JPS6030543U - 半導体装置の気密封止装置 - Google Patents
半導体装置の気密封止装置Info
- Publication number
- JPS6030543U JPS6030543U JP1983123428U JP12342883U JPS6030543U JP S6030543 U JPS6030543 U JP S6030543U JP 1983123428 U JP1983123428 U JP 1983123428U JP 12342883 U JP12342883 U JP 12342883U JP S6030543 U JPS6030543 U JP S6030543U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor devices
- hermetic sealing
- sealing equipment
- seam weld
- weld electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
- B81C1/00015—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems
- B81C1/00261—Processes for packaging MEMS devices
- B81C1/00269—Bonding of solid lids or wafers to the substrate
Landscapes
- Casings For Electric Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の半導体装置の気密封止装置の一例の要部
断面図、第２図は本考案の一実施例の要部断面図である
。 １・・・容器、２・・・金属化層、３・・・外部導出リ
ード、４・・・半導体チップ、５・・・金属細線、６・
・・蓋、７・・・ろう材、１１．１２・・・電極、２１
．２２・・・電極。
断面図、第２図は本考案の一実施例の要部断面図である
。 １・・・容器、２・・・金属化層、３・・・外部導出リ
ード、４・・・半導体チップ、５・・・金属細線、６・
・・蓋、７・・・ろう材、１１．１２・・・電極、２１
．２２・・・電極。
Claims (1)
- 半導体チップを収納した容器と蓋とをシームウェルド用
電極を用いて気密封止する半導体装置の気密封止装置に
おいて、前記シームウェルド用電極が円柱形であること
を特徴とする半導体装置の気密封止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983123428U JPS6030543U (ja) | 1983-08-09 | 1983-08-09 | 半導体装置の気密封止装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983123428U JPS6030543U (ja) | 1983-08-09 | 1983-08-09 | 半導体装置の気密封止装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6030543U true JPS6030543U (ja) | 1985-03-01 |
Family
ID=30281750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1983123428U Pending JPS6030543U (ja) | 1983-08-09 | 1983-08-09 | 半導体装置の気密封止装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6030543U (ja) |
-
1983
- 1983-08-09 JP JP1983123428U patent/JPS6030543U/ja active Pending
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