JPS6028264A - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
- Publication number
- JPS6028264A JPS6028264A JP58136104A JP13610483A JPS6028264A JP S6028264 A JPS6028264 A JP S6028264A JP 58136104 A JP58136104 A JP 58136104A JP 13610483 A JP13610483 A JP 13610483A JP S6028264 A JPS6028264 A JP S6028264A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellet
- filter
- ccd
- solid
- protrusions
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
- H10F77/30—Coatings
- H10F77/306—Coatings for devices having potential barriers
- H10F77/331—Coatings for devices having potential barriers for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、Ｃ０Ｄ（チャージカップルド・デバイス）
等の電荷転送素子を用いた固体撮像装置の構造に係シ、
特にＣＯＤ素子又はその上に載せるフィルターの構造に
関するものである。
等の電荷転送素子を用いた固体撮像装置の構造に係シ、
特にＣＯＤ素子又はその上に載せるフィルターの構造に
関するものである。
固体撮像素子にフィルターを貼シ合わせる場合、固体撮
像素子（以下ＣＣＤベレット）とフィルターとの平行度
及び接着剤の厚さが問題とな９、この厚さは薄ければ薄
い方が良い。
像素子（以下ＣＣＤベレット）とフィルターとの平行度
及び接着剤の厚さが問題とな９、この厚さは薄ければ薄
い方が良い。
従来のＣＣＤベレット及びフィルターは第１図、第２図
に示すような構造であった。つまシ、ＣＣＤベレット１
は撮像部となる感光部２、外部への電極数シ出し域とな
る。ボンディングパット３又、なるべく画素に影響しな
い部分に複数の例えば、十字型標点４がこの例で一対設
けられている。
に示すような構造であった。つまシ、ＣＣＤベレット１
は撮像部となる感光部２、外部への電極数シ出し域とな
る。ボンディングパット３又、なるべく画素に影響しな
い部分に複数の例えば、十字型標点４がこの例で一対設
けられている。
フィルター５は透明硝子基板の一面でＣＯＤ感光部に相
当する位置にストライプ又はドツト状フィルター６ｔ−
形成し、ＣＣＤベレットとフィルターの貼り合わせて位
置合わせに用いる例えば十字型標点７が形成されている
。標点７は、ＣＣＤベレット１とフィルター５の平行を
とるために少々くとも一対を設ける。このような構造を
もつＣＣＤベレットとフィルターを接着剤を用いて貼シ
合わせると、ＣＣＤベレットとフィルターの平行度が確
実に出せない場合がある。
当する位置にストライプ又はドツト状フィルター６ｔ−
形成し、ＣＣＤベレットとフィルターの貼り合わせて位
置合わせに用いる例えば十字型標点７が形成されている
。標点７は、ＣＣＤベレット１とフィルター５の平行を
とるために少々くとも一対を設ける。このような構造を
もつＣＣＤベレットとフィルターを接着剤を用いて貼シ
合わせると、ＣＣＤベレットとフィルターの平行度が確
実に出せない場合がある。
一般にＣＣＤベレットはｌＱｍｍ角程度と大きく、従っ
てフィルターも同程度に大きく、平行度が完全に出せな
くて、少しの傾きがあってもフィルターの両端では相当
大きい開きになる。また前記接着剤の厚さは薄ければ薄
い程良いが、例えば数ミクロンの厚さに制御しようとす
れば、ＣＣＤベレットとフィルター相互に悪影響を及ぼ
し易ずく、また工数増があシ、生産性、価格面でも不利
をまぬがれることが出来ないという欠点が有った。
てフィルターも同程度に大きく、平行度が完全に出せな
くて、少しの傾きがあってもフィルターの両端では相当
大きい開きになる。また前記接着剤の厚さは薄ければ薄
い程良いが、例えば数ミクロンの厚さに制御しようとす
れば、ＣＣＤベレットとフィルター相互に悪影響を及ぼ
し易ずく、また工数増があシ、生産性、価格面でも不利
をまぬがれることが出来ないという欠点が有った。
本発明はこれらの欠点を解決するために左されたもので
、本発明によればＣ，ＣＤペレット又はその上に域せる
フィルターに合計３個以上の突起を有することを特徴と
し、これによｆｉｃｃＤペレットと接着剤を介して貼シ
合わせるフィルクーとの平行度を確実に出し、かつ接着
剤の厚さを１０ミクロン前後に制御することが可能な構
造をもつ固体撮像装置を提供する。
、本発明によればＣ，ＣＤペレット又はその上に域せる
フィルターに合計３個以上の突起を有することを特徴と
し、これによｆｉｃｃＤペレットと接着剤を介して貼シ
合わせるフィルクーとの平行度を確実に出し、かつ接着
剤の厚さを１０ミクロン前後に制御することが可能な構
造をもつ固体撮像装置を提供する。
次に本発明を図面により具体的に説明する。
第３図は３個の突起８を有するＣＣＤベレットの斜視図
である。この様な突起８が例えば熱硬化性樹脂を点状塗
布又は、コート後部分エツチングすることによシ１０１
０ミクロン前後成しておけば、ＣＣＤペレット上に接着
剤を塗布後例えば吸着ノズルなどでフィルターを吸着し
々からＣＣＤベレット上へ降下させ、貼り合わせを行な
う場合、ＣＣＤペレットとフィルターの平行度は確実に
出すことが可能でかつ、接着剤の厚さを１０ミクロン前
後に制御することが可能となる。前記ＣＣＤペレット１
上の突起８を形成するためには、種々の方法があるが、
前記の方法の他に例えば金属やガラスをＣ９Ｖ、Ｄや蒸
着又はスパッタしエツチング法によシ突起を残すことに
よ膜形成する方法もある。第３図では３個の突起８を形
成した場合を示したが、３個以上の突起が形成してあっ
ても良いのはもちろんである。同様にフィルターの一面
でストライプ又はドツト状フィルターが形成しである面
に３個以上の突起が形成してらっても良い。
である。この様な突起８が例えば熱硬化性樹脂を点状塗
布又は、コート後部分エツチングすることによシ１０１
０ミクロン前後成しておけば、ＣＣＤペレット上に接着
剤を塗布後例えば吸着ノズルなどでフィルターを吸着し
々からＣＣＤベレット上へ降下させ、貼り合わせを行な
う場合、ＣＣＤペレットとフィルターの平行度は確実に
出すことが可能でかつ、接着剤の厚さを１０ミクロン前
後に制御することが可能となる。前記ＣＣＤペレット１
上の突起８を形成するためには、種々の方法があるが、
前記の方法の他に例えば金属やガラスをＣ９Ｖ、Ｄや蒸
着又はスパッタしエツチング法によシ突起を残すことに
よ膜形成する方法もある。第３図では３個の突起８を形
成した場合を示したが、３個以上の突起が形成してあっ
ても良いのはもちろんである。同様にフィルターの一面
でストライプ又はドツト状フィルターが形成しである面
に３個以上の突起が形成してらっても良い。
この場合は、例えばガゼインなどによシ３〜１０ミクロ
ン前後の突起を形成する。
ン前後の突起を形成する。
また、前記ＣＣＤベレットと前記フィルターの組み合わ
せ、つまシ例えば、ＣＣＤベレット上には２個の突起が
形成され、フィルター上には１個の突起が形成された構
造の固体撮像装置でも前記欠点が解決されるのは言うま
でもない。
せ、つまシ例えば、ＣＣＤベレット上には２個の突起が
形成され、フィルター上には１個の突起が形成された構
造の固体撮像装置でも前記欠点が解決されるのは言うま
でもない。
第４図は前記ＣＣＤベレット上に前記フィルターを接着
剤９を介して貼シ合わせた状態の９１１面図である。
剤９を介して貼シ合わせた状態の９１１面図である。
以上、説明したように、本発明による構造をもつＣＣＤ
ベレットとフィルターを使用した固体撮像装置ではＣＣ
Ｄペレットとフィルターの平行度は確実に出すことが可
能でかつ、接着剤の厚さは数ミクロンないし１０ミクロ
ン前後に制御することが可能であるので高性能の特性を
示し、かつ工数が減少し、生産性、価格面でも有利にな
る。
ベレットとフィルターを使用した固体撮像装置ではＣＣ
Ｄペレットとフィルターの平行度は確実に出すことが可
能でかつ、接着剤の厚さは数ミクロンないし１０ミクロ
ン前後に制御することが可能であるので高性能の特性を
示し、かつ工数が減少し、生産性、価格面でも有利にな
る。
第１図は、従来の構造をもつＣＣＤベレットの一面を示
す平面図、第２図は従来の構造をもつフィルターの一面
を示す平面図、第３図は、本発明による構造をもつＣＣ
Ｄベレットの一面を示す斜視図、第４図は本発明による
構造をもつＣＣＤベレットとフィルターを接着剤を介し
て貼シ合わせた状態を示す側面図、でおる。 なお図において、■・−・・・・固体撮像素子、２・・
・・・・感光部、３・・・・・・ポンディング・パッド
部、４・・・・・・固体撮像素子上の目自せ用標点、５
・・・・・・フィルター基板、６・・・・・・ストライ
プ又はトッド状のフィルター、７・・・・・・フィルタ
ー基板上の目合せ標点、８・・・・・・固体撮像素子上
の突起、９・・・・・・接着剤、１０・・・・・・フィ
ルター基板上の突起、である。
す平面図、第２図は従来の構造をもつフィルターの一面
を示す平面図、第３図は、本発明による構造をもつＣＣ
Ｄベレットの一面を示す斜視図、第４図は本発明による
構造をもつＣＣＤベレットとフィルターを接着剤を介し
て貼シ合わせた状態を示す側面図、でおる。 なお図において、■・−・・・・固体撮像素子、２・・
・・・・感光部、３・・・・・・ポンディング・パッド
部、４・・・・・・固体撮像素子上の目自せ用標点、５
・・・・・・フィルター基板、６・・・・・・ストライ
プ又はトッド状のフィルター、７・・・・・・フィルタ
ー基板上の目合せ標点、８・・・・・・固体撮像素子上
の突起、９・・・・・・接着剤、１０・・・・・・フィ
ルター基板上の突起、である。
Claims (1)
- 固体撮像素子又は該固体撮像素子主表面上に搭載せる光
学フィルターに３個以上の突起部が設けられていること
を特徴とする固体撮像Ｒ置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58136104A JPS6028264A (ja) | 1983-07-26 | 1983-07-26 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58136104A JPS6028264A (ja) | 1983-07-26 | 1983-07-26 | 固体撮像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6028264A true JPS6028264A (ja) | 1985-02-13 |
Family
ID=15167368
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58136104A Pending JPS6028264A (ja) | 1983-07-26 | 1983-07-26 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6028264A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0597U (ja) * | 1991-06-17 | 1993-01-08 | 博義 小野 | 陳皮酒用パツク |
| JPH0748267A (ja) * | 1993-08-04 | 1995-02-21 | Asahi Breweries Ltd | イチョウ葉エキスおよび烏梅エキス含有生薬エキスおよび該生薬エキス含有健康飲料 |
| JP2003007881A (ja) * | 2001-06-25 | 2003-01-10 | Sony Corp | 半導体装置および半導体装置の実装方法 |
-
1983
- 1983-07-26 JP JP58136104A patent/JPS6028264A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0597U (ja) * | 1991-06-17 | 1993-01-08 | 博義 小野 | 陳皮酒用パツク |
| JPH0748267A (ja) * | 1993-08-04 | 1995-02-21 | Asahi Breweries Ltd | イチョウ葉エキスおよび烏梅エキス含有生薬エキスおよび該生薬エキス含有健康飲料 |
| JP2003007881A (ja) * | 2001-06-25 | 2003-01-10 | Sony Corp | 半導体装置および半導体装置の実装方法 |
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