JPS6027143B2 - カラ−カメラ用撮像管のタ−ゲツトおよびその製造方法 - Google Patents

カラ−カメラ用撮像管のタ−ゲツトおよびその製造方法

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Publication number
JPS6027143B2
JPS6027143B2 JP7243877A JP7243877A JPS6027143B2 JP S6027143 B2 JPS6027143 B2 JP S6027143B2 JP 7243877 A JP7243877 A JP 7243877A JP 7243877 A JP7243877 A JP 7243877A JP S6027143 B2 JPS6027143 B2 JP S6027143B2
Authority
JP
Japan
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color
transparent electrode
image pickup
target
pickup tube
Prior art date
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Expired
Application number
JP7243877A
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English (en)
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JPS546722A (en
Inventor
慎司 藤原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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  • Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は3電極方式単管式カラーカメラ用撮像管のター
ゲットに関し、製造工程が簡単で、かつ,焦点深度の浅
いレンズを用いることのできるカラーカメラ用撮像管タ
ーゲットおよびその製造方法を提供しようとするもので
ある。
小型カラーカメラ用撮像管には単管式、2管式。
3管式のものがある。
また、単管式カラーカメラ用撮像管のうちでも周波数分
離方式、位相分離方式、3電極方式等に分離される。3
電極方式単管式カラーカメラ用撮像管は赤色、緑色、青
色の三色の信号を単管から取り出すもので、従来の3電
極方式単瞥式カラーカメラ用撮像管のターゲットとして
は第1図に示すものが提案されていた。
この第1図において、1はガラス基板であり、このガラ
ス基板1の−主面上には赤色用ストライプフィル夕2R
、緑色用ストライプフィルタ幻、青色用ストラィプフィ
ルタ2Bが順次交互に配置されている。
さらに、この各色用ストライプフィル夕2R,2G,2
8上には透光性接着剤3を介して透光性薄板4が設けら
れている。この透光性薄板4上には透明電極5が形成さ
れている。この透明電極5は前記透光性薄板4上に一面
に形成された後、IC技術を使って、化学的エッチング
物理的エッチングで不要な部分の透明電極を除去して前
記各赤色用ストライプフィル夕2R、緑色用ストライプ
フィル夕2G、青色用ストライプフィル夕2Bごとに対
応し、かつ相互に分離したストライプ状に形成される。
この透明電極5上には光軍変換膜が黍着されている。上
記機成において透光性薄板4は、一面に形成された透明
電極の不要部分を除去する化学的エッチング、物理的エ
ッチングを行う際に各色用ストライプフィル夕が損傷さ
れるのを防止するために必要とされるものであり、また
、接着剤3は各色用ストライプフィル夕と透光性薄板4
を接着するために必要とされるものである。
そして、これら接着剤3と透光性基板4との介在によっ
て各色用ストライプフィル夕と透明電極5との間隔は3
0〜50ムm程度となり焦点深度の深いレンズを使用し
なければならずS/N等画質が低下していた。本発明は
上記従来のカラーカメラ用撮像管のターゲットの欠点を
解消し、透明電極への化学的エッチング、物理的エッチ
ングを不要とした簡単な製造方法で、各色用ストライプ
フィル夕と透明電極とが近接して焦点深度の浅いレンズ
を用いることのできるカラーカメラ用撮像管のターゲッ
トを提供しようとするものであり、以下に本発明の一実
施例について第2図とともに説明する。11は透光性基
板であり、まずこの透光性基板11上に例えば20〆m
幅の赤色用ストライプフィル夕12Rを例えば34ムm
間隔で形成し、この後、例えば20仏m幅の緑色用スト
ライプフィル夕12Gを前記赤色用ストライプフィル夕
12Rに一部、例えば2仏m重ねて透光性基板11上に
形成し、さらに例えば20仏m幅の青色用ストライプフ
ィル夕128を前記赤色用ストライプフィル夕12R、
緑色用ストライプフィル夕12Gにそれぞれ一部、例え
ば2〃mづつ重ねて透光性基板上に形成する。
この結果、透光性基板上11には赤色用ストライプフィ
ル夕12R、緑色用ストライプフィル夕12G、青色用
ストライプフィル夕12Bが順次交互に形成され、各色
用ストライプフィル夕の幅方向の両端は隣接する池色用
ストライプフィル外こ一部重豊しており、この重畳した
部分が車畳してし、ない部分に比べ段差を有している。
この後、これら各色用ストライプフィルタ上に蒸着法ま
たはスパッタ法でlnまたはSn等の酸化物の透明電極
13を形成する、この透明電極13の膜厚が各色用スト
ライプフィル夕の重畳部分と重豊しない部分との段差よ
りも4・さげれば、透明電極13は各色用ストライプフ
ィル夕の重畳しない部分上にのみ形成され、車畳した部
分には形成されない。従って、各色用ストライプフィル
夕の重畳しない部分に形成された透明電極13は互いに
分離しているので、化学的エッチング、物理的エッチン
グを行う必要がない。この後、この透明電極1 3上に
SQC3,ZnSe−ZnxCd,一xTe(ln)一
Sbぶ3等の光導電膜を形成してターゲットが完成する
。本実施例のターゲットは各色用ストライプフィル夕と
透明電極が接しているので篤V点深度の浅いレンズを用
いることができる。
なお、各色用ストライプフィル夕が化学的に弱い場合に
は薄いガラス膜を保護膜として介在させて透明電極を形
成しても良い。
以上の説明から明らかなように本発明の製造方法によれ
ば各色用ストライプフィル夕を交互に一部童畳して形成
し重畳してし、ない部分にのみ透明電極が形成されるの
で透明電極の不要部分を除去する必要がなく、製造工程
が簡略されまた本発明のカラーカメラ用撮像管のターゲ
ットは各色用ストライプフィル夕と透明電極との間隔が
狭いので焦点深度の浅いレンズを用いることができ画質
が向上する。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来のカラーカメラ用撮像管のターゲットの断
面図、第2図は本発明の一実施例を示すカラーカメラ用
撮像管のターゲットの断面図である。 11・・・・・・透光性基板、12R・・・・・・赤色
用ストライプフィル夕、12G・・・・・・緑色用スト
ライプフィル夕、128・・・・・・青色用ストライプ
フィル夕、13・・・・・・透明電極、14・・・・・
・光導電膜。 第1図第2図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 透光性基板と、この透光性基板上に互いに一部重畳
    して形成された複数の色用ストライプフイルタと、この
    色用ストライプフイルタの互いに重畳していない部分に
    のみ形成された透明電極と、この透明電極上に形成され
    た光導電膜とを備えてなるカラーカメラ用撮像管のター
    ゲツト。 2 色用ストライプフイルタと透明電極との間にはガラ
    ス膜が介在していることを特徴とする特許請求の範囲第
    1項に記載のカラーカメラ用撮像管のターゲツト。 3 透光性基板上に複数の色用ストライプフイルタを互
    いに一部重畳して形成する工程と、この色用ストライプ
    フイルタの重畳していない部分にのみ透明電極を形成す
    る工程と、この透明電極上に光導電膜を形成する工程と
    を備えてなるカラーカメラ用撮像管のターゲツトの製造
    方法。
JP7243877A 1977-06-17 1977-06-17 カラ−カメラ用撮像管のタ−ゲツトおよびその製造方法 Expired JPS6027143B2 (ja)

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JPS546722A JPS546722A (en) 1979-01-19
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JPH0772555B2 (ja) * 1988-10-07 1995-08-02 松下電器産業株式会社 横流ファンの製造方法
JPH0642493A (ja) * 1992-01-17 1994-02-15 Sanko Gosei Kk 筒状羽根車の製造方法

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