JPS6036838A - 清浄室装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、半導体の製造などに必要とする清浄な作業環
境を作９出すだめの清浄室装置Ｍ　Ｋ関する。

〔発明の背景〕

従来、半導体製造工程に用いられていたＹ１１浄室の代
表的な例（全面ダウンフロ一式クリーンルーム）を第１
図に示す。（ａ）は切断平面図、（ｂｌは側断面図で、
１は建屋、２はクリーンルーム室内、３は高性能フィル
タ、４は照明灯、５は天井部多孔板、６は床部多孔板、
７は空調用給気ダクト、８は空調用尺シダクト、９は露
光、エツチング、拡散、メタ２イズ等の製造ライン用機
器、１０は製造ラインへ水、ガス等を供給する配管類で
ある。図中矢印で示すように高性能フィルタ３で処理さ
れた清浄空気は天井全面よシ苗内２に吹き出し、室内空
気は床下を辿って排出される。これにより、室内全体を
ほぼ一様な高清浄度に維持し、全工程の作業をこの清浄
　囲気中で行えるようにしている。この全面ダウンフロ
一式クリーンルームは室全体の清浄度を高める上からは
最良の方式とされていたが、これは床面から天井ｉ￥ｉ
ｌまでの寸法が各部同一であシ、その寸法は作業者が立
ってどこでも通行できるように充分な＾さにしなければ
ならなかったため清浄化しなければならない空間が広く
なり、間価な高性能フィルタ全多量に使用しなければな
らなかった。このため設備費が非常に高くなってい／こ
。

この高性能フィルタは一度設置すれば良いというもので
はなく、使用していると次第に目づ寸りするので新しい
ものと取゛シ換えなければならない。

清浄化しなければならない空間が広いと、それだけ妬性
能フィルタを通して除塵しなければならない空気の光が
多くなるから、高性能フィルタを取り換えなければなら
ない時期が早く到来することになる。

また作業量は多くの場合椅子に座って作芽を行うので清
浄空気の吹出口である。天井から作業を行う面オでの高
さ方向の寸法が大きくなり、せっか〈清浄空気吹出口か
ら清浄空気を送っても、作業面へ清浄空気が行く捷でに
塵芥が混入してしまうことも考えられる。

清浄作業所の天井の中央部を囲りよ゛りも亮クシて、こ
こへ背の高い機械を入れ、清浄にしなければならない空
間を小さくしたものとして実公昭５２−３７１７５号公
報記載のものが公知である。しかしこの公知例には床か
ら天井までの寸法を作業空間では通路空間よりも小さく
して、より小さい空間を清浄にして作業が通行しやすく
、かつ作業空間では十分な空気清浄度を得られるように
することに関しては何んら開示されていない。

〔発明の目的〕

本発明はこのような点に鑑み成されたものであつ工、そ
の目的とするところは作業面で十分な清浄度を保つこと
ができ、しかも設備費、維持費を安くすることができ、
且つレイアウトの変更増設が容易な清浄室装置を構成す
ることにある。

〔発明の概要〕

すなわち本発明では両側壁及び天板で豊われた空間内に
、逆行して通路として用いられる第１帯域と製造用機器
や検査用機器等を設置する第２帯域とを設ける。第２帯
域の高さ方向の寸法は第１帯域のそれよシも小さくなる
。

第２帯域の上には清浄空気の吹出口を下方へ向けて高性
能フィルタを設け、この昼性能フィルタの上流側にはチ
ャンバを設ける。このチャンバ内の気圧を第２帯域内の
気圧よりも高くする送風手段を設けて、チャンバ内の空
気を高性能フィルタで清浄化して空間内へ送り込むよう
にする。

一方、空間の下方には第１、第２帯域内の空気が流出す
る流出口を設ける。更に両側惨、チャンバ、高性能フィ
ルタは第１帯域が伸びる方向に対して直角を成す断面で
分割可能なユニットに桿′■成する。

このように構成することにょυ、第２帯域の高さ方向の
寸法を・」＼さくした分だけ、清浄にしなければならな
い空間を狭くすることができ、そのうえ第２帯域に於け
る高性ｆ４’ｅフィルタの清浄空気吹出口から作業量′
までの距離を短かくすることができるので清浄空気の供
給必要邦を少くするこ）−逅でき、その分設備費、保守
費を従来の全面ターランフロ一式クリーンルームに比べ
て、（ｄ、るかに少く一！ることかできる。

ま−たユニット構成罠なって緊るので増設、レイアウト
の変更が容易である。

上記以外の本発明の他の目的その目的を迫する為の構成
、ならびに、これによって得られる効果については、以
下に記述する実施例の＝ｈ明の中で明らかＫする。

第２図は本発明による清浄室装置の施工例を示す図で、
（ａ）は切断平面図、（ｂ）は細断ｉｆｎ図であり、第
１図と同一和合に、対応する部分を示している。

空調用給気ダクト７、戻りダクト８を布設した建屋１内
に製造ライン用機器９を向い合せに設置６し、２ライン
を１４１４として両側板２ｏと天板１９とで横シ。詳細
については後述するが、製造用機器や検査用機器等の製
造ライン用機器９を吸血゛する第２帯域の天井部に清浄
空気供給手段を内蔵して、図中矢印で示すように天井面
から清浄債気を１２ａ、　１２ｂで示す帯域内１２に吹
き出し、イ１全域内を清浄化する。空間１２内の空気は
側板２０の下方に設けた側面流出口１４から周囲の保全
域１６へ排出され、これによって保全域１６もある程度
ｍ浄化されるが、空間１２内よりは清浄度が低い。

空間１２の両端には扉８０付のエンドパネルｌｌａを増
刊け、空間１２内と保全域１６とを仕切っている。製造
ラインで使用する水、ガス等の配管類１０や電線等（は
保全域１６に設置され、側面流出口１４を通して製造ラ
イン用機器９へ引き込まれる。こうすることによって、
配管類１０や電線等のメンテナンスは保全、域１６で行
うことができる。

才だ、後述するように側板２０を部分的に取りはずせる
ようにすれば、製造ライン用機器９の補修もそのほとん
どが保全域１６から行なえる。まだ、ある工程の製造装
置一式を補修するような場合にも、その工程の空間１２
内でのみ処理できるので、メンテナンス作業による発塵
が他のＩ＋８！造ライン（工程）に彩管を及はずことは
ほとんどない。

さらに、空気室９０の空気流入口１５を空調用給気ダク
ト７に接続することによって、帯域１２ａ１１２ｂ内め
温度、湿度等を制御でき、製造ライン別（工程別）の空
調温度制御も可能である。この場合でも、室内清浄度を
高めるには、側面流出口、１４を辿って空間１２から流
出した空気の一部を別の空気流入口１３から取り入れ再
循還妊せだ力かよい。

このように本発明による清浄室装置は、ｆｊ４Ｊ７ｎ浄
度を必☆とする製造ライン部のみを周囲の保全域と区分
して清浄化するので、第１図の従来方式に比べ菌性化区
域および空調対象区域が大幅に減少するほか、多くの利
点を有し、ている。

第３図は清浄室１１の構成例の１つを示す。本図はｉｆ
ｔ浄室１１の長手方向と直角な断面図で、支柱１７と横
梁１８とで門形フレームをイ１１み、これに天板１９と
両側の側板２０を張って覆いを栴成し、この覆いと床面
とで囲寸れた空１ｈ１１２内に製造ライン用機器９を設
置する第２帯域１２ａと作業者が通行する第１帯域１２
ｂを空間１２の長手方向に連続してつまシ側板２０と平
行に設ける。

１０１．１０２はそれぞれ第２帯域用清浄空気吹出し口
および第１帯域用清浄空気吹出し口である。第２帯域用
清浄空気吹出し口１（）１　と天板１９との間にＩ′ｉ
清浄空気供給手段を゛構成する第１送風機２３、第２送
風機９６、第２、第１高性能フイルタ２４．２５送ｌｉ
ｔ用第１チヤンバ２６、第２チヤンバ９５それと作業部
照明灯２７を収納し、照明灯２７の−Ｆに格子状の作業
部用散光板２８を設置する。これらの機料は後述する方
法によって横梁１８から　９下げ支持されている。３０
は第２帯域用清浄空気吹出し口１０１　とＰ１帯域用清
浄空気吹出し口　１０２との間の仕切り手段とし、て作
用する化削板である。

第１帯域用清浄空気吹出し口１０２と天板１９との間は
空気通路とするほか第１＠域部用照明灯２２を収納し、
その下に格子状の散光＆２９を設置する。第１帯域１２
１）つ捷り通路部の空気吹出し日向さは作業者が立って
通行できる柱形に尚くし、第２帯域＋２ｂつ咬シ作業部
の空気吹出し口直さは作業に支障がない限り低くする（
−例を示せば、第１帯域月ＮＥＷ浄空気吹出し口１０２
の晶さ′は２２００ｎ１ｍ、第２帯域用清浄空気吹出し
口１０１の高さは１８００ｍｍである）。第２帯域用空
気吹出し口゛１０１の＾さはできるだけ低くしだ方が、
第２　？ｊ＋域１２ａつまり作業部空間の気流の乱れが
少々と、清浄度保持性能が良くなるからである。この場
合、第１帯域用吊浄空気吹出し０１０２の」二には丙性
能フィルタ及び送風機が収納されていないので、第１帯
域清浄空気吹出し口１０２の高さを商＜シても天板１９
全体をほぼ同一高さとして、全高を低くすることができ
る。

送風機２３の運転により、外部空気はブレフィルタ２１
を通して空気吸込み１」１３から吸込まれる。送風機２
３から送り出された空気の一部は第１高性能フイルタ２
５により清浄化された後、第２帯域用／Ｉ゛１浄空気吹
出し口１０１から第２帯域］２ａへ下向に吹き出し、ま
た、第１送ｊ」（１機２３から送り出された残りの空気
は＠２高性能フィルタ２４により清浄化された後、第１
帯域川相浄空気［久出し口１０２から第１帯域１２ｂへ
下向に吹き出す。

図中の矢印はこの空気の流れを示している。ｉ’Ｈｔ　
Ｊｊ：板２８．２９は、照明の散光と清浄気流の整流の
ために設けたものである。

清浄気流の風速は、たとえば作業部である第２帝域１２
ａで０．４　ｍ／ｓ　、通路部である第１帯帯１２ｂで
０．２　ＭＳというように、各部の必要清浄度に応じて
設定する。こうすることによって、第２帝域１２ａの７
に浄度を第１帝域１２ｂの溝漬度よりも向くすることが
できる。

帯域１２ａ’、１２ｂ内に吹き出された清浄気流は図の
矢印で示すように流れ、側板２ｏの下部に設けられた側
面流流口１４から外部（保全域）へ流出する。帯域圧力
は側面流出口１４での圧力損失分だけ外気に対し正圧と
なるので、夕）部■・らの汚染空気の流入を防止できる
。１１１１面流出口１４は、製造ライン′＼の水、ガス
等の配管類や電線等の引き込みにも利用される。側板２
ｏは、配管や機器の補修などのため、ねじ止めあるいは
引掛金具などを用いて部分的に」１ｙ、りはずせるよう
にしておく。

また、帯域内の作第猿境の改嵜と外部からの作業繁埋の
必要上側板２０の一部を透明板とすることがある。

第４図には化ジュール化した側板２０、天板１９及びｍ
浄空気供給手段等から成るユニットを多数連結してなる
本発明による清浄至の外観を示す。

第５図は製がラインが通路の片側にある場合の構成例を
、長手方向に直角な断面で示したものである。第５図に
おいて、第３図と同−杓号は刈応する部分を示しており
、第１蛍域１２ｂの一側が佃イ反２０でふさがれている
点以外は、第３．４図の構成例と実質的に変わりがない
。

第６図には消汐度保持性１１ヒをさらに向上させ別作業
至の別の構成側全円くす。７１＼１＋１１は、作業室内
の中央の通路部体■に尿流出口としてグレイチング／ （ＧＲＡＴＩＮＧ）８４を設け、両側板２０の下部に設
けた側面流出口１４と合せて８１１＾１／Ｊｌ［から制
、気するようにしたもので、特に第２４’ｌｒｊ異１２
ａのＷ；＋１”気流が矢印で示すように二つに分れて床
ζ皮出口３４と側面流出口１４の両方から排出されるよ
りにすれば、第１帯域１２ｂを辿る作業者からの発塵か
＃造うイン用役器９を設置した第２＠域１２ｂへ流入す
ることを防止でき、清浄度保持性Ｈμを向上させること
ができる。このためには、清浄気流の風速を、第１帯域
部の平均風速≦第２帯域の平均風速の関係に保つことが
望ましい。寸だ、各種配管類を引き込む関係で側面流出
口１４の開口寸法を大きくする必要がある場合には、尿
流出口３４の４ＩＪｌ気１「か減少１−るのを防ぐため
、側面流出口１４に軟１１の仕切りカバー３６を取り伺
けて排気４コ１をＪ１＋’４’ｌする。仕−ノリカバー
３６をゴム板后の軟質ＡＡ本１で作れば、部分的に側面
流出口１４の開１」寸法を大きくして配省知を）川すこ
とかできる。

従来の全面ダ１ンンフロ一式クリーンルームは、床全体
を多孔板としているため、振動に対して弱かつだが、第
６図に示すように第１帯域１２ｂの床面のみグレイチン
クで、製ス責うイン用役器９を設置する第２帯域の１木
而はフラットであるため、比強度を尚めることかでき、
微細加工弦行う半専捧製造装置ｋ栃の撮動防止の点でも
すぐれている。

また、第６図では内側禎１ｊ板２０の外ｔ）１（にさら
に外側側板３１を設けて、０１１１面流出口１４および
床下還気ダクト８５に接続する１１１１誦Ｊ還気ダクト
３２を内側側板２０と外側側板３１の間に形成し、この
一端を送風機２２の吹込口が位置する空気室につないだ
から帯域１２ａ、　１２ｂから流出した空気の大部分は
この側面還気タクト３２からプレフィルタ２１を辿して
空気吸込み口１３へ還流し、空調用給気ダクトから空気
吸込み口１５へ供給される空気相に相補する部分たけが
外ｌ１ｌｉＩ側板３１の下部に設けた流出口３３から外
部（１呆全域）へｂＩＬ出する。この方式は、局所的に
ほとんどの空気を循環使用するため、保全域とも区１ν
１らね、室内空気の超繭浄化と空調の省エネルギー化の
効果が太きい。

第７図は第６図に示した作久室の外観を示す斜視図であ
る。第６．７図の構造に、これ址での実施例の中でに最
も費用がかかるが、それでも１’Ａ＋　１曲な）６性能
フイルタを空間１２の内部にのみ使用しているので、全
面ダウンフロ一方式に比べれば女価である。

第８図に示す構造は第６．７図の構造のりこ形例とでも
いうべきもので、＠接する作業室１１の間の保全域１６
を小さいスペースに抑え、この部分°　を清浄空気のリ
ターン通路として利用するものである。３７は床下還気
ダクト３５に連結する保全域１６の床還気口である。

第３〜７図に示した構成によれば、天板１９をほぼ平ら
にすることができるので、瞬接する清浄室１１間に天井
仕切り板３８を架設することによυ、建屋天井との間に
空調用給気ダクト７を簡単に形成することができ、ダク
ト工事費の大幅な低減がはかれる。

以上、清浄室とこれを用いたシステムの全体構成につい
て説明した。

次に、細部の改善例について説明する。

第９．１０には本発明者が最初に考えた高性能フィルタ
の取付構造を示す。清浄室１１では、その上に空調用ダ
クト等を布設することが多いため、高性能フィルタの交
換等のメンテナンスは清浄室内＄１１１から行えるよう
にすると良い。第９図では、第２高性能フイルタ２４、
第１高性能フイルタ２５をを伺金具３９でフィルタケー
ス４２に増刊け、フィルタ交換時には、第２帯域ｉ２ａ
であれば第２帯域散光板２８、第２帯域照明灯２７をは
ずしたうえで取付金具３９をはずし、第２帯域用高性能
フイルタ２５を下方へ取り出す。これが具体例であるが
、次のような問題点がある。

（１）高性能フィルタの増刊方が悪いと、汚染空気洩れ
４０が発生し、室内の清浄度が低下する。

（２）高性能フィルタの周囲に空気のよどみ４１が生じ
て清浄度が上らず、長期間にはこの部分に停滞した塵埃
が清浄室側に出て来て（′６浄度を損なう。

（３）制性能フィルタの外枠は通常木製であり、清浄室
（１１ｉ＋に木部が熟出するので塵埃の発生源となって
好ましくない。

これらの問題点を改善した高性能フィルタの取付構造を
第１１．１２図に示す。本例では、第１帯域用つまり第
２高性能フイルタ２４、第２　イＩｆ域用つ１９第１高
性能フイルタ２５第１チヤンバ２６、第２チヤンバ９５
、第１送風ａ！ｌ！２８、第２送風機９６　を一体に構
成し特に第２高性能フィルタ２４ｉｌ−ｉ、これの清浄
紮気吹出口を第１帯域が位置する方の側方に向けて第１
高性能フイルタよりも上に設ける。。

このようにすると第１帯域の高さを充分高くすることが
できる。

第１高性能フイルタ２５第２高性能フイルタ２４をそれ
ぞれ断面り形の押え枠４４と取付金具３９によってチャ
ンバ２６に取付ける。高性能フィルタ２４．２５の上流
仰１と下流側（／ｆｆ洋室側）とｄ１仕仕切膜４として
作用する仕切り板４６と仕切り用化粧板３０によって仕
切る。しかし、フィルタ父換時、押え枠４４および高性
能フィルタ２４．２５を取り出すだめに、仕切り＆４６
および１士切り用化粧板３０と押え枠４４との間には一
定のスキマが必璧である。このスキマから汚染空気が洩
れないよう、シール用バンキング４５によりこのスキマ
を埋める。このような構造にすれば、高性能フィルタ２
４，２５の締め具合等により押え枠４４の位置がずれて
も上記シール用バッキング４５により有効なシールがで
きる。この改善によｐ、高性能フィルタのメンテナンス
を清浄ネ側から行えて、次の効果が祷られる。

（１）高性能フィルタの取付構が悪くてチャンバ２６と
の間から汚染空気洩れが生じても、高性能フィルタα周
側部は負圧になっているので、汚染空気が清浄室側へ洩
れる心配が外い（第１１図中の■は正圧部、θは負圧部
を示す。） （２）尚性能フィルタの周側部の／Ｈ浄域内に空気のよ
どみができない。

（３）丙性能フィルタの木枠が？＋Ｔ浄Ｍ　ｌｉｉ　Ｋ
　＆出して汚染源になる心配がない。

（４）シール用バンキング４５に欠陥か発生しても、清
浄空気が高性能フィルタの周囲の負圧部へ流入するたけ
で、清浄室側への汚染空気洩れが生じる心配がない。

次に、空気吹出し１コでの清浄空気の流れの改善例につ
いて述べる。

本発明者が最初に考えた構造は、第１（）図に示すよう
にフィルタケース４２を７ｕ浄♀１１の長手方向に順次
突き合せて接続する。この場合、フィルタケース４２は
、散光＆２８の増刊やフィルターケース自体の補強のた
めに、空気吹出し口の周縁部を水平方向に若干折曲げて
おく。しかし、この構造では、図に示すようにフィルタ
ケース４２の接続部付近にうす流４３が発生し、このう
す流が作業者の発塵等を巻き込んで、清浄度を低下させ
る原因になる心配がある。

第１２図（ａ）に示した改善例では、押え枠４４の空気
吹出し日周縁に気流のじゃ１になる折曲げ部がないので
、うす流の発生がなく、？＃＃空気の流れが良くなる。

しかし、第１２図（ａ）では、まだ少し隣接する押え枠
４４の接続部伺近で風速が遅くなる傾向があるので、そ
の改善例を第１２図（ｂ）、（Ｃンに示す。

（ｂ）の改善例は、高性能フィルタ２５の吹出し口下部
に拡散用パンチング板４７を部分的に設置して、パンチ
ング板４７が存在しない吹出し口の端部へ気流を多く流
し、吹出し口の風速を平均化したものである。拡散用パ
ンチング板４７は、照明灯２７による乱流の防止も兼ね
て照明灯２７の下側に設け、旧質は光を透過するものが
艮い。

捷だ、（Ｃ）の改善例は、茜性能フィルタ２５の吹出し
口下部に風向板４８を設置して、吹出し口端部へ気流を
多く流し、風速を平均化したものである。

これらの改善によって、吹出し口端部付近のうす流の発
生を防止し、さらに清浄気流を均一化して′ｍ汐度を向
上させることができる。

次に、空気浄化ユニットのＪ＆　＋ｊ栴造の改善例を第
９〜１２図に二って説明する。不発開基が最初に考えた
のは第９．１ｏ図に示すように、フィルタケース４２を
含む天井部を板金ケースで構成し、長手方向に接続して
いく、＃）造である。この場合、建屋の床面にはかなり
の凹凸があるため、床は柱を立てて組立てる構造では、
床面にならって天井部のり１さが不ぞろいとなり、特に
室内から見た場合、第１帝域部散光板２９およびフィル
タケース４２の１１Ｊ面等が波打ち状となって、部品性
か損なわれるという問題がある。そこで、第１１．１２
図に示す改善例では、チャンバ２６の後部を天井部の毛
′４梁４１Ｃのせて取付金具５ｏで固定し、第１帯域側
の前部を町長調節金具（ターンバックル）５１で天板１
９から　シ下は支持する構造とした。チャンバ２６の一
端を横梁４９に固定したのは、シ下は支持のみでは耐震
性が不足し、地震時にシ下げ部分が動いて破損する恐れ
があるからである。この構造によれば、天板１９が床面
の凹凸にならって波拐ち状となった場合でも、用長調節
金具５１により第１蛍域ｉｌ！ｌ］の仕切９用化粧板３
０を水平に調整でき、併せて第１帯域故光板２９も水平
に調整できるので、部品の取付不良などをなくすことが
できる。

次に、散光板の改善例を第１３図によって説明する。第
２帯域散光板２８、第１帯域散光板２９には、通常格子
状の樹脂成形品を使用する。この場合、散光板単独で使
用すると、第１３図（ａ）に示すように自重でたわみが
出るため、同図（ｂ）に示すように周囲をコ字状の補強
ザック５２で囲み、補強すると良い。しかし、この構造
では、次のような問題点が生じる。つまυ同図（Ｃ）に
示すように補強サノン５２が気流を妨害するため、その
下流にうす流４３が生じて清浄度を世なう心配があるの
である。そこで同図（ｄ）〜（ｇ）に改善例を示す。つ
まり（ｄ）および（ｅ）に示すように、散光板２８の上
面に一部分のみＬ形状をした補強板５３を取付ける。

補強板５３の取付部詳細は（ｆ）、（ｇ）に示す通りで
、取付部品５４または５５によって補強板５３のＬ形部
を散光板２８の上面に１６４定する。この構造によれば
、気流の妨害になるのは補強板５３の極く−都のみで、
（ｂ）、（Ｃ）の構造に比べ、うす流は大幅に減少する
。

第１４図には散光板取付構造の改善例を示す。

同図（Ｃ）に示すようなし形状の受金具５６をピン５８
で仕切り用化ヤ」−板３０に数句ける。受金具５６の取
付穴は長穴で、受金具５６を散光板２８の格子の１目以
上左右にスライド可能としておる。この受金具５６に設
けたツメ５７に散光板２８の格子を掛けて同図（ａ）、
（ｂ）に示すように取付ける。散光板は第１３図（ｄ）
に示すものを用いると、気流を妨害しなくて良い。第１
０図に示す通常の散光板取付構造に比べ、この改善例の
利点は、第１２図（ａ）Ｋ示すように、高性能フィルタ
の寸法に関係なく、散光板の定尺物を使用して連ｆｔｌ
して取付けられることである。この場合、受金具５６を
散光板の１目以上スライドできるようにしておけば、散
光板がどのような位置に来ても対処することができる。

第１５図は第１帯域散光板の取付力の改善例を示す。実
施例に示した清浄室の組立玉串では、門形フレームを組
んで、第２帯域部天井に空気浄化ユニットを取付灯るた
め、組立誤差は中央の第１帯域部の寸法にしわ寄せきれ
る。この場合、仕切り用化粧＆３０の散光板受部を第１
５図（ａ）または（ｂ）に示す形状にして、各部寸法り
、　、Ｌ、、Ｌ、と第１帯域敗光板２９の幅ｔ、および
１目の寸法ｔ２の関係を次のように定める。

（１）　Ｌ＋　＞　１１　（２１Ｌ２　）４　ｔ３）　
ｔ、２＋Ｌｓ　＜ｚｔこのようにしておけば、第１帯域
部寸法の誤差が太きくなって、当初の散光板が入らない
場合、格子の１目切りができる。散光板を格子の途中で
切１１）ｉすると強度的に勃くなるので、１目切りがで
きることはル要である。

次に、照”Ｊ４　ＫＪ’　Ｉｃｙ、イ１　ｒｉ＊造の改
善例について述べる。

不発開基が最初に考えた照明灯の数句構造は第３図の２
２および２７に示す構造であった。こり、らはいずれも
高性能フィルタの吹出し口（（あるため、超請浄度を必
壺とする清浄“梨にあっては、気流を妨害したり、照明
灯の」二に胞埃かたする笠の不都合がある。第１６図に
示す改善例では、ｌｔＬ！ｉ＃　’４）Ｃ照明灯２２，
２７を溝状照明ケース６１に納めて、仕切ｐ用化粧板８
０および側板２０に埋め込み、ずく山ｊに透光カバー５
９をかぶせて商１”ｌｉ止フイルり２５の空気吹出口を
きけ、高性能フィルタ２５をＶｉきむ位置に設けである
。こうずれは、高性１１ヒフィルタ２４．２５の吹出し
口に発塵源になるものかない構造とし、て、会衆な照明
を行うことができる。照明ケース６１を用いたのは、内
面反射により照裏向上をはかるためであり、本ケースに
ス）ｈ気孔らＯを設けれは、温度上昇全防止でき、さら
にケース内が負圧になるため、汚染空気が／）マ浄域に
洩れる心配もない。高性能フィルタ２４．２５の吹出し
１」にａｌ、篩性能フィルタの保護と気流分イ１コの改
善のだめ、パンチング板６２を取イづけることもできる
。

第１７図は風％調節と送風機の逆流防止Ｋ　Ｋｌする改
善例を示す。清浄室は、清浄度維持のため連続運転する
のが原則であるが、夜間等の非作業時に全風知運転する
のは不経済であるため、一部送”１４ｉ１１．機を停止
して風量調節を行うことが望捷しい。

この場合、第１１図に示す構造のままで一部送風機を１
苧止すると、停止した送に機から空気が逆流し、損失が
大へいのと、送風を駆動モータが単相モータの場合、逆
流によりモータが逆回転しているので、次に全風邦運転
を行う場合、モータが正常回転に戻らないという重大ｌ
欠点がある。第１７図に示す改畏例では、送風機２３の
吹出し口にそれぞれ支点軸６４を中心として開閉動ｆ「
するダンハロ３を設けた。このダンパ６３は、送風中は
風圧によって同図（ａ）に示す開状態となり、送風停止
１吟に一ホリ〈芽たはバネ）６５による回転力で同図（
１））に示す開状態となって、空気の逆流を防止する。

１だ、タンパ６３の開き角度を同図（ａ）　Ｋ示すよう
釦９０°より小さくしておけば、構造上、送風（４，Ｊ
２３が片寄って取付けられている場合でも、ダンパ６３
が風向板の役目をして、チャンバ２６内の風忙分布を均
一化することができる。

次に、空調用給気ダクトの接続＄ｉｒｉ端の改善例につ
いて説明する。Ｑ’ｒ　＃埜内の高度制佃ｊを何う場合
、には第１８図ＶＣ示すように伯浄家１１のリターン空
気吸込口１３とは別に設けた生気流入口１５に空調用組
気ダクト７を接続して、全駒装置６６から、送風機２３
の空気吹込１」か開口している空気ヱ９０内に鮒気を行
うと良い。６７は給気幇ｉ１＋ｊｌ　ｆＩＩＩＩダンパ
、６８ｉよ全調装りの帽気用層風促、６９．７０は換気
用送風戸である。し２かし、この僧“ｆＪ造では、給気
打１市Ｉ；御タンパ６７の開閉によりｒｉ’：浄￥１１
への４６気量か変化すると同時に、空気菟９０の空気Ｉ
コ１３からのリターン空気貼も変化するため、）。

レフイルタ２１での圧４釦が変化し、０いては第１１第
２帯域］、２ｂ、１２ａ内の圧力か大きく常動するノ１
＞配がある。

このように帯域１２ａ１１２ｂ内月−力か変動すること
は、帯域ビゴを高７メＩ浄＋ｆｉ’に維持するうえて大
きな降害になるので、第１９，２０１＜りに示す改善例
では、第１８図に示した空気流入口１５を廃し、リター
ン空気流入口１８を囲んで設けたフランジ７１ｊたけフ
ランシワ２の内部に、空調用給気ダクト７の先端を多少
差し込んだ状態で取付けだ。このようにすれば、図の矢
印で示すように空調装置６６からの給気は保全域１６か
らのリターン空気と一諸にブレフィルタ２１管通して空
気流入口１３へ吸込プれるため、空調給気造か変化して
も、プレフィルタ２１を通る風扇はリターン空気量を含
めて常に一定となる。この場合、プレフィルタ２１の吸
込風ｈＩに空調給気筒よりも大きいので、空調装りから
の紹気は全量吸込まれる。この改善により、・１１テ域
１２ａ１１２ｂ内の圧力変動を少なくすることかでき、
また、第１８図の＋１４造に比べ、空調給気ダクトと空
気室９０とを剛体接続しないので、施工時に、ダクト（
ｉ続部の寸法が台わない等のトラブルも少なくなる。

第２１図は不ヴし明清浄室の変形例を示す。この象形１
＋１１では、τｒ４沖室１１の内部圀は送風機ケ内蔵せ
ず、天井部に主ダクト７３を設けて、その吹出し口に高
性能フィルタ２４．２５を小″付ける。そして、ン青浄
室１１の外部に主送風機７４を設置し、主ダクト７３を
通じて送風する。１だ、天井部からの吸引ダクト７５を
設けて主送風イ幾７４にＪ〆絖すれば、高性能フィルタ
２４．２５の周囲會負圧に保つことかでさる。この（１
４成によれは、主込風ゆをＩ＃洋室から離して設置でき
るので、帯域１２ａ１１２ｂ内の騒召１：ｅＬを低減で
き、才だ、人界ｌｄ、送風慎を用いるので、小形送風機
業多数使用するよりも効率が良く、省エネルギー化がは
かれる。また、清浄室１．１辺に荒眺１用給気ダクトを
イＩＪ股オａ必要もなくなる。

第２２図も清第至装飲の他の変形例ケ示す。この変形例
は、清浄室装置を１モジユール母にユニット化し、連結
切離しを可能にしたものである。

キャスタ７６、キャスタ７７は移ルカを容易にするだめ
のものであるが、たひたび移動するものでなければ、ｒ
４ｔｎ４のみ別の方法でＡＫＭしてもよい。このように
ユニット化する場合、」′房吐の半導体製造装置は、基
本寸法をためて、基本寸法のｎ侶寸法で設計てれること
が多いから、清浄室装置のモジュール寸法も半導体製造
装置の基本寸法に合せておけば、製造ラインのレイアウ
ト変更、増設、藺止等にλ１処して清浄室の粘結、切離
しができ、便第１］である。また、込（、本寸法を合せ
ることにより、十カ８体製造装置のメンテナンス時に、
支柱が障害になって保全域からのメンテナンス作業がで
きない等のトシブルもなくなる。図中の７８は結合手段
としてのユニット接続孔である。この孔にボルトを）＋
ｈ　して両ユニット曲を接続する。

以上の説明から明らかなように不発」ｐ」清浄室装僅に
よれは、従来半導体の製造等に最良の方式とされていた
全面ダウンフロ一式クリーンルームに比べ、ｆｆｆ浄化
区域および空調対象［メ域が大幅に減少するため、設備
費が大幅に低減できる効果がおる。またユニット構成に
なっているのでレイアウトの袈更、増設が容易である。

【図面の簡単な説明】

第１ト（１は先行技術でめる全面ダウンフロ一式クリー
ンルームを示す図で、（ａ）は切断平面図、（Ｌ）は側
断面図、第２図は本発明によるＹ；−洋室装置の施工例
を示す図で、（ａ）は切ｌｌＪτ平面図、＜ｂ）は側断
面図、第３図は本発明清浄室装置の構成例を示す長手方
向に直角な断面図、第４図はその夕Ｉ観を示すｊｉ’）
視図、第５図は不！（１明τｉ′９浄至装置の仙の構成
例を示す長手方向に直角なｈＪｔ面図、第６図ぐ」、（
＋’ｒ　＃　ＩＪｔ　１米＋１性能をさらに向上させた
別の構成例の長月−カ同ｌ′（１自角な断面図、第７図
はその外観を示すが［視図、第８図は仝発明の袈形施］
−例を４くず側断面図、第９図は高性能フィルタ取付構
造の一般例を示す部分切断上１ｆｆｌｉ図、第１Ｏ図は
同切断側面図、第１１図は１％性能フィルタ取増刊ｊ輩
の改善１夕１］を示す部分切断正面図、第１２図（ａ）
、（ｂ）、（ｃ）は１ｉｔｉ切Ｕ「側面図、第１３図（
は散光板の一般例と改１ハイタ１」を示ず図で、（ａ）
は散光板堆イづ状態を小ず図、（ｂ＞は散光板と補強サ
ツシのかＥ親図、（ｃ）は同ｌＪＪ藺側ＩＩイ１図、Ｃ
ｄｌ＆よ改碧伸１の散光板と浦強板の斜イ光図、（ｅ）
は同切し］側］１」図、（ｆ）、（ｇ）は補強板取付１
１１＄の詳細１１（）１面図、第１４図は散光板取付構
造の改善例を示す図で、（ａ）ｆｄ部分切断止血図、（
ｂ）は部分乎ｍＪ図、（Ｃ）は受金具増刊ｉｉ賃の斜視
図、第１５図（ａ）、（ｂ）は第１蛍域散光仮の取伺構
造の改善例を示す部分切断正面図、第１６図は照明灯η
Ｊ　’ｆ’Ｊ’　＋ｉｑ造の改善例を示す部分切断正面
図、第１７図は風偕調節と送風機の逆流防止に関する改
吉例を示す図で、（ａ）は送風中の部分切断正面図、（
ｂ）ｌ−ｊ送風十・？正時の１３１Ｓ分切断正面図、（
Ｃ）は送風中の部分切１１Ｖｉ　（１１ｉ１面図、第１
８図は空調ダクト接続構造をンバず切断正面図、第１９
図は空調ダクト接続構造の改善例を７Ｆす切断止血図、
第２０図は第１９図に示しまた改善例の空調ダクト接続
部詳細図で、（ａ）＄よび（Ｃ）は部分切断正面図、（
ｂ）および（（ｊ）は側面図、第２１図は清Ｈ［室装鍮
の変形例を示す図で、（ａ）は切断止血図、　（ｂｌｌ
ｄ、部分切断側面図、第２２図はｍ洋室装置６のイ１す
の変形例を示す斜視図である。 １：建屋、９：製造ライン用機器、１０コ配管類、１］
°本発明による７＾浄装値、１２°苗′浄室至内、１２
ａ、室内の作を部である第２帝域、１２ｂ　：室内の通
路ン１；〕である第１帝域、１３：ＩＪターン空気流入
口、１４：側面Ｘｉ出口、１５：孕調用給気タクト。 にＪ菱続する空気流入口、１６：保全域、１７°支柱、
１８゛柘東、１９：大板、２０゛側阪、２３：送ノ虱機
、２４：第１高性能フイルタ、２５　第２筒性能フイル
タ、３０．４６：仕切り手段を形成する仕９ノ用化粧板
及び仕切板、１０１：第２帯域用汀を浄空気吹出し口、
１０２：第１帯域用梢伊空気吹出し口、３４二床流出口
、２６二第１チヤンバ、９５　゛第２チャンバ、２７；
直管状照明灯、ｓ９：ａ光カバー、７８：結合手段とし
てのユニット接続孔、６１：病状照明ケース、９０　空
気室、９６：第２チヤンバ。 、；；）う、＋［２１ （ａ） 第　２［２１ （の 第　ｑ　図 第　ｔｏ　凹 第　１１　図 ＄１２　図 （θ） 芽　／３　［２＋ （σｌ ３ ＜ｄ＋　（ｆ＋ 沸　ｊ４　口 （θ） ネ　／７７ （、θン 昇　１８　１ｆｆｉ 第　／９　図 、＄　２０　図 （ｏ、）　＜ｂ＋ （ｃ、　（ｃ１１ 阜　２１　１１］ （Ｚ＋ （ｌ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、両側壁と天板とで覆われた空間内に、前記両側壁に
   対して平行に第１帯域と、該第１帯域よりも高さ方向の
   寸法が小さい第２帯域とが設けてあり、該第−２帯域の
   上には清浄空気の吹出口を下方に向けて高性能フィルタ
   が設けてあり、該高性能フィルタの上流側にはチャンバ
   が設けてあり、該チャンバ内の気圧を前記第２帯域内の
   気圧よりも高くする送風機が設けてあり、前記空間の下
   方には前記帯域内の空気が流出する流出口が設けてあり
   、且つ前記両側壁、チャンバ、菌性能フィルタは前記第
   １帯域が伸びる方向に対して直角を成す断面で複機側の
   ユニットに分割可能であり、更に前記隣接するユニット
   間は結合手段で結合しであることを特徴とする清浄室装
   置。 ２、各前記ユニットは自立可能に構成しであることを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載の清浄室装置。