JPS6025748U - 蒸着材料供給装置 - Google Patents

蒸着材料供給装置

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JPS6025748U
JPS6025748U JP11772083U JP11772083U JPS6025748U JP S6025748 U JPS6025748 U JP S6025748U JP 11772083 U JP11772083 U JP 11772083U JP 11772083 U JP11772083 U JP 11772083U JP S6025748 U JPS6025748 U JP S6025748U
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JP
Japan
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vapor deposition
deposition material
supply device
material supply
feeding device
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JP11772083U
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English (en)
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幸夫 清水
源本　泰典
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は蒸着装置の断面図、第２図は従来の供給装置の
一部を切り欠いた側面図、第３図は本考案の装置の一実
施例を示す平面図、第４図はその側面図である。 １２・・・・・・貯蔵繰り出し装置、１４・・・・・・
スプール、２０・・・・・・送り装置、３３・・・・・
・切断装置、３７・・・・・・移載装置、Ａ・・・・・
・蒸着材料としてのアルミニウム材、ａ・・・・・・蒸
着片としてのアルミニウム片。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 一定の幅および厚さに成形されたリボン状の蒸着材料を
    繰り出し自在にスプールに巻着した貯蔵繰り出し装置と
    、 この貯蔵繰り出し装置のスプールに巻着されたリボン状
    の蒸着材料を所定の位置まで繰り出しつつ送る送り装置
    と、 この送り装置によって送られたリボン状の蒸着材料を所
    定の長さに切断する切断装置と、この切断装置で切断さ
    れた蒸着片を蒸着部に供給する移載装置と、 を備えたことを特徴とする蒸着材料供給装置。
JP11772083U 1983-07-28 1983-07-28 蒸着材料供給装置 Pending JPS6025748U (ja)

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JPS6025748U true JPS6025748U (ja) 1985-02-21

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ID=30270876

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