JPS6035250Y2 - 固体撮像素子 - Google Patents
固体撮像素子Info
- Publication number
- JPS6035250Y2 JPS6035250Y2 JP1980093104U JP9310480U JPS6035250Y2 JP S6035250 Y2 JPS6035250 Y2 JP S6035250Y2 JP 1980093104 U JP1980093104 U JP 1980093104U JP 9310480 U JP9310480 U JP 9310480U JP S6035250 Y2 JPS6035250 Y2 JP S6035250Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solid
- state imaging
- chip
- color filter
- pedestal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、ＣＣＤ （電荷結合素子）等を用いて戊るカ
ラー固体撮像素子に関する。
ラー固体撮像素子に関する。
一般に斯種のカラー固体撮像素子に於ては、固体撮像チ
ップ上に色フィルターを貼り合せて構成されるが、両者
の貼り合せ作業において、両者間の平行度を保ち且つ両
者間の間隙を最小にして貼り合わせることが要求される
。
ップ上に色フィルターを貼り合せて構成されるが、両者
の貼り合せ作業において、両者間の平行度を保ち且つ両
者間の間隙を最小にして貼り合わせることが要求される
。
しかし乍ら、従来よりかかる固体撮像チップの面は微小
なダメージでも破損し易く、例えは第１図に示すように
固体撮像チップ１上に色フイルタ−２を貼り合わせると
き、色フイルタ−２の片当りがあるとチップ面にダメー
ジを与え結果として破損が生ずるもので、貼り合せ時に
チップ１と色フイルタ−２の平行度をいかにして保つか
が難かしく歩留向上が困難であった。
なダメージでも破損し易く、例えは第１図に示すように
固体撮像チップ１上に色フイルタ−２を貼り合わせると
き、色フイルタ−２の片当りがあるとチップ面にダメー
ジを与え結果として破損が生ずるもので、貼り合せ時に
チップ１と色フイルタ−２の平行度をいかにして保つか
が難かしく歩留向上が困難であった。
一方、第２図に示すようにチップ面の保護を目的として
予めチップ１の表面に保護膜３をコーテングすることが
考えられ、この場合には歩留向上が期待できるが、反面
保護膜３の厚み分だけチップ１と色フイルタ−２間の間
隙ｇが増加し、解像度等の性能低下が生じる欠点があっ
た。
予めチップ１の表面に保護膜３をコーテングすることが
考えられ、この場合には歩留向上が期待できるが、反面
保護膜３の厚み分だけチップ１と色フイルタ−２間の間
隙ｇが増加し、解像度等の性能低下が生じる欠点があっ
た。
本考案は、かかる点に鑑み、色フィルターと固体撮像チ
ップを互に平行度を保ち且つ最小の間隙をもって貼り合
せ得るようになし、保留りの向上、性能の向上、作業性
の改善等を可能にした固体撮像素子を提供するものであ
る。
ップを互に平行度を保ち且つ最小の間隙をもって貼り合
せ得るようになし、保留りの向上、性能の向上、作業性
の改善等を可能にした固体撮像素子を提供するものであ
る。
以下、第３図乃至第５図を用いて本考案による固体撮像
素子を説明する。
素子を説明する。
同図において、１は例えばＣＣＤ構造を有して戒る固体
撮像チップ、２はフィルター基板（ガラス基板）の一面
にゼラチン、Ｃｒ膜等による色フィルター膜を被着形成
して成る色フィルターを示す。
撮像チップ、２はフィルター基板（ガラス基板）の一面
にゼラチン、Ｃｒ膜等による色フィルター膜を被着形成
して成る色フィルターを示す。
本考案においては、固体撮像チップ１の有効領域４外の
周辺の所要部分（複数個処）上に有効領域４を形成する
際の層の全てを積重ねて成るペデスタル５を一体に形威
し、このペデスタル５に接触する状態で色フイルタ−２
を固体撮像チップ１上に配置するようになす。
周辺の所要部分（複数個処）上に有効領域４を形成する
際の層の全てを積重ねて成るペデスタル５を一体に形威
し、このペデスタル５に接触する状態で色フイルタ−２
を固体撮像チップ１上に配置するようになす。
通常、ＣＣＤ固体撮像チップ１を形成する場合、第５図
で示すように、ゲート酸化膜（ＳｉＯ２）６、転送電極
となる第１多結晶シリコン層７、第２多結晶シリコン層
８、各層間絶縁層（Ｓｉ０２）ｓ、さらにはＡＩ等によ
る内部配線或は遮光層１０等が各必要な領域に対応して
選択的に形成される。
で示すように、ゲート酸化膜（ＳｉＯ２）６、転送電極
となる第１多結晶シリコン層７、第２多結晶シリコン層
８、各層間絶縁層（Ｓｉ０２）ｓ、さらにはＡＩ等によ
る内部配線或は遮光層１０等が各必要な領域に対応して
選択的に形成される。
従って、これらの全ての層を積層したペデスタル（約８
層構造となる）５は、固体撮像チップ１の有効領域４、
即ち受光領域の最上面より１μ程度突出する。
層構造となる）５は、固体撮像チップ１の有効領域４、
即ち受光領域の最上面より１μ程度突出する。
しかも、各ペデスタル５は同時形成されるので互に同一
高さを有する。
高さを有する。
このペデスタル５に当接して色フイルタ−２を配置すれ
ば、ペデスタル５によって色フイルタ−２と固体撮像チ
ップ１間の間隙ｇは１μ程度の極小の間隙に規制され、
且つ平行に配される。
ば、ペデスタル５によって色フイルタ−２と固体撮像チ
ップ１間の間隙ｇは１μ程度の極小の間隙に規制され、
且つ平行に配される。
色フイルタ−２と固体撮像チップ１との固着は、両者の
間隙ｇ内に透明樹脂接着剤を注入して行なってもよく、
或は別体の保持具で固着するようになしてもよい。
間隙ｇ内に透明樹脂接着剤を注入して行なってもよく、
或は別体の保持具で固着するようになしてもよい。
上述せる構成によれば、固体撮像チップ上の複数何処に
之と一体にペデスタル５を設け、このペデスタル５上で
色フイルタ−２を密着せしめたことにより、貼り合せ時
において色フイルタ−２がチップ１の有効領域面へダメ
ージを与えることが無く、且つ要求れる平行度及び最小
間隙ｇが得られるものである。
之と一体にペデスタル５を設け、このペデスタル５上で
色フイルタ−２を密着せしめたことにより、貼り合せ時
において色フイルタ−２がチップ１の有効領域面へダメ
ージを与えることが無く、且つ要求れる平行度及び最小
間隙ｇが得られるものである。
従って、この種のカラー固体撮像素子の歩留りが向上す
ると共に、解像度などの性能が向上し、さらには製造時
の作業性の改善をも図ることができる。
ると共に、解像度などの性能が向上し、さらには製造時
の作業性の改善をも図ることができる。
第１図及び第２図は夫々従来の固体撮像素子の例を示す
側面図、第３図は本考案の固体撮像素子の例を示す側面
図１、第４図はその側面図、第５図は第３図の要部の拡
大断面図である。 １は固体撮像チップ、２は色フイルタ−５はペデスタル
である。
側面図、第３図は本考案の固体撮像素子の例を示す側面
図１、第４図はその側面図、第５図は第３図の要部の拡
大断面図である。 １は固体撮像チップ、２は色フイルタ−５はペデスタル
である。
Claims (1)
- 固体撮像チップの有効領域外の所要部分上に有効領域を
形成する際の層を積重ねて該有効領域より厚いペデスタ
ルが設けられ、該ペデスタルに接触する状態で色フィル
ターが上記チップ上に配され、上記ペデスタルにより上
記色フィルターとチップ間の間隙が規制されて成る固体
撮像素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1980093104U JPS6035250Y2 (ja) | 1980-07-02 | 1980-07-02 | 固体撮像素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1980093104U JPS6035250Y2 (ja) | 1980-07-02 | 1980-07-02 | 固体撮像素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5717160U JPS5717160U (ja) | 1982-01-28 |
| JPS6035250Y2 true JPS6035250Y2 (ja) | 1985-10-19 |
Family
ID=29455053
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1980093104U Expired JPS6035250Y2 (ja) | 1980-07-02 | 1980-07-02 | 固体撮像素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6035250Y2 (ja) |
-
1980
- 1980-07-02 JP JP1980093104U patent/JPS6035250Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5717160U (ja) | 1982-01-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101606381B (zh) | 在利用光学堆栈的照相机系统中的杂散光控制及相关方法 | |
| US7728398B2 (en) | Micro camera module and method of manufacturing the same | |
| JPH0370912B2 (ja) | ||
| JPS6035250Y2 (ja) | 固体撮像素子 | |
| JPS61113252A (ja) | 半導体装置 | |
| JPH07105481B2 (ja) | 固体撮像装置の製造方法 | |
| JPS6130241B2 (ja) | ||
| JP6609674B1 (ja) | 光検出装置及び光検出装置の製造方法 | |
| JPH0575087A (ja) | イメージセンサ | |
| JPS61203668A (ja) | イメ−ジセンサ | |
| JP2663475B2 (ja) | 固体撮像素子 | |
| JP7170618B2 (ja) | 光検出装置及び光検出装置の製造方法 | |
| JPS6230378Y2 (ja) | ||
| JPS60166902A (ja) | 色分離用フイルタ | |
| JPS6028264A (ja) | 固体撮像装置 | |
| JPH0379681B2 (ja) | ||
| JPS589477A (ja) | 固体撮像装置 | |
| JPS6041874B2 (ja) | 固体撮像素子の製造方法 | |
| JPS6218046Y2 (ja) | ||
| JPS58102554A (ja) | 固体カラ−イメ−ジセンサの製造方法 | |
| JPS62145770A (ja) | カラ−固体撮像素子およびその製造方法 | |
| JPS58142948U (ja) | 薄膜形光電変換素子アレイ | |
| JPH08236690A (ja) | 三次元実装モジュール及びその製造方法 | |
| JPS63129661A (ja) | 固体撮像装置 | |
| JPS63262580A (ja) | Ｘ線検出器 |