JPS6033005A - 超音波厚さ計 - Google Patents
超音波厚さ計Info
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- JPS6033005A JPS6033005A JP14150083A JP14150083A JPS6033005A JP S6033005 A JPS6033005 A JP S6033005A JP 14150083 A JP14150083 A JP 14150083A JP 14150083 A JP14150083 A JP 14150083A JP S6033005 A JPS6033005 A JP S6033005A
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- JP
- Japan
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- measured
- wave
- ultrasonic
- angle
- reflected
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B17/00—Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations
- G01B17/02—Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations for measuring thickness
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈発明の分野〉
本発明は、超音波を被測定物体に投射し、その超音波の
被測定物体に対する反射波に基づいて該被測定物体の厚
さを計測する超音波厚さ計に関する。
被測定物体に対する反射波に基づいて該被測定物体の厚
さを計測する超音波厚さ計に関する。
〈従来技術とその問題点〉
このような超音波厚さ計では、一般に前記反射波として
は被測定物体の表面で反射される第１反射波と、被測定
物体の表面では反射されずその内部を通りその底面で反
射される第２反射波とがあり、両温１．第２反射波が特
定の位置に配置された受波手段でそれぞれ受波される時
刻の差Δｔと、被測定物体中での音速Ｃとに基づいて被
測定物体の厚さを計測するようになっている。ところで
、従来の超音波厚さ計には、被測定物体中の音速Ｃとし
て、被測定物体とは別個の試験片中の音速を用いている
ものがある。ところが、試験片で予じめ音速をめること
は被測定物体の厚さの計測操作を煩雑化させるという問
題点がある。また、そればかりでなく、実際の被測定物
体と試験片とを完全に同一の構造とし、被測定物体の厚
さ測定時の条件に試験片中の音速測定条件を完全に一致
させなければ、正確に音速をめたものとはいえないが、
このようにして音速を正確にめることは非常に難しい。
は被測定物体の表面で反射される第１反射波と、被測定
物体の表面では反射されずその内部を通りその底面で反
射される第２反射波とがあり、両温１．第２反射波が特
定の位置に配置された受波手段でそれぞれ受波される時
刻の差Δｔと、被測定物体中での音速Ｃとに基づいて被
測定物体の厚さを計測するようになっている。ところで
、従来の超音波厚さ計には、被測定物体中の音速Ｃとし
て、被測定物体とは別個の試験片中の音速を用いている
ものがある。ところが、試験片で予じめ音速をめること
は被測定物体の厚さの計測操作を煩雑化させるという問
題点がある。また、そればかりでなく、実際の被測定物
体と試験片とを完全に同一の構造とし、被測定物体の厚
さ測定時の条件に試験片中の音速測定条件を完全に一致
させなければ、正確に音速をめたものとはいえないが、
このようにして音速を正確にめることは非常に難しい。
このため被測定物体の厚さをめるために必要な前記時刻
の差Δｔをいかに正確に得ることができたとしても、被
測定物体中の音速Ｃを、正確にめることが困難である以
上、上記厚さを正確に計測することに難点がある。
の差Δｔをいかに正確に得ることができたとしても、被
測定物体中の音速Ｃを、正確にめることが困難である以
上、上記厚さを正確に計測することに難点がある。
〈発明の目的〉
本発明は、被測定物体の厚さを簡易な操作でしかも正確
に計測できるようにすることを目的とする。
に計測できるようにすることを目的とする。
〈発明の構成と効果〉
本発明は、このような目的を達成するため、予じめ定め
られた振幅を有する超音波を被測定物体に向って投射す
る手段と、被測定物体からの反射波を受波する手段と、
前記受波手段の受波振幅を、予じめ定められたしきい値
で弁別する手段と、前記受波振幅が、前記しきい値を越
えたときの前記弁別手段出力により前記超音波の被測定
物体に対する角度を測定する手段と、前記角度測定手段
出力を角度情報として記憶する手段と、前記投射手段か
ら投射された超音波の被測定物体に対する反射波の内、
被測定物体の表面からの反射波と、同じくその底面から
の反射波とがそれぞれ前記受波手段で受波されるときの
各受波時刻の差を計測する手段と、前記計測手段出力と
前記記憶手段で配憶されている角度情報とに基づいて被
測定物体の厚さを演算する手段とを備えてなるものであ
る。
られた振幅を有する超音波を被測定物体に向って投射す
る手段と、被測定物体からの反射波を受波する手段と、
前記受波手段の受波振幅を、予じめ定められたしきい値
で弁別する手段と、前記受波振幅が、前記しきい値を越
えたときの前記弁別手段出力により前記超音波の被測定
物体に対する角度を測定する手段と、前記角度測定手段
出力を角度情報として記憶する手段と、前記投射手段か
ら投射された超音波の被測定物体に対する反射波の内、
被測定物体の表面からの反射波と、同じくその底面から
の反射波とがそれぞれ前記受波手段で受波されるときの
各受波時刻の差を計測する手段と、前記計測手段出力と
前記記憶手段で配憶されている角度情報とに基づいて被
測定物体の厚さを演算する手段とを備えてなるものであ
る。
本発明は、このように構成することにより、前記弁別手
段出力から超音波の被測定物体に対する入射２反射、屈
折の角度に関する情報を得、前記演算手段により前記角
度情報に基づいて被測定物体中の音速を演算するととも
に、この音速と、前記時刻の差とから更に演算手段によ
り被測定物体の厚さを演算するようにしている。したが
って、本発明によれば、被測定物体中の音速をめるた、
ｆ。
段出力から超音波の被測定物体に対する入射２反射、屈
折の角度に関する情報を得、前記演算手段により前記角
度情報に基づいて被測定物体中の音速を演算するととも
に、この音速と、前記時刻の差とから更に演算手段によ
り被測定物体の厚さを演算するようにしている。したが
って、本発明によれば、被測定物体中の音速をめるた、
ｆ。
めに試験片中の音速を一旦求めるという必要はなくなり
、直接、被測定物体中の音速をめることができることに
なり、計測操作が簡易になる。また、被測定物体中の音
速を、被測定物体そのものでめるので正確に音速をめる
ことができ、したがって被測定物体の厚さ計測を正確に
行うことができる。
、直接、被測定物体中の音速をめることができることに
なり、計測操作が簡易になる。また、被測定物体中の音
速を、被測定物体そのものでめるので正確に音速をめる
ことができ、したがって被測定物体の厚さ計測を正確に
行うことができる。
〈実施例の説明〉
以下、本発明を図面に示す一実施例に基づいて詳細に説
明する。
明する。
第１図はこの実施例に係る超音波厚さ計の回路図である
。第１図において、符号１は、予じめ定められた振幅を
有する超音波２を被測定物体３に投射する手段である。
。第１図において、符号１は、予じめ定められた振幅を
有する超音波２を被測定物体３に投射する手段である。
この投射手段１は、パルサ４と周波数がある程度高い超
音波をビーム状に送波する超音波送波器５とを含む。６
は被測定物体３からの反射波７を受波する手段としての
超音波受波器、８は超音波受波器６の受波振幅を、検出
効率や伝播経路での超音波の減衰を考慮して予じ“め定
められたしきい値で弁別する手段としてのパワー検出器
、９は反射波７の受ｆＩＩｉ振幅が、前記１゜きい値を
越えたときのパワー検出器８出力により反射波７の被測
定物体３に対する反射角度を測定する手段としての角度
測定器である。ここで、超音波送波器５と超音波受波器
６とは、例えば超音波振動子で構成されておシ、被測定
物体３の表面３ａにたてた法線ｎに対して常に同じ角度
θｉ、θｒ（−θｉ）で向かい合っている。被測定物体
３に入射した超音波２が被測定物体３の表面３ａで反射
する反射波７を第１反射波とし、同じくその底１１１７
３ｂで反射する反射波７′を第２反射波とし、更に第２
反射波７′の屈折角をθｔとする。また、被測定物体３
外の音速をＣい被測定物体３中の音速を０２とする。そ
うすると、上記各位には次式＋１１［２＋が成立する。
音波をビーム状に送波する超音波送波器５とを含む。６
は被測定物体３からの反射波７を受波する手段としての
超音波受波器、８は超音波受波器６の受波振幅を、検出
効率や伝播経路での超音波の減衰を考慮して予じ“め定
められたしきい値で弁別する手段としてのパワー検出器
、９は反射波７の受ｆＩＩｉ振幅が、前記１゜きい値を
越えたときのパワー検出器８出力により反射波７の被測
定物体３に対する反射角度を測定する手段としての角度
測定器である。ここで、超音波送波器５と超音波受波器
６とは、例えば超音波振動子で構成されておシ、被測定
物体３の表面３ａにたてた法線ｎに対して常に同じ角度
θｉ、θｒ（−θｉ）で向かい合っている。被測定物体
３に入射した超音波２が被測定物体３の表面３ａで反射
する反射波７を第１反射波とし、同じくその底１１１７
３ｂで反射する反射波７′を第２反射波とし、更に第２
反射波７′の屈折角をθｔとする。また、被測定物体３
外の音速をＣい被測定物体３中の音速を０２とする。そ
うすると、上記各位には次式＋１１［２＋が成立する。
ｓｉｎ ＯＬ ＝： ｓｉｎθｒ ＝ ０）ｓｉｎθｔ
／ ｓ １ｎθ’ ＝ ”ｚ／ ”ｓ ・・（２１し
たがって、ｓｉｎθｔ−１、つまりθｊ、＝９ＱＯとな
って超音波２が被測定物体３の表面３ａで全反射すると
きは、被測定物体３中の音速Ｃ２は次式（３）よ 請求
まる。
／ ｓ １ｎθ’ ＝ ”ｚ／ ”ｓ ・・（２１し
たがって、ｓｉｎθｔ−１、つまりθｊ、＝９ＱＯとな
って超音波２が被測定物体３の表面３ａで全反射すると
きは、被測定物体３中の音速Ｃ２は次式（３）よ 請求
まる。
Ｃ２＝ Ｃ，／ ｓｉｎθｒ”！３）
この式（３）においてＣ１は例えば超音波が伝播する媒
質が水や油のように正確にその値がめられているものと
するさき、被測定物体３中の音速は、角度θｒをめると
よいことになる。このため、超音波送波器５と超音波受
波器６の互いに向き合う角度が例えばθｉ−ｔ・、θｒ
−１ｉ ７）ときのパワー検出器８の受波振幅Ｐ１がし
きい値より小さいとき超音波送波器５と超音波受波器６
の互いの向き合う角度を微小角Δθだけ太きくして、向
き合う角度をθｉ−θｉ−１ 千Δθ、θｒ＝θｒ−１
＋Δθとする。このような向き合い角度θ１．θｒのと
きのパワー検出器８の受波振幅Ｐｉがしきい値をこえる
。次に受波振幅がしきい値より大きくなったとき、更に
前記微小角Δθだけ大きくしても受波振幅Ｐｉがそれ以
上大きくならず、前回の受波振幅Ｐｉと一致するときは
、超音波送波器５の超音波２が、被測定物体３の表面３
ａで全反射していることをあられしている。このときの
パワー検出器８の弁別出力に基づいて前記式（３）の角
度θｒを測定する。なお、パワー検出器８は磁気ひずみ
や電気ひずみ現象を利用した検出器とし、超音波受波器
６と共に角変位できるようにすれば、超音波受波器６の
被測定物体３の法線ｎに対する角度θｒに対応した出力
を角度測定器９に与えることができる。１０は角度測定
器９出力を角度情報として記憶する手段としてのプログ
ラム・データメモリである。
質が水や油のように正確にその値がめられているものと
するさき、被測定物体３中の音速は、角度θｒをめると
よいことになる。このため、超音波送波器５と超音波受
波器６の互いに向き合う角度が例えばθｉ−ｔ・、θｒ
−１ｉ ７）ときのパワー検出器８の受波振幅Ｐ１がし
きい値より小さいとき超音波送波器５と超音波受波器６
の互いの向き合う角度を微小角Δθだけ太きくして、向
き合う角度をθｉ−θｉ−１ 千Δθ、θｒ＝θｒ−１
＋Δθとする。このような向き合い角度θ１．θｒのと
きのパワー検出器８の受波振幅Ｐｉがしきい値をこえる
。次に受波振幅がしきい値より大きくなったとき、更に
前記微小角Δθだけ大きくしても受波振幅Ｐｉがそれ以
上大きくならず、前回の受波振幅Ｐｉと一致するときは
、超音波送波器５の超音波２が、被測定物体３の表面３
ａで全反射していることをあられしている。このときの
パワー検出器８の弁別出力に基づいて前記式（３）の角
度θｒを測定する。なお、パワー検出器８は磁気ひずみ
や電気ひずみ現象を利用した検出器とし、超音波受波器
６と共に角変位できるようにすれば、超音波受波器６の
被測定物体３の法線ｎに対する角度θｒに対応した出力
を角度測定器９に与えることができる。１０は角度測定
器９出力を角度情報として記憶する手段としてのプログ
ラム・データメモリである。
１１は投射手段１から投射された超音波２の被測定物体
３に対する第１．第２反射波７，７′が、超音波受波器
６で受波される時刻の差Δｔを計測する手段である。こ
の計測手段１１はパワー検出器８からの第１反射波７に
対応する第１検出出力によりゲート開になり、第２反射
波７′に対応する第２検出出力によシゲート閉になるゲ
ート回路１２と、クロック発振器１３と、ゲート回路１
２からゲート出力が与えられている間にのみクロック発
振器１３からのクロックをカウントするカウンタ１４と
を備える。１５は全体の動作を制御するとともに１演算
手段としての機能を有するＣＰＵであり、このＣＰＵ１
５に、第１Ａ／Ｄ変換器１６を介して角度測定器９から
の角度情報が与えられる。ＣＰＵ１５は、この角度情報
をプログラム・データメモリ１０に記憶させる。プログ
ラム・データメモリ１０は、角度情報以外に、ＣＰＵ１
５の動作を規定するプログラムも記憶している。
３に対する第１．第２反射波７，７′が、超音波受波器
６で受波される時刻の差Δｔを計測する手段である。こ
の計測手段１１はパワー検出器８からの第１反射波７に
対応する第１検出出力によりゲート開になり、第２反射
波７′に対応する第２検出出力によシゲート閉になるゲ
ート回路１２と、クロック発振器１３と、ゲート回路１
２からゲート出力が与えられている間にのみクロック発
振器１３からのクロックをカウントするカウンタ１４と
を備える。１５は全体の動作を制御するとともに１演算
手段としての機能を有するＣＰＵであり、このＣＰＵ１
５に、第１Ａ／Ｄ変換器１６を介して角度測定器９から
の角度情報が与えられる。ＣＰＵ１５は、この角度情報
をプログラム・データメモリ１０に記憶させる。プログ
ラム・データメモリ１０は、角度情報以外に、ＣＰＵ１
５の動作を規定するプログラムも記憶している。
また、とのＣＰＵ１５には第２Ａ／Ｄ変換器１７を介し
て計測手段１１出力が与えられる。ＣＰＵ１５は開側手
段１１出力とプログラム・データメモリ１０で記憶され
ている角度情報とに基づいて被測定物体３の厚さを演算
するようになっている。
て計測手段１１出力が与えられる。ＣＰＵ１５は開側手
段１１出力とプログラム・データメモリ１０で記憶され
ている角度情報とに基づいて被測定物体３の厚さを演算
するようになっている。
１８はｃｐｕｌＨの出力である被測定物体３の厚さを表
示する厚さ表示部、１９はインタフェースである。
示する厚さ表示部、１９はインタフェースである。
次に、第２図のタイムチャートおよび第３図の音速測定
のためのフローチャートを参照しながら動作を説明する
。第２図（ａ）は超音波送波器５からの鰺音波２のパル
ス波形を示し、第２図（ｂ）は第１゜第２反射波７，７
′に対応するパワー検出器８の第１、第２出力を示し、
第２図（Ｃ）は第１．第２出力によりゲート回路１２か
ら出力されるゲートパルスを示す。第２図（ｄ）はクロ
ック発振器１３からのクロックパルスを示し、第２図（
ｅ）はカウンタ１４がカウント入力できるクロック発振
器１３からのクロックパルスを示す。先ず、被測定物体
３中の音速を測定するためステップｎ１において、パワ
ー検出器８の出力Ｐｉを正規化する。超音波送波器５か
ら第２図（ａ）に示す超音波２を被測定物体３に投射す
る。超音波２の被測定物体３に対する入射角θｉが小さ
いときは、この超音波２は被測定物体３の表面３ａで反
射されるのみならず、屈折して被測定物体３中にはいる
。したかつて、パワー検出器８の出力Ｐ１は、超音波２
が被測定物体３０表面３ａで全反射するときの予じめ定
められたしきい値ＦＴ）Ｉよりも小さい。このため、ス
テップｎ２においては、Ｐｉ） ＰＴＨではないと判定
し、ステップｎ。
のためのフローチャートを参照しながら動作を説明する
。第２図（ａ）は超音波送波器５からの鰺音波２のパル
ス波形を示し、第２図（ｂ）は第１゜第２反射波７，７
′に対応するパワー検出器８の第１、第２出力を示し、
第２図（Ｃ）は第１．第２出力によりゲート回路１２か
ら出力されるゲートパルスを示す。第２図（ｄ）はクロ
ック発振器１３からのクロックパルスを示し、第２図（
ｅ）はカウンタ１４がカウント入力できるクロック発振
器１３からのクロックパルスを示す。先ず、被測定物体
３中の音速を測定するためステップｎ１において、パワ
ー検出器８の出力Ｐｉを正規化する。超音波送波器５か
ら第２図（ａ）に示す超音波２を被測定物体３に投射す
る。超音波２の被測定物体３に対する入射角θｉが小さ
いときは、この超音波２は被測定物体３の表面３ａで反
射されるのみならず、屈折して被測定物体３中にはいる
。したかつて、パワー検出器８の出力Ｐ１は、超音波２
が被測定物体３０表面３ａで全反射するときの予じめ定
められたしきい値ＦＴ）Ｉよりも小さい。このため、ス
テップｎ２においては、Ｐｉ） ＰＴＨではないと判定
し、ステップｎ。
に進む。次に、超音波送波器５と超音波受波器６との互
いの対向角度０１．θｒをΔθだけ大きくして後のパワ
ー検出器８の出力Ｐ１→ をステップｎ３において測定
する。こうして、パワー検出器８の出力Ｐ１がＰｉ）Ｐ
ｒｏとなったときにステップｎ２においてＹ］ＩｃＳと
判定し、次のステップｎ４ではその出力Ｐｉが前回のパ
ワー検出器８の出力Ｐｉに一致するか否かを判断する。
いの対向角度０１．θｒをΔθだけ大きくして後のパワ
ー検出器８の出力Ｐ１→ をステップｎ３において測定
する。こうして、パワー検出器８の出力Ｐ１がＰｉ）Ｐ
ｒｏとなったときにステップｎ２においてＹ］ＩｃＳと
判定し、次のステップｎ４ではその出力Ｐｉが前回のパ
ワー検出器８の出力Ｐｉに一致するか否かを判断する。
超音波２がまだ、被測定物体３０表面３ａで全反射して
いないために一致していないと判定すると−きはステッ
プｎ５に進む。ステップｎ５では、ステップ−と同様の
処理をする。こうして、超音波２が被測定物体３０表面
３ａで全反射するまでの角度θｉ、θｒの関係になった
ときには出力Ｐ１は前回の出力Ｐｉと一致するので、ス
テップｎ４でＹＥＳと判定する。このときの角度測定器
９の出力をＣＰＵＩ ５はステップｎ、においてプログ
ラム・データメモリ１０に角度情報θＣとして記憶させ
る。次に、ステップ書において、ＣＰＵ、１５はこの角
度情報θＣに基づいて前記式（３）の演算を行って被測
定物体３中の音速Ｃ２を演算する。こうして、音速Ｃ２
の測定が終了する。
いないために一致していないと判定すると−きはステッ
プｎ５に進む。ステップｎ５では、ステップ−と同様の
処理をする。こうして、超音波２が被測定物体３０表面
３ａで全反射するまでの角度θｉ、θｒの関係になった
ときには出力Ｐ１は前回の出力Ｐｉと一致するので、ス
テップｎ４でＹＥＳと判定する。このときの角度測定器
９の出力をＣＰＵＩ ５はステップｎ、においてプログ
ラム・データメモリ１０に角度情報θＣとして記憶させ
る。次に、ステップ書において、ＣＰＵ、１５はこの角
度情報θＣに基づいて前記式（３）の演算を行って被測
定物体３中の音速Ｃ２を演算する。こうして、音速Ｃ２
の測定が終了する。
次に、各反射波７，７′の受波時刻の差Δｔをめる。
先ず、計測手段１１は、超音波２の被測定物体３での反
射波の内、その表面３ａでの第１反射波７に対応するパ
ワー検出器８の第１出カと、その底面３ｂでの第２反射
波７′に対応するパワー検出器８の第２出力とにより、
第２図（Ｃ）のように時刻ｔ１〜ｔ２の間、ゲート回路
１２からゲートパルスを出力させる。ゲート回路１２が
らのゲートパルスによりカウンタ１４は第２図＜ｅ）に
示すクロック発振器１３のクロックをカウントする。こ
のカウント出力は、Ａ ／ Ｄ変換器１７を介してＣＰ
Ｕ１５に与えられる。ＣＰＵ１５はこのＡ ／ Ｄ変換
されたカウント出力に基づいて第１反射波７と第２反射
波７′との受波時刻の差Δｔを演算する。こうして、Ｃ
ＰＵ１５は、被測定物体３中の音速ｃ２と受波時刻の差
Δｔとに基づいて次のようにして被測定物体３の厚さｄ
を演算する。
射波の内、その表面３ａでの第１反射波７に対応するパ
ワー検出器８の第１出カと、その底面３ｂでの第２反射
波７′に対応するパワー検出器８の第２出力とにより、
第２図（Ｃ）のように時刻ｔ１〜ｔ２の間、ゲート回路
１２からゲートパルスを出力させる。ゲート回路１２が
らのゲートパルスによりカウンタ１４は第２図＜ｅ）に
示すクロック発振器１３のクロックをカウントする。こ
のカウント出力は、Ａ ／ Ｄ変換器１７を介してＣＰ
Ｕ１５に与えられる。ＣＰＵ１５はこのＡ ／ Ｄ変換
されたカウント出力に基づいて第１反射波７と第２反射
波７′との受波時刻の差Δｔを演算する。こうして、Ｃ
ＰＵ１５は、被測定物体３中の音速ｃ２と受波時刻の差
Δｔとに基づいて次のようにして被測定物体３の厚さｄ
を演算する。
先ず、クロックの周波数をｆメガヘルツとするとクロッ
クパルスの間隔１．は（１／ｆ）ｘ ｌ Ｏ’秒となる
。第２図に示す期間’ｒａ （二Δｔ）の間に、カウン
タ１４がカウントするクロックパルスの数をｎとするき
、前記受波時刻の差Δｔはｎ Ｘ １０ ’／ｆ秒で与
えられる。したがって、被測定物体３の厚さｄは次式（
４）で与えられる。
クパルスの間隔１．は（１／ｆ）ｘ ｌ Ｏ’秒となる
。第２図に示す期間’ｒａ （二Δｔ）の間に、カウン
タ１４がカウントするクロックパルスの数をｎとするき
、前記受波時刻の差Δｔはｎ Ｘ １０ ’／ｆ秒で与
えられる。したがって、被測定物体３の厚さｄは次式（
４）で与えられる。
ｄ＝ （ｎＸ１０ ／ｆ）ＸＣ２Ｘ百 −［４）ここで
、具体例として、ｆ二３０メガヘルツ、ｎ＝５０９、”
２ ＝ ５９００ メ） ル／秒がそれぞれ与えられ、
また演算結果として与えられると、ＣＰＵ１８は前記式
（４）にしたがってこの数値に基づいた演算を行い、厚
さｄを約５’０．０ ニー １７メートルとして厚さ表
示部１８に表示させる。
、具体例として、ｆ二３０メガヘルツ、ｎ＝５０９、”
２ ＝ ５９００ メ） ル／秒がそれぞれ与えられ、
また演算結果として与えられると、ＣＰＵ１８は前記式
（４）にしたがってこの数値に基づいた演算を行い、厚
さｄを約５’０．０ ニー １７メートルとして厚さ表
示部１８に表示させる。
図面は、本発明の一実施例に係り、第１図は全体の回路
図、第２図は各反射波の受波時刻の差をめる計測手段１
１の動作説明に供するタイミングチャート、第３図は被
測定物体３中の音速をめるためのプログラムフローチャ
ートである。 １・・投射手段、２・・超音波、３・・被測定物本、３
ａ・・表面、３ｂ・・底面、５・・超音波送波器、６・
・超音波受波器、７・・第１反射波、７′・・第２反射
波、８・・パワー検出器、９・・角度測定器、１０・・
プログラム・データメモリ、１１・・計測手段、１５・
・ＣＰＵ。 第２図 第３図
図、第２図は各反射波の受波時刻の差をめる計測手段１
１の動作説明に供するタイミングチャート、第３図は被
測定物体３中の音速をめるためのプログラムフローチャ
ートである。 １・・投射手段、２・・超音波、３・・被測定物本、３
ａ・・表面、３ｂ・・底面、５・・超音波送波器、６・
・超音波受波器、７・・第１反射波、７′・・第２反射
波、８・・パワー検出器、９・・角度測定器、１０・・
プログラム・データメモリ、１１・・計測手段、１５・
・ＣＰＵ。 第２図 第３図
Claims (1)
- （１）予じめ定められた振幅を有する超音波を被測定物
体に向って投射する手段と、被測定物体からの反射波を
受波する手段と、前記受波手段の受波振幅を、予じめ定
められたしきい値で弁別する手段と、前記受波振幅が、
前記しきい値を越えたときの前記弁別手段出力により前
記超音波の被測定物体に対する角度を測定する手段と、
前記角度測定手段出力を角度情報として記憶する手段と
、前記投射手段から投射された超音波の被測定物体に対
する反射波の内、被測定物体の表面からの反射波と、同
じくその底面からの反射波とがそれぞれ前記受波手段で
受波されるときの各受波時刻の差を計測する手段と、前
記計測手段出力と前記記憶手段で記憶されている角度情
報とに基づいて被測定物体の厚さを演算する手段とを備
えてなる超音波厚さ計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14150083A JPS6033005A (ja) | 1983-08-02 | 1983-08-02 | 超音波厚さ計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14150083A JPS6033005A (ja) | 1983-08-02 | 1983-08-02 | 超音波厚さ計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6033005A true JPS6033005A (ja) | 1985-02-20 |
Family
ID=15293387
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14150083A Pending JPS6033005A (ja) | 1983-08-02 | 1983-08-02 | 超音波厚さ計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6033005A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6450903A (en) * | 1987-08-21 | 1989-02-27 | Nippon Kokan Kk | Measuring apparatus of shape of inside of tube |
| US6022606A (en) * | 1995-03-16 | 2000-02-08 | Bando Chemical Industries, Ltd. | Polyvinyl chloride resin sheets production thereof |
-
1983
- 1983-08-02 JP JP14150083A patent/JPS6033005A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6450903A (en) * | 1987-08-21 | 1989-02-27 | Nippon Kokan Kk | Measuring apparatus of shape of inside of tube |
| US6022606A (en) * | 1995-03-16 | 2000-02-08 | Bando Chemical Industries, Ltd. | Polyvinyl chloride resin sheets production thereof |
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