
取イ１けられている。
第２図は、本発明の圧力検出器の検出回路である。第２
図に於いて、１０は発振器であり、１１はブリッジであ
る。ブリッジ１１は、受圧素子１と、基準コンデンサ１
′と、コンデンサ２ケからなっている。発振器１０の信
号は、ブリッジ１１に加えられ、受圧素子１と基準コン
デンサ１′にかかる信号を、１２−の増幅部で、増幅と
差動増幅し、出力信号を発生する。第１図において、発
生した圧力は、受圧板５にかかり、絶縁板２を介して、
受圧素子１に一軸性の応力がかかる。この時、受圧素子
１の静電容量Ｃ１は、ΔＣだけ変化してＣ１−ΔＣとな
る。そして、第２図の検出回路によって、ΔＣに応じた
電圧を発生する。尚、ΔＣは圧力に比例する。
図に於いて、１０は発振器であり、１１はブリッジであ
る。ブリッジ１１は、受圧素子１と、基準コンデンサ１
′と、コンデンサ２ケからなっている。発振器１０の信
号は、ブリッジ１１に加えられ、受圧素子１と基準コン
デンサ１′にかかる信号を、１２−の増幅部で、増幅と
差動増幅し、出力信号を発生する。第１図において、発
生した圧力は、受圧板５にかかり、絶縁板２を介して、
受圧素子１に一軸性の応力がかかる。この時、受圧素子
１の静電容量Ｃ１は、ΔＣだけ変化してＣ１−ΔＣとな
る。そして、第２図の検出回路によって、ΔＣに応じた
電圧を発生する。尚、ΔＣは圧力に比例する。
電歪素子の誘電率は温度特性を持っており、受圧素子１
の静電容量は温度によっても変化する。
の静電容量は温度によっても変化する。
そこで、第２図に示すように、基準コンデンサ１′を電
歪素子にして温度補償用素子とし、ブリッジ１１を構成
し、増幅部１２で差動増幅することにより、温度による
出力の変動を消す温度補償回路を構成することができる
。この場合、温度補償素子１′は第３図に示すように、
受圧素子と同一のケース６の中に納めるのが好適である
。この時１〜１’、１−２’は電極であり、４−４はり
一１線、４−５はリードピンである。
歪素子にして温度補償用素子とし、ブリッジ１１を構成
し、増幅部１２で差動増幅することにより、温度による
出力の変動を消す温度補償回路を構成することができる
。この場合、温度補償素子１′は第３図に示すように、
受圧素子と同一のケース６の中に納めるのが好適である
。この時１〜１’、１−２’は電極であり、４−４はり
一１線、４−５はリードピンである。
第１実施例では圧力導入部１３を設けているが、これを
なくして圧力容器に直接取付けても良い。
なくして圧力容器に直接取付けても良い。
第４図は一例としてアキュムレータに取付けたもので、
第５図は第４図の破線部分を拡大したものである。第４
図において、９は圧力容器で１４は油の導入部、１５は
ピストン、１６はＮ２ガスを封じ込めるツクである。第
５図において受圧板５は圧力容器９に直接溶接等で取付
けられている。
第５図は第４図の破線部分を拡大したものである。第４
図において、９は圧力容器で１４は油の導入部、１５は
ピストン、１６はＮ２ガスを封じ込めるツクである。第
５図において受圧板５は圧力容器９に直接溶接等で取付
けられている。
７はケース６を圧力容器９に取（（けるネジで、８は０
リングである。
リングである。
なお、第１図の実施例では絶縁板２を受圧素子の上部に
置いたが、両者の位置を入れ替えた構成としてもよい。
置いたが、両者の位置を入れ替えた構成としてもよい。
また、受圧板５を絶縁性の板で構成すれば、絶縁板２は
必要なく、この場合、受圧板５は圧力容器９に溶着等で
取付けられる。さらに、受圧板５に絶縁コーティングを
施せば絶縁板２は必要でなくなる。
必要なく、この場合、受圧板５は圧力容器９に溶着等で
取付けられる。さらに、受圧板５に絶縁コーティングを
施せば絶縁板２は必要でなくなる。
以上述べたように、本発明は非常に簡単な構成のため安
価で信頼性も高い高圧の圧力検出器であり、しかも静的
な変化も検出できるという優れた効果を有する。
価で信頼性も高い高圧の圧力検出器であり、しかも静的
な変化も検出できるという優れた効果を有する。
第１図は本発明の第１実施例の縦断面図、第２図は本検
出器を用いて圧力を検出するための回路図、第３図は第
１実施例に温度補償用素子を同時に組付＆Ｊた実施例の
縦断面図、第４図は第２実施例の断面図、第５図は第４
図の要部拡大図である。 １・・・受圧素子、１−１．１−２・・・電極、２・・
・絶縁板、３・・・金属板、４−Ｌ ４−２・・・リー
ドピン、４−３・・・リート線、５・・・受圧板、６・
・・ケース、１３・・・圧力導入部。 代理人弁理士 岡 部 隆 ｊ゛ 第１図 第２図 第３図 ４−と 第４図 第５図
出器を用いて圧力を検出するための回路図、第３図は第
１実施例に温度補償用素子を同時に組付＆Ｊた実施例の
縦断面図、第４図は第２実施例の断面図、第５図は第４
図の要部拡大図である。 １・・・受圧素子、１−１．１−２・・・電極、２・・
・絶縁板、３・・・金属板、４−Ｌ ４−２・・・リー
ドピン、４−３・・・リート線、５・・・受圧板、６・
・・ケース、１３・・・圧力導入部。 代理人弁理士 岡 部 隆 ｊ゛ 第１図 第２図 第３図 ４−と 第４図 第５図
Claims (1)
- （１）底部に電極取出し部を有し凹構造となっているケ
ースと、該ケースの凹部の底部に接着され両側に電極を
有する受圧素子と、該受圧素子の上側電極に当接して電
極を取り出すための金属板と、該金属板や受圧素子の上
部電極板をケースと電気的に絶縁する絶縁手段と、該絶
縁手段の上側で受圧素子に圧力を伝える受圧板とを備え
、受圧素子の静電容量の変化により圧力を検出すること
を特徴とする圧力検出器。 （２、特許請求の範囲第１項の圧力検出器において、受
圧素子と同一組成からなる電歪素子で温度補償素子を設
け、受圧素子と温度補償素子とでブリッジ回路を構成し
、温度補償素子を受圧素子と同一の容器に納めたことを
特徴とする圧力検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11523284A JPS60257336A (ja) | 1984-06-04 | 1984-06-04 | 圧力検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11523284A JPS60257336A (ja) | 1984-06-04 | 1984-06-04 | 圧力検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60257336A true JPS60257336A (ja) | 1985-12-19 |
Family
ID=14657615
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11523284A Pending JPS60257336A (ja) | 1984-06-04 | 1984-06-04 | 圧力検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60257336A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011013124A (ja) * | 2009-07-03 | 2011-01-20 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | 水素圧力の測定方法及びそのためのセンサ |
-
1984
- 1984-06-04 JP JP11523284A patent/JPS60257336A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011013124A (ja) * | 2009-07-03 | 2011-01-20 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | 水素圧力の測定方法及びそのためのセンサ |
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