JPS60263901A - 塩化カリウム用反射防止膜 - Google Patents
塩化カリウム用反射防止膜Info
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- JPS60263901A JPS60263901A JP59119918A JP11991884A JPS60263901A JP S60263901 A JPS60263901 A JP S60263901A JP 59119918 A JP59119918 A JP 59119918A JP 11991884 A JP11991884 A JP 11991884A JP S60263901 A JPS60263901 A JP S60263901A
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- as2s3
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
- G02B1/11—Anti-reflection coatings
- G02B1/113—Anti-reflection coatings using inorganic layer materials only
- G02B1/115—Multilayers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/02—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements made of crystals, e.g. rock-salt, semi-conductors
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- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は炭酸ガスレーザをはじめとする赤外光号機器に
使用される光学部品（ウィンドウ、レンーズ、ビームス
プリ／夕等）の素材である塩化カリ畑ム用の反射防止膜
に関するものである。
使用される光学部品（ウィンドウ、レンーズ、ビームス
プリ／夕等）の素材である塩化カリ畑ム用の反射防止膜
に関するものである。
従来例の構成とその問題点
従来、大パワーの炭酸ガスレーザー用の窓、レンズ、ビ
ームスピリツタ−等の透明光学部品の基板材料としては
、Ｚｎ５ｅ、 ＧａＡｓ等が挙げられる。
ームスピリツタ−等の透明光学部品の基板材料としては
、Ｚｎ５ｅ、 ＧａＡｓ等が挙げられる。
Ｚｎ５ｅにあっては波長１０．６ ｐｍと０．６３２８
μｍ において透明であり耐水性に優れかつ大型の結晶
が得られるという利点の反面、欠点としては、高価であ
り、大パワー照射によシ生ずる光学歪が大きく、洋結晶
育成時に有毒なｕ２ｓｅガスを使ったり、結（（ｈ表面
研麿加工工程において有毒なセレン系ガスを発生するな
ど安全対策上あつかいにくいということが挙げられる。
μｍ において透明であり耐水性に優れかつ大型の結晶
が得られるという利点の反面、欠点としては、高価であ
り、大パワー照射によシ生ずる光学歪が大きく、洋結晶
育成時に有毒なｕ２ｓｅガスを使ったり、結（（ｈ表面
研麿加工工程において有毒なセレン系ガスを発生するな
ど安全対策上あつかいにくいということが挙げられる。
ＧａＡＳにあっては波長 １０．６μｍにおいて透明で
あり、ソの熱伝導度がＺｎ５ｅの約３倍良いということ
、さらには削氷性に優れているという利点の反面直径約
８ｍ以上の大きさのものが入手出来ない、同視光重畳用
の波長０．６３２８ ｐｍのＨｅ −ＩｌＩＪｅ レー
ザー光を透過しないしと１、）イ価であること、光学歪
が大きい事１．さらにはヒ４（Ａｓ）という有害元素を
その構成要素に含むた■育成、加工時の安全対策が必要
であるという多くの欠点を有している。
あり、ソの熱伝導度がＺｎ５ｅの約３倍良いということ
、さらには削氷性に優れているという利点の反面直径約
８ｍ以上の大きさのものが入手出来ない、同視光重畳用
の波長０．６３２８ ｐｍのＨｅ −ＩｌＩＪｅ レー
ザー光を透過しないしと１、）イ価であること、光学歪
が大きい事１．さらにはヒ４（Ａｓ）という有害元素を
その構成要素に含むた■育成、加工時の安全対策が必要
であるという多くの欠点を有している。
一方、波長１０．６ μｍ、 ０．６３２８ μｍにお
いて透明で、光学歪が小さく、毒性がなく、安価である
という紫＜の利点を持つに’Ｃ’ｌが実用透明光学部品
（窓、１１１ンズ等）の基板として使用されない最大の
理由は潮解性があシ水に溶けるため、湿度の多い環境で
の長時間使用に耐えられないということである。
いて透明で、光学歪が小さく、毒性がなく、安価である
という紫＜の利点を持つに’Ｃ’ｌが実用透明光学部品
（窓、１１１ンズ等）の基板として使用されない最大の
理由は潮解性があシ水に溶けるため、湿度の多い環境で
の長時間使用に耐えられないということである。
この様な水に対して弱いという欠点を表面に附加する反
射防止膜が反射率が零に近く、波長０．６３２８μｍに
対して透明であるという光学的特性はもちろんのこと、
耐水性をもかねそなえることが出来るならば、上記の多
くの利点を有したＫＣＩの窓、レンズが実現出来る事に
なる。
射防止膜が反射率が零に近く、波長０．６３２８μｍに
対して透明であるという光学的特性はもちろんのこと、
耐水性をもかねそなえることが出来るならば、上記の多
くの利点を有したＫＣＩの窓、レンズが実現出来る事に
なる。
現在、市販されているＫＣＩを用いた窓やレンズの反射
防止膜はＮ ａ Ｆ単層膜より構成されている。
防止膜はＮ ａ Ｆ単層膜より構成されている。
ＮａＦの屈折率は１２３
とＫＣＩの屈折率の平方根（白、４−５−−１．２０４
）に非常に近いために光学的膜厚ｎｄ−λ／４＝ ２
．６５μｍを蒸着すれば反射率としては０．０５％と理
想に近い値が期待出来る。実際に市販されている直径１
インチ、厚み５ｍ１ｎのＮａＦ両面反射防止膜付ＫＣ１
ｇの反射率を１０，６μｍ波長で測定したところ約０．
４％、Ｉ！３１゜収率は約０，３チと光学特性上は十分
実用に耐える埼のであることが判明したが、温度４５℃
、相対湿；凍９５％の環境試験において、６時間後Ｎａ
Ｆ膜の剥連が明確に観測された。それ故に耐水性という
点ては満足なものではなく実用性が無いと判断せざ必を
得ない。
）に非常に近いために光学的膜厚ｎｄ−λ／４＝ ２
．６５μｍを蒸着すれば反射率としては０．０５％と理
想に近い値が期待出来る。実際に市販されている直径１
インチ、厚み５ｍ１ｎのＮａＦ両面反射防止膜付ＫＣ１
ｇの反射率を１０，６μｍ波長で測定したところ約０．
４％、Ｉ！３１゜収率は約０，３チと光学特性上は十分
実用に耐える埼のであることが判明したが、温度４５℃
、相対湿；凍９５％の環境試験において、６時間後Ｎａ
Ｆ膜の剥連が明確に観測された。それ故に耐水性という
点ては満足なものではなく実用性が無いと判断せざ必を
得ない。
−ｊ、；単層で反射防止膜の条件を満足するものはＮａ
、Ｆ・尾外には無いので、二層、三層構造の反射防止膜
−カ検討される。反射防止膜の材料として満足しなけれ
ばならない条件としては、水に溶けにくく、波長１０．
６μｍ、０．６３２８μｍで透明で、基板との密着性が
良く、さらに薄膜状になりた時にピンホール 。
、Ｆ・尾外には無いので、二層、三層構造の反射防止膜
−カ検討される。反射防止膜の材料として満足しなけれ
ばならない条件としては、水に溶けにくく、波長１０．
６μｍ、０．６３２８μｍで透明で、基板との密着性が
良く、さらに薄膜状になりた時にピンホール 。
の出来にくいアモルファス状態を示す物質が選ば乳なけ
ればならない。そこで有望な材料として三硫化ヒ素（Ａ
Ｓ２Ｓ３．）、三硫化セレン（Ａｓ２Ｓｅ３）を代表と
するカルコゲナイドガラスや四弗化トリウム（ＴｈＦ４
）が挙げられる。
ればならない。そこで有望な材料として三硫化ヒ素（Ａ
Ｓ２Ｓ３．）、三硫化セレン（Ａｓ２Ｓｅ３）を代表と
するカルコゲナイドガラスや四弗化トリウム（ＴｈＦ４
）が挙げられる。
二層反射防止膜の構造については以下の様なものが考え
られる。
られる。
イ）ＫＣ１／ＧＡＴＳ／ＡＳ２Ｓ３
０） ＫＣ１７Ａｓ２Ｓ３／ ＴｈＦ４ハ） ＫＣＩ／
ＡＳ２Ｓ３／ＰｂＦ２ イ）の構造のものはいずれもカルコゲナイドガラスより
構成されているので耐水性、発生熱（波長１０．６μｍ
での吸収率が少ない）の点で優れている、７：ＧＡＴＳ
は波長０．６３２８μｍ光を透過しないという′Ｌ点を
有す。Ｏ）はいずれもアモルファス状態を１しかつＴ
ｈ Ｆ４の機械的強度が強いという利点が゛あるが、Ｔ
ｈＦ４は放射性を持っていて使用しにくくかつ吸収の少
ない高純度の材料を入手する事が困難であるという欠点
を有す。ハ）は吸収は少ないがＰ ｂ Ｆ２がアモルフ
ァス状態の薄膜を形成しないということと水に弱いとい
う欠点を有する。
ＡＳ２Ｓ３／ＰｂＦ２ イ）の構造のものはいずれもカルコゲナイドガラスより
構成されているので耐水性、発生熱（波長１０．６μｍ
での吸収率が少ない）の点で優れている、７：ＧＡＴＳ
は波長０．６３２８μｍ光を透過しないという′Ｌ点を
有す。Ｏ）はいずれもアモルファス状態を１しかつＴ
ｈ Ｆ４の機械的強度が強いという利点が゛あるが、Ｔ
ｈＦ４は放射性を持っていて使用しにくくかつ吸収の少
ない高純度の材料を入手する事が困難であるという欠点
を有す。ハ）は吸収は少ないがＰ ｂ Ｆ２がアモルフ
ァス状態の薄膜を形成しないということと水に弱いとい
う欠点を有する。
以上の欠点を解決すべく本発明者らは第１図に尊ずよう
な三層構造の反射防止膜を検討した。低屈折率物質のＴ
ｈ Ｆ４が使用出来ないので、吸収の小さなＰ ｂ
Ｆ２膜３を使りて、その水に弱い欠点をピンホールの出
来にくいＡ３２８３層２，４ではさみ部み保護し、その
三層膜でさらにＫＣＩ基板１を保鴇することを基本とし
た。効果としては、光吸収め少ないＡ３２Ｓ３がＫＣＩ
に対して密着性が良く、かつ水に対する保護膜として作
用し、さらにその上に光吸収の少ないＰ ｂ Ｆ ２
を附しその欠点である水に弱い点をさらにＡ Ｓ ２
Ｓ ３で保護し、かつ反射率零という反射防止膜の条件
を満たすと同時に波長０．６３２８μｍ光にも透明であ
る大パワー用反射防止膜を実現した。
な三層構造の反射防止膜を検討した。低屈折率物質のＴ
ｈ Ｆ４が使用出来ないので、吸収の小さなＰ ｂ
Ｆ２膜３を使りて、その水に弱い欠点をピンホールの出
来にくいＡ３２８３層２，４ではさみ部み保護し、その
三層膜でさらにＫＣＩ基板１を保鴇することを基本とし
た。効果としては、光吸収め少ないＡ３２Ｓ３がＫＣＩ
に対して密着性が良く、かつ水に対する保護膜として作
用し、さらにその上に光吸収の少ないＰ ｂ Ｆ ２
を附しその欠点である水に弱い点をさらにＡ Ｓ ２
Ｓ ３で保護し、かつ反射率零という反射防止膜の条件
を満たすと同時に波長０．６３２８μｍ光にも透明であ
る大パワー用反射防止膜を実現した。
この反射防止膜の特性は以下の様である。
（１）反射防止膜の波長１０．６μｍ炭酸カスレーザー
光による吸収率は０．０１５％のオーダーで２０ＫＷと
いう大パワー照射でも十分に使用出来る。
光による吸収率は０．０１５％のオーダーで２０ＫＷと
いう大パワー照射でも十分に使用出来る。
（２）温度４５℃、相対湿度９５チの環境試験６５０時
間経過後でも反射防止膜は何んら損傷を受けず実用的な
反射防止膜である。
間経過後でも反射防止膜は何んら損傷を受けず実用的な
反射防止膜である。
（３）三層それぞれの光学的膜厚をそれぞれ同時に３係
増減しても反射率は０．４％以下におさえられる。
増減しても反射率は０．４％以下におさえられる。
（４） エイ・ルギー密度７０ＫＷ／ｃｍのレーザー光
を２分間照射しても反射防止膜は何んら棲傷を受けない
。
を２分間照射しても反射防止膜は何んら棲傷を受けない
。
（５） 波長０．６３２８１１ｍのＨｅ−Ｎｅレーザー
光に対して透明であるのでビームアライメントが容易で
ある。
光に対して透明であるのでビームアライメントが容易で
ある。
；以上の様にこの反射防止膜は多くの利点を持つまで進
入しＫＣＩ基板１を溶かし結果として、反射防止膜が部
分的にＫＣＩ基板１から剥離するという欠点を有してい
る。
入しＫＣＩ基板１を溶かし結果として、反射防止膜が部
分的にＫＣＩ基板１から剥離するという欠点を有してい
る。
発明の目的
本発明は従来例のＡｓｚＳ３． ＰｂＦ２ を使用した
反射防止膜の持つ多゛〈の利点をそこなうことなく塾ら
に耐水性を向上させることを目的としだＫＣ，ｌ用反射
防止膜を提供するととにある。
反射防止膜の持つ多゛〈の利点をそこなうことなく塾ら
に耐水性を向上させることを目的としだＫＣ，ｌ用反射
防止膜を提供するととにある。
発明の構成
本発明は塩化カリウム基板に接する第一層にＡ Ｓ ２
Ｓ ３膜、第二層にＰｂＦ２膜、第三層にＡ Ｓ ２
Ｓ ３膜を用い第一層および第三層のＡｓ２５ｅ３の
少なくとも一方の膜厚を２分の１波長分増加させた＝ｉ
膜構造塩化カリウム用反射防止膜である。
Ｓ ３膜、第二層にＰｂＦ２膜、第三層にＡ Ｓ ２
Ｓ ３膜を用い第一層および第三層のＡｓ２５ｅ３の
少なくとも一方の膜厚を２分の１波長分増加させた＝ｉ
膜構造塩化カリウム用反射防止膜である。
実施例の説明
以下本発明を実施例にもとついて詳細に説明す叫を向上
させるために、本発明においてはＡ Ｓ ２ Ｓ ３最
の厚みを光学的厚みｎｄ−λ／２（λが１０６μｍであ
れば５．３μｍ）たけ増加させる。この場合どの、層で
ｎ ｄ−２だけ増加させたら良いかが問題にな１本。こ
の場合考慮しなければならない点は吸収が１失巾に増加
しないこと、反射率が１０．６μｍ波長で錆になるよう
にするための膜厚制御の容易さなどが重要となる。
させるために、本発明においてはＡ Ｓ ２ Ｓ ３最
の厚みを光学的厚みｎｄ−λ／２（λが１０６μｍであ
れば５．３μｍ）たけ増加させる。この場合どの、層で
ｎ ｄ−２だけ増加させたら良いかが問題にな１本。こ
の場合考慮しなければならない点は吸収が１失巾に増加
しないこと、反射率が１０．６μｍ波長で錆になるよう
にするための膜厚制御の容易さなどが重要となる。
第２図、第３図、第４図に可能な場合を示した。
声ｊ声図はＫＣＩ基板１に接した一層目のＡＳ２Ｓ３層
２ｎｄ−λ／２追加した場合、第４図は第一層２と第三
層４である最外層のＡ３２Ｓ３層のそれぞれに同時にＡ
ｓ２Ｓ３５ 、５’をｎｄ−λ／２追加した場合の反射
防止膜の構成図である。
２ｎｄ−λ／２追加した場合、第４図は第一層２と第三
層４である最外層のＡ３２Ｓ３層のそれぞれに同時にＡ
ｓ２Ｓ３５ 、５’をｎｄ−λ／２追加した場合の反射
防止膜の構成図である。
なお、各図において、２は光学的厚みｎｄ−２，５４０
ｐｍのＡＳ２Ｓ３膜、３は光学的厚みｎｄ＝１，３１１
ｐｍのＰｂＦ２膜、４は光学的厚みｎｄ ＝ｏ、９’ｌ
ｓ５μｍのＡ Ｓ ２ Ｓ ３膜である。これら各膜の
光学的膜厚はＭｏｕｃｈａｒｔの関係式を満足するよう
に定められるが、それぞれ４％増減させても反射率の増
大はほとんどなく実用性を損なわない。したがって、Ａ
Ｓ ２ Ｓ３膜２ 、 ＰｂＦ２膜３ 、 ＡＳ２Ｓ
３膜４ の光学的膜侮’ｐ ２．２３／１ｍ ”’−２
，８６μｍ 、１．２６４！ｍ 〜１．３６μｍ 。
ｐｍのＡＳ２Ｓ３膜、３は光学的厚みｎｄ＝１，３１１
ｐｍのＰｂＦ２膜、４は光学的厚みｎｄ ＝ｏ、９’ｌ
ｓ５μｍのＡ Ｓ ２ Ｓ ３膜である。これら各膜の
光学的膜厚はＭｏｕｃｈａｒｔの関係式を満足するよう
に定められるが、それぞれ４％増減させても反射率の増
大はほとんどなく実用性を損なわない。したがって、Ａ
Ｓ ２ Ｓ３膜２ 、 ＰｂＦ２膜３ 、 ＡＳ２Ｓ
３膜４ の光学的膜侮’ｐ ２．２３／１ｍ ”’−２
，８６μｍ 、１．２６４！ｍ 〜１．３６μｍ 。
東１６μｍ〜１．０４μｍが好適である。
１５−各図におけるＡＳ２Ｓ３膜５，５′は材料はＡ
ｓ ２ Ｓ ３膜２゜４と同一のものであるから、第２
図はＫＣＩ基板上にＡ ８２ Ｓ ３膜を光学的膜厚７
５３μｍ〜８．１６μｍするこ、１匹よりＡＳ２Ｓ３膜
２と５が形成される。第３図。
ｓ ２ Ｓ ３膜２゜４と同一のものであるから、第２
図はＫＣＩ基板上にＡ ８２ Ｓ ３膜を光学的膜厚７
５３μｍ〜８．１６μｍするこ、１匹よりＡＳ２Ｓ３膜
２と５が形成される。第３図。
小・４図の場合も同様である。
：艷）第５図は第１図乃至第４図の各構成の反射防止膜
がＫＣ１基板の両面に形成されたＫＣＩ窓の透過率（ス
ペクトルであり図中の番号６，７，８．９ はそれぞれ
第１図、第２図、第３図、第４図に示しだ反射防止膜が
ついたＫＣＩ窓のスペクトルに対応している。
がＫＣ１基板の両面に形成されたＫＣＩ窓の透過率（ス
ペクトルであり図中の番号６，７，８．９ はそれぞれ
第１図、第２図、第３図、第４図に示しだ反射防止膜が
ついたＫＣＩ窓のスペクトルに対応している。
第５図のスペクトルから判る様にＡＳ２Ｓ３をｎｄ−λ
／２追加する場合第２図の膜構造すなわちＫＣＩに接す
る第一層のＡ Ｓ ２ Ｓ ３層に追加した場合が波長
に対する透過率の変化が一番少ないだめに、実際に蒸着
を行って透過率が１００％になる点を波長１０６μｍに
もってきやすいことがわかり膜厚制御の点で一帯実現性
が高い。この構成において炭酸ガスレーザ光照射による
吸収率の測定によれば反射防止膜−面当りの吸収率は約
０．０４ ％であり充分実用四の有るとと耘判りた。一
方、第４図に示す反射防止膜の一面当りの吸収率は００
７飴とな９吸収が大きいために大出力炭酸ガスレーザ用
とじては不適当であるが中〜小出力の炭酸ガスレーザ用
としては十分である４０以上の特性を考慮すると従来例
（第１図の膜構造）にくらべ耐湿性がすぐれ力つ吸収が
大巾に増加せず膜厚制御も容易な反射゛１１論出来る。
／２追加する場合第２図の膜構造すなわちＫＣＩに接す
る第一層のＡ Ｓ ２ Ｓ ３層に追加した場合が波長
に対する透過率の変化が一番少ないだめに、実際に蒸着
を行って透過率が１００％になる点を波長１０６μｍに
もってきやすいことがわかり膜厚制御の点で一帯実現性
が高い。この構成において炭酸ガスレーザ光照射による
吸収率の測定によれば反射防止膜−面当りの吸収率は約
０．０４ ％であり充分実用四の有るとと耘判りた。一
方、第４図に示す反射防止膜の一面当りの吸収率は００
７飴とな９吸収が大きいために大出力炭酸ガスレーザ用
とじては不適当であるが中〜小出力の炭酸ガスレーザ用
としては十分である４０以上の特性を考慮すると従来例
（第１図の膜構造）にくらべ耐湿性がすぐれ力つ吸収が
大巾に増加せず膜厚制御も容易な反射゛１１論出来る。
発明の効果
以上のように、本発明はＫＣＩ基板上にＡ ８２ Ｓ
３膜。
３膜。
弗化鉛膜およびＡ Ｓ ２ Ｓ ３膜の三層膜を形成し
その中や、第一層および第三層のＡ Ｓ ２ Ｓ ３膜
の少なくとも−Ｑ’）光学的膜厚を７だけ厚くした塩化
カリウム用τ射防止膜で、従来例にくらべＫＣＩに接す
るＡ Ｓ ２ Ｓ ３膜の厚みが３倍と厚いため耐湿性
にすぐれかつ面画シの吸収率が非常に小さいため１０
ＫＷレベルの炭酸ガスレーザにも使用出来、長寿命のＫ
ＣＩ光学部品を実現可能にする。
その中や、第一層および第三層のＡ Ｓ ２ Ｓ ３膜
の少なくとも−Ｑ’）光学的膜厚を７だけ厚くした塩化
カリウム用τ射防止膜で、従来例にくらべＫＣＩに接す
るＡ Ｓ ２ Ｓ ３膜の厚みが３倍と厚いため耐湿性
にすぐれかつ面画シの吸収率が非常に小さいため１０
ＫＷレベルの炭酸ガスレーザにも使用出来、長寿命のＫ
ＣＩ光学部品を実現可能にする。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明者らの発明による従来のＫＣＩ用三層反
射防止膜の断面図、第２図乃至第４図は各々本発明によ
るＫＣＩ用三層反射防止膜の実施例を２ ・・・・・Ａ
８２ Ｓ３膜 ３・・・・・・・・・・・ＰｂＦ２膜 ４・・・・・・・Ａ Ｓ ２ Ｓ ３膜５．５′・・・
・・ＡＳ２Ｓ３膜
射防止膜の断面図、第２図乃至第４図は各々本発明によ
るＫＣＩ用三層反射防止膜の実施例を２ ・・・・・Ａ
８２ Ｓ３膜 ３・・・・・・・・・・・ＰｂＦ２膜 ４・・・・・・・Ａ Ｓ ２ Ｓ ３膜５．５′・・・
・・ＡＳ２Ｓ３膜
Claims (3)
- （１）塩化カリウム基板よりなる赤外透過基板上に第１
の三硫化砒素膜、弗化鉛膜、および第２の三硫化砒素膜
を順次形成し、前記第１および第２の三硫化砒素膜の少
なくとも一方の光学的膜厚にλ／２の光学的膜厚を付加
したことを特徴とする塩化カリウム用反射防止膜。 - （２）第１の三硫化砒素膜の膜厚を増大させた特許請求
の範囲第１項記載の塩化カリウム用反射防止膜。 - （３）第１の三硫化砒素膜、弗化鉛膜、第２の三硫化砒
素膜の光学的膜厚を、それぞれ７５３μｍ〜８．１６μ
ｍ 、１．２６μｍ −１，３６μｍ、 ０゜９６．１
７ｍ 〜１．０４１１ｍに選定した特許請求の範囲第１
項記載の反射防止膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59119918A JPS60263901A (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | 塩化カリウム用反射防止膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59119918A JPS60263901A (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | 塩化カリウム用反射防止膜 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60263901A true JPS60263901A (ja) | 1985-12-27 |
Family
ID=14773399
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59119918A Pending JPS60263901A (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | 塩化カリウム用反射防止膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60263901A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58221803A (ja) * | 1982-06-19 | 1983-12-23 | Agency Of Ind Science & Technol | 塩化カリウム用反射防止膜 |
-
1984
- 1984-06-13 JP JP59119918A patent/JPS60263901A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58221803A (ja) * | 1982-06-19 | 1983-12-23 | Agency Of Ind Science & Technol | 塩化カリウム用反射防止膜 |
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