JPS6035210U - タッチセンサー - Google Patents

タッチセンサー

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Publication number
JPS6035210U
JPS6035210U JP12774283U JP12774283U JPS6035210U JP S6035210 U JPS6035210 U JP S6035210U JP 12774283 U JP12774283 U JP 12774283U JP 12774283 U JP12774283 U JP 12774283U JP S6035210 U JPS6035210 U JP S6035210U
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JP
Japan
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movable body
reference surface
contact
force
fixed housing
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JP12774283U
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JPH0239206Y2 (ja
Inventor
古賀　和典
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
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Publication of JPS6035210U publication Critical patent/JPS6035210U/ja
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Publication of JPH0239206Y2 publication Critical patent/JPH0239206Y2/ja
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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案による装置の実施例の断面図、第２図は
接触片と基準面の他の実施例の拡大図、第３図は第２図
の矢視図である。 （主要部分の符号の説明）、１・・・固定ハウジング、
２・・・可動体、３・・・接触子、６・・・球体、８・
・・基準面、９・・・接触片、１０・・・押圧ばね、１
２・・・位置決め座、１３・・・ダイヤフラム。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）固定ハウジングと、測定対象を検知する接触子を
    有する可動体とを具え、前記固定ハウジングには前記可
    動体の下方への移動を規制する基準面を形成し、前記可
    動体には前記基準面に上方から接触する少なくとも３つ
    の接触部材をその上端近傍に設け、前記可動体を該可動
    体と前記固定ハウジングとの間に配設したばね手段によ
    り上記基準面に上記接触部材の全てが接触するよう付勢
    し、前記可動体にはさらに１つの球部もしくは円錐部を
    形成し、この球部もしくは円錐部に少なくとも３点で接
    触する収斂面をもつ位置決め座を前記基準面と少くとも
    １つの接触部材の接触を断つ方向へ押圧する連結ばね手
    段により上記固定ハウジングに連結し、該連結ばね手段
    によるばね力が上記押圧ばねによる力とは逆方向に作用
    し、その力が押圧ばねの力よりも小としたことを特徴と
    するタッチセンサー〇
  2. （２）前記接触部材のいずれか１つに接触する基準面は
    ｖ字状の収斂面をなし、この基準面に接触する接触部材
    は前記Ｖ字溝状の収斂面に嵌合する球座であることを特
    徴とする実用新案登録語　　−求の範囲第（１）項記載
    のタッチセンサー。
JP12774283U 1983-08-18 1983-08-18 タッチセンサー Granted JPS6035210U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12774283U JPS6035210U (ja) 1983-08-18 1983-08-18 タッチセンサー

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JP12774283U JPS6035210U (ja) 1983-08-18 1983-08-18 タッチセンサー

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6035210U true JPS6035210U (ja) 1985-03-11
JPH0239206Y2 JPH0239206Y2 (ja) 1990-10-22

Family

ID=30290026

Family Applications (1)

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JP12774283U Granted JPS6035210U (ja) 1983-08-18 1983-08-18 タッチセンサー

Country Status (1)

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JP (1) JPS6035210U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6254114A (ja) * 1985-09-03 1987-03-09 Nippon Kogaku Kk <Nikon> 三次元座標測定機
JP2007139769A (ja) * 2005-11-14 2007-06-07 Immobilien Ges Helmut Fischer Gmbh & Co Kg 特に、薄層の厚さ測定装置用の測定プローブ

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6254114A (ja) * 1985-09-03 1987-03-09 Nippon Kogaku Kk <Nikon> 三次元座標測定機
JP2007139769A (ja) * 2005-11-14 2007-06-07 Immobilien Ges Helmut Fischer Gmbh & Co Kg 特に、薄層の厚さ測定装置用の測定プローブ

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Publication number Publication date
JPH0239206Y2 (ja) 1990-10-22

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