JPS6034434B2 - 圧電振動子の製造方法 - Google Patents
圧電振動子の製造方法Info
- Publication number
- JPS6034434B2 JPS6034434B2 JP53053936A JP5393678A JPS6034434B2 JP S6034434 B2 JPS6034434 B2 JP S6034434B2 JP 53053936 A JP53053936 A JP 53053936A JP 5393678 A JP5393678 A JP 5393678A JP S6034434 B2 JPS6034434 B2 JP S6034434B2
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- JP
- Japan
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- porcelain
- sheet
- piezoelectric vibrator
- manufacturing
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
- B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
- B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
- B05B17/0607—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
- B05B17/0615—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers spray being produced at the free surface of the liquid or other fluent material in a container and subjected to the vibrations
Landscapes
- Special Spraying Apparatus (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は圧電振動子、特に液体に対援ごせて液体中に音
波あるいは超音波を放射する圧電振動子の製造方法に関
する。
波あるいは超音波を放射する圧電振動子の製造方法に関
する。
加湿器、洗浄器あるいは燃料霧化器等に用いられる超音
波振動子など液体に接して駆動される圧電振動子は液体
との摩擦及びこれによって発生する熱によって振動放射
面上の電極がは〈離し、故障の原因となる場合が多かっ
た。
波振動子など液体に接して駆動される圧電振動子は液体
との摩擦及びこれによって発生する熱によって振動放射
面上の電極がは〈離し、故障の原因となる場合が多かっ
た。
すなわち、第１図に示す如く、例えば超音波霧化器に用
いた場合、圧電磁器１の液体２に対接する面上には銀電
極３等が焼付け等により形成されていた。しかしながら
、これらの電極層は液体との摩擦及び発生する熱による
歪によっては〈離したり、また侵食されがちであった。
本発明はこのような事故が極めて少なく特性が安定な圧
電振動子を作成するに極めて有効な製造方法に関する。
以下図面に従って本発明を説明する。
いた場合、圧電磁器１の液体２に対接する面上には銀電
極３等が焼付け等により形成されていた。しかしながら
、これらの電極層は液体との摩擦及び発生する熱による
歪によっては〈離したり、また侵食されがちであった。
本発明はこのような事故が極めて少なく特性が安定な圧
電振動子を作成するに極めて有効な製造方法に関する。
以下図面に従って本発明を説明する。
第２図Ａ〜Ｄは本発明の製造方法の実施例を示す工程の
略図である。
略図である。
すなわち、第２図Ａに示される如く圧電磁器材料をバイ
ンダーとともに混合しして形成した未焼成磁器材料シ−
ト３１に電極材料３２を塗布し、この様な電極を形成し
たシート３１を第２図Ｂに示される如く別途の未焼成磁
器シート３３と対接し圧着し、打抜き装置３４等で切離
している。
ンダーとともに混合しして形成した未焼成磁器材料シ−
ト３１に電極材料３２を塗布し、この様な電極を形成し
たシート３１を第２図Ｂに示される如く別途の未焼成磁
器シート３３と対接し圧着し、打抜き装置３４等で切離
している。
必要に応じて端面に電極材料３２を延長塗布し、第２図
Ｃに示、す如く焼成炉３５中で焼結して磁器と金属電極
の多層構造素体としている。鱗結された振動子素体は第
２図Ｄに示される如くシリコンオイル３６中等で分極処
理を行ない、第３図Ａに示される如く圧電振動子となっ
ている。圧電振動子は、圧電磁器素体２１と、圧電磁器
素体２１に形成された電極２２，２３と、電極２２、に
形成されているとともに振動放射面を形成する磁器層２
４とから構成されており、液体に振勤放射面を対接して
使用する場合等、特に有効であって、電極のはく雛がな
く、ヒートサイクルの耐久性も大きい等、極めて優れた
特性を有する。
Ｃに示、す如く焼成炉３５中で焼結して磁器と金属電極
の多層構造素体としている。鱗結された振動子素体は第
２図Ｄに示される如くシリコンオイル３６中等で分極処
理を行ない、第３図Ａに示される如く圧電振動子となっ
ている。圧電振動子は、圧電磁器素体２１と、圧電磁器
素体２１に形成された電極２２，２３と、電極２２、に
形成されているとともに振動放射面を形成する磁器層２
４とから構成されており、液体に振勤放射面を対接して
使用する場合等、特に有効であって、電極のはく雛がな
く、ヒートサイクルの耐久性も大きい等、極めて優れた
特性を有する。
第３図Ａに示される如く、振動放射面側に設けられた電
極２２は反対側の面に廻り込む如く設けると、電極リー
ドを接続する上で好都合である。また、第３図Ｂに示す
如く、使用目的によっては振動子端部をも保護する必要
上、圧電磁器素体２１の端面２５にも磁器層２４を延長
して形成してもよい。未焼成磁器シート３３は、必ずし
も未焼成磁器材料シート３１と同一材質にする必要はな
いが、耐侵食性を有し、熱膨張係数、焼結温度等が未焼
成磁器材料シート３１に近似することが望ましく、材料
管理上および工程管理上からも同一材質の使用が効果的
である。
極２２は反対側の面に廻り込む如く設けると、電極リー
ドを接続する上で好都合である。また、第３図Ｂに示す
如く、使用目的によっては振動子端部をも保護する必要
上、圧電磁器素体２１の端面２５にも磁器層２４を延長
して形成してもよい。未焼成磁器シート３３は、必ずし
も未焼成磁器材料シート３１と同一材質にする必要はな
いが、耐侵食性を有し、熱膨張係数、焼結温度等が未焼
成磁器材料シート３１に近似することが望ましく、材料
管理上および工程管理上からも同一材質の使用が効果的
である。
磁器層２４の厚さは、極端に厚いと振動の放射上問題が
あり、圧電磁器素体２１の厚さの１％〜５０％程度が振
動の放射及び強度上が望ましい範囲と考えられるので、
未焼成磁器シート３３の厚さはかかる点を考慮して定め
れている。
あり、圧電磁器素体２１の厚さの１％〜５０％程度が振
動の放射及び強度上が望ましい範囲と考えられるので、
未焼成磁器シート３３の厚さはかかる点を考慮して定め
れている。
以上述べた如く、本発明の製造方法は、未焼成磁器材料
シートに電極材料を塗布し、別途の未焼成磁器材料シー
トを対援せしめ、もって少なくとも一方の最外表面は磁
器面となる如き多層構造素体となし、該素体を焼成炉中
で燐結して磁器と金属電極の多層構造素体となし、該素
体を分極してなることを特徴とする圧電振動子の製造方
法であって、磁器化と電極形成が同時に行なえ、更に多
量の素子を連続して生産できるなど極めて効果的である
。
シートに電極材料を塗布し、別途の未焼成磁器材料シー
トを対援せしめ、もって少なくとも一方の最外表面は磁
器面となる如き多層構造素体となし、該素体を焼成炉中
で燐結して磁器と金属電極の多層構造素体となし、該素
体を分極してなることを特徴とする圧電振動子の製造方
法であって、磁器化と電極形成が同時に行なえ、更に多
量の素子を連続して生産できるなど極めて効果的である
。
また、本発明によれば、電極のは〈離がなく、ヒートサ
イクルの耐久性も大さし、圧電振動子を提供することが
できる。
イクルの耐久性も大さし、圧電振動子を提供することが
できる。
第１図は従来の超音波霧化器とこれに用いられ圧電振動
子の一例を示す断面図、第２図Ａ〜Ｄは本発明の一実施
例を示す各工程の略図、第３図Ａ，Ｂは本発明の実施に
係る圧電振動子を示す断面図である。 ３１・・・未焼成磁器材料シート、３２・・・電極材料
、３３・・・禾焼成磁器シート、３５・・・焼成炉。 第１図第２図（Ａ） 第２図（Ｂ） 第２図（Ｃ） 第２図（Ｄ） 第３図（Ａ） 第３図（Ｂ）
子の一例を示す断面図、第２図Ａ〜Ｄは本発明の一実施
例を示す各工程の略図、第３図Ａ，Ｂは本発明の実施に
係る圧電振動子を示す断面図である。 ３１・・・未焼成磁器材料シート、３２・・・電極材料
、３３・・・禾焼成磁器シート、３５・・・焼成炉。 第１図第２図（Ａ） 第２図（Ｂ） 第２図（Ｃ） 第２図（Ｄ） 第３図（Ａ） 第３図（Ｂ）
Claims (1)
- １ 未焼成磁器材料シートに電極材料を塗布し、別途の
未焼成磁器材料シートを対接せしめ、もつて少なくとも
一方の最外表面は磁器面となる如き多層構造素体となき
、該素体を焼成炉中で焼結して磁器と金属電極の多層構
造素体となし、該素体を分極してなることを特徴とする
圧電振動子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP53053936A JPS6034434B2 (ja) | 1978-05-06 | 1978-05-06 | 圧電振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP53053936A JPS6034434B2 (ja) | 1978-05-06 | 1978-05-06 | 圧電振動子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS54145516A JPS54145516A (en) | 1979-11-13 |
| JPS6034434B2 true JPS6034434B2 (ja) | 1985-08-08 |
Family
ID=12956617
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP53053936A Expired JPS6034434B2 (ja) | 1978-05-06 | 1978-05-06 | 圧電振動子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6034434B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02223442A (ja) * | 1989-02-27 | 1990-09-05 | Eidai Co Ltd | 耐候性のすぐれた木質材料 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113262923B (zh) * | 2020-02-14 | 2023-11-28 | 深圳麦克韦尔科技有限公司 | 微孔雾化片及雾化装置 |
-
1978
- 1978-05-06 JP JP53053936A patent/JPS6034434B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02223442A (ja) * | 1989-02-27 | 1990-09-05 | Eidai Co Ltd | 耐候性のすぐれた木質材料 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS54145516A (en) | 1979-11-13 |
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