JPS6038321B2 - 酸素リサイクル式オゾン発生装置 - Google Patents
酸素リサイクル式オゾン発生装置Info
- Publication number
- JPS6038321B2 JPS6038321B2 JP54066547A JP6654779A JPS6038321B2 JP S6038321 B2 JPS6038321 B2 JP S6038321B2 JP 54066547 A JP54066547 A JP 54066547A JP 6654779 A JP6654779 A JP 6654779A JP S6038321 B2 JPS6038321 B2 JP S6038321B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- ozone generator
- oxygen
- recycling type
- processing device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
- Treatment Of Water By Oxidation Or Reduction (AREA)
- Drying Of Gases (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は酸素リサイクル式オゾン発生装置の改良に関
するものである。
するものである。
オゾンは酸化力、殺菌力が強いため水処理や生産プロセ
ス中で酸化剤として使用されている。
ス中で酸化剤として使用されている。
この場合に、オゾン発生機（オゾナィザ）の原料ガスを
空気から酸素に換えるとオゾンの発生量が２倍以上とな
り、オゾン発生機の消費電力を大幅に削減できることが
知られている。しかし、この場合に原料ガスとしての酸
素を有効に利用するためには酸素リサイクル系が必要と
なる。第１図はこの種の酸素リサイクル系を有する従来
のオゾンによる水処理装置の一例を示す。
空気から酸素に換えるとオゾンの発生量が２倍以上とな
り、オゾン発生機の消費電力を大幅に削減できることが
知られている。しかし、この場合に原料ガスとしての酸
素を有効に利用するためには酸素リサイクル系が必要と
なる。第１図はこの種の酸素リサイクル系を有する従来
のオゾンによる水処理装置の一例を示す。
第Ｉ図において、１はオゾン発生機、２は反応塔、３は
ブロア、４は冷却除湿器、５は散気板、６は原料ガス溜
め、１川ま吸着式ガス乾燥機である。次に、この従来装
置の動作について説明する。原料ガス溜め６から出た原
料酸素は、オゾン発生機１によって通常数％のオゾン濃
度のオゾン化酸素にされ、反応塔２の底部の散気板５か
ら微細気泡として水中に散気される。これにより上記オ
ゾン化酸素中のオゾンは水中に溶解して消費される。こ
の際、酸素も一部水中に溶解して水と共に流出するが大
部分は水中から排出される。この排出された酸素はブロ
ア３で吸引加圧された後に、図示してない冷凍機から低
温プラィンが送られている冷却除湿器４で５℃程度に冷
却され、ガス中に含まれていた水分が凝縮され、ドレィ
ンとして除去される。冷却除湿器４を出たガスは吸着式
ガス乾燥機１０でガスの露点が−４０ｑｏ以下になるよ
うに乾燥され、再び原料酸素として原料ガス溜め６に送
られる。このような循環系は酸素リサイクル系と呼ばれ
ている。なお、オゾンに変換された酸素および水に溶解
して流出した酸素に相当する鼻の酸素が補給酸素として
補給される。また、吸着式ガス乾燥機１川ま、通常２塔
以上の吸着剤充填塔１１，１２で構成され、これらの内
部には吸着剤が充填されており、第１図に示す２塔構成
の場合には、一塔が水分の吸着除去の動作を行なってい
る時、他塔は気体加熱器６０からの加熱空気を通すこと
により吸着剤の再生を行なっている。
ブロア、４は冷却除湿器、５は散気板、６は原料ガス溜
め、１川ま吸着式ガス乾燥機である。次に、この従来装
置の動作について説明する。原料ガス溜め６から出た原
料酸素は、オゾン発生機１によって通常数％のオゾン濃
度のオゾン化酸素にされ、反応塔２の底部の散気板５か
ら微細気泡として水中に散気される。これにより上記オ
ゾン化酸素中のオゾンは水中に溶解して消費される。こ
の際、酸素も一部水中に溶解して水と共に流出するが大
部分は水中から排出される。この排出された酸素はブロ
ア３で吸引加圧された後に、図示してない冷凍機から低
温プラィンが送られている冷却除湿器４で５℃程度に冷
却され、ガス中に含まれていた水分が凝縮され、ドレィ
ンとして除去される。冷却除湿器４を出たガスは吸着式
ガス乾燥機１０でガスの露点が−４０ｑｏ以下になるよ
うに乾燥され、再び原料酸素として原料ガス溜め６に送
られる。このような循環系は酸素リサイクル系と呼ばれ
ている。なお、オゾンに変換された酸素および水に溶解
して流出した酸素に相当する鼻の酸素が補給酸素として
補給される。また、吸着式ガス乾燥機１川ま、通常２塔
以上の吸着剤充填塔１１，１２で構成され、これらの内
部には吸着剤が充填されており、第１図に示す２塔構成
の場合には、一塔が水分の吸着除去の動作を行なってい
る時、他塔は気体加熱器６０からの加熱空気を通すこと
により吸着剤の再生を行なっている。
一定時間を経過した後に切操弁２１，２２，３１，３２
，４１，４２，５１，５２の切換えによって、一塔と他
塔との動作の切換えが行なわれ、交互に２塔の吸着剤充
填塔で除湿と再生とを繰返すことにより、連続的に排出
酸素の乾燥を行なう。前述のような反応塔２をリサイク
ル系内に含むオゾン発生装置では、処理水の蒸発による
水だけではなく、水中に溶存する有機物とオゾンとの反
応の結果発生する揮発性有機物や炭酸ガスや原水中に溶
存していた揮発性有機物などが排出酸素中に混入する。
，４１，４２，５１，５２の切換えによって、一塔と他
塔との動作の切換えが行なわれ、交互に２塔の吸着剤充
填塔で除湿と再生とを繰返すことにより、連続的に排出
酸素の乾燥を行なう。前述のような反応塔２をリサイク
ル系内に含むオゾン発生装置では、処理水の蒸発による
水だけではなく、水中に溶存する有機物とオゾンとの反
応の結果発生する揮発性有機物や炭酸ガスや原水中に溶
存していた揮発性有機物などが排出酸素中に混入する。
これらの揮発性有機物および炭酸ガスが回収酸素と共に
オゾン発生機１に送られると、オゾン発生効率が大きく
低下する。とくに、有機物は１００ｐｐｍの混入によっ
て１０〜１５％のオゾン発生効率の低下の原因となる。
炭酸ガスについても有機物ほど大きくはないが、オゾン
発生効率の低下の原因となる。従って、前述のようなオ
ゾンの発生に悪影響を与える物質を吸着式ガス乾燥機１
０で除去できるように、この乾燥機１０に充填する吸着
剤が選定されている。しかし、一酸化炭素、水素、メタ
ンなどのきわめて沸点が低い物質が原水から持込まれた
り、オゾンとの反応の生成物として発生したり、さらに
反応系の腐蝕によって生成したりする場合には、これら
のガスを効果的にリサイクル系から除去できる吸着剤が
なく、リサイクル系内に蓄積されることになる。しかも
、これらのガスのうち水素、メタンは、前述した揮発性
有機物と同様にオゾン発生効率を低下させる。さらに、
水素、メタン、一酸化炭素などの可燃性ガスは燃焼、爆
発開始濃度限界が低く、装置を発火、爆発などのきわめ
て危険な状態にする。この発明は、前述したように従釆
の酸素リサイクル系オゾン発生装置ではオゾン発生効率
の低下、さらに装置の発火、爆発を未然に防止する手段
を備えていない欠点があったのを解消し、安全でしかも
高いオゾン発生効率を維持できるオゾン発生装置を提供
することを目的とするものである。以下この発明の実施
例を図面に基いて説明する。
オゾン発生機１に送られると、オゾン発生効率が大きく
低下する。とくに、有機物は１００ｐｐｍの混入によっ
て１０〜１５％のオゾン発生効率の低下の原因となる。
炭酸ガスについても有機物ほど大きくはないが、オゾン
発生効率の低下の原因となる。従って、前述のようなオ
ゾンの発生に悪影響を与える物質を吸着式ガス乾燥機１
０で除去できるように、この乾燥機１０に充填する吸着
剤が選定されている。しかし、一酸化炭素、水素、メタ
ンなどのきわめて沸点が低い物質が原水から持込まれた
り、オゾンとの反応の生成物として発生したり、さらに
反応系の腐蝕によって生成したりする場合には、これら
のガスを効果的にリサイクル系から除去できる吸着剤が
なく、リサイクル系内に蓄積されることになる。しかも
、これらのガスのうち水素、メタンは、前述した揮発性
有機物と同様にオゾン発生効率を低下させる。さらに、
水素、メタン、一酸化炭素などの可燃性ガスは燃焼、爆
発開始濃度限界が低く、装置を発火、爆発などのきわめ
て危険な状態にする。この発明は、前述したように従釆
の酸素リサイクル系オゾン発生装置ではオゾン発生効率
の低下、さらに装置の発火、爆発を未然に防止する手段
を備えていない欠点があったのを解消し、安全でしかも
高いオゾン発生効率を維持できるオゾン発生装置を提供
することを目的とするものである。以下この発明の実施
例を図面に基いて説明する。
第２図はこの発明の一実施例による装置を示す。
第２図において、１はオゾン発生機、２は反応塔、３は
プロア、４は冷却除湿器、５は散気板、６は原料ガス溜
め、１０は吸着式ガス乾燥機であり、これらは前述した
第１図に示すものと同じである。７は可燃性ガス検知装
置で、リサイクル系内の吸着式ガス乾燥機１０とオゾン
発生機１との間に設けられている。
プロア、４は冷却除湿器、５は散気板、６は原料ガス溜
め、１０は吸着式ガス乾燥機であり、これらは前述した
第１図に示すものと同じである。７は可燃性ガス検知装
置で、リサイクル系内の吸着式ガス乾燥機１０とオゾン
発生機１との間に設けられている。
８は可燃性ガスの処理装置で、リサイクル系内のブロア
３と吸着式ガス乾燥機１０との間に設けられている。
３と吸着式ガス乾燥機１０との間に設けられている。
この実施例の装置の動作は、基本的には第１図のものと
同様であるが、リサイクル系内の吸着式ガス乾燥機１０
では除去できない水素、メタン、一酸化炭素などの可燃
性ガスの濃度がその検知装置７で検知される。
同様であるが、リサイクル系内の吸着式ガス乾燥機１０
では除去できない水素、メタン、一酸化炭素などの可燃
性ガスの濃度がその検知装置７で検知される。
リサイクル系内に可燃性ガスが蓄積され、その濃度がオ
ゾン発生効率に悪影響を与える値である第１濃度レベル
に到達すると、可燃性ガス検知装置７が信号を発し、こ
の信号によって可燃性ガスの処理装置８を動作させる。
この処理装置８は一例として触媒により可燃性ガスを酸
化させ、水と炭酸ガスとに酸化させ、吸着式ガス乾燥機
１０で除去可能な物質に変換させる。また、可燃性ガス
が水素を主体とする場合には、可燃性ガスの処理装置８
としてパラジウム隔壁を有するセルを用い水素を選択的
に系外に排出させる。また、リサイクル系内に持ち込ま
れる可燃性ガス量がその処理装置８の能力を越えたり、
吸着式ガス乾燥機１０の異常運転により揮発性有機物が
吸着剤から脱離してリサイクル系内の可燃性ガス濃度が
燃焼開始濃度限界未満に設定された第２濃度レベルに到
達すると、可燃性ガスの検出装置７が発する信号によっ
て、オゾン発生装置の全体あるいは一部の発火原因とな
る機器の運転を停止させる。第３図はこの発明の他の実
施例を示し、この実施例では可燃性ガスの処理装置８が
、リサイクル系の吸着式ガス乾燥機１０のガス出入口を
バィパスして、この乾燥機１０と可燃性ガスの検知装置
７との間から反応塔２とブロア３との間に至るバイパス
流路８１に設けられたものである。
ゾン発生効率に悪影響を与える値である第１濃度レベル
に到達すると、可燃性ガス検知装置７が信号を発し、こ
の信号によって可燃性ガスの処理装置８を動作させる。
この処理装置８は一例として触媒により可燃性ガスを酸
化させ、水と炭酸ガスとに酸化させ、吸着式ガス乾燥機
１０で除去可能な物質に変換させる。また、可燃性ガス
が水素を主体とする場合には、可燃性ガスの処理装置８
としてパラジウム隔壁を有するセルを用い水素を選択的
に系外に排出させる。また、リサイクル系内に持ち込ま
れる可燃性ガス量がその処理装置８の能力を越えたり、
吸着式ガス乾燥機１０の異常運転により揮発性有機物が
吸着剤から脱離してリサイクル系内の可燃性ガス濃度が
燃焼開始濃度限界未満に設定された第２濃度レベルに到
達すると、可燃性ガスの検出装置７が発する信号によっ
て、オゾン発生装置の全体あるいは一部の発火原因とな
る機器の運転を停止させる。第３図はこの発明の他の実
施例を示し、この実施例では可燃性ガスの処理装置８が
、リサイクル系の吸着式ガス乾燥機１０のガス出入口を
バィパスして、この乾燥機１０と可燃性ガスの検知装置
７との間から反応塔２とブロア３との間に至るバイパス
流路８１に設けられたものである。
この実施例では、可燃性ガスの処理装置８で生成した水
、炭酸ガスがオゾン発生機１へ流れ込んで、オゾン発生
効率が低下するのを軽減し、また前記処理装置８に吸着
式ガス乾燥機１０で除去可能な揮発性有機物が流入して
、処理装置８の負荷が大きくなるのを防止できる。この
実施例の前述した以外の構成および動作は、前述した第
２図に示すものと同様であるから、第２図と同構成の部
分には同符号を第３図につけて説明を省略する。なお、
この発明において、可燃性ガス検知装置としては、白金
線を用いた鞍触燃焼手段、半導体への可燃性ガスの吸着
を利用した半導体ガスセンサ、あるいはフレームイオン
デイテクション法によるものなどを用いるものである。
また、この発明は、水処理に限られることなく、有機物
を含む液相または園相の対象物にオゾンを反応させるオ
ゾン発生装置に広く適用できるものである。
、炭酸ガスがオゾン発生機１へ流れ込んで、オゾン発生
効率が低下するのを軽減し、また前記処理装置８に吸着
式ガス乾燥機１０で除去可能な揮発性有機物が流入して
、処理装置８の負荷が大きくなるのを防止できる。この
実施例の前述した以外の構成および動作は、前述した第
２図に示すものと同様であるから、第２図と同構成の部
分には同符号を第３図につけて説明を省略する。なお、
この発明において、可燃性ガス検知装置としては、白金
線を用いた鞍触燃焼手段、半導体への可燃性ガスの吸着
を利用した半導体ガスセンサ、あるいはフレームイオン
デイテクション法によるものなどを用いるものである。
また、この発明は、水処理に限られることなく、有機物
を含む液相または園相の対象物にオゾンを反応させるオ
ゾン発生装置に広く適用できるものである。
以上説明したようにこの発明は、可燃性ガス検知装置を
備え、この検知装置の検知濃度によって第１濃度レベル
では可燃性ガスの処理装置を連動させることにより、可
燃性ガスを酸化または除去し、また第２濃度レベルでは
オゾン発生装置の運転を停止させるようにしたので、吸
着式ガス乾燥機で除去できない可燃性ガスをこの乾燥機
で除去可能な物質とし、または選択的に除去することが
できて、オゾン発生効率の低下を防止することができる
と共に、リサイクル系内への可燃性ガスの蓄積に起因す
る発火燃焼、爆発を未然に防止でき、安全性の高い酸素
リサイクル式オゾン発生装置を提供できるという効果が
ある。
備え、この検知装置の検知濃度によって第１濃度レベル
では可燃性ガスの処理装置を連動させることにより、可
燃性ガスを酸化または除去し、また第２濃度レベルでは
オゾン発生装置の運転を停止させるようにしたので、吸
着式ガス乾燥機で除去できない可燃性ガスをこの乾燥機
で除去可能な物質とし、または選択的に除去することが
できて、オゾン発生効率の低下を防止することができる
と共に、リサイクル系内への可燃性ガスの蓄積に起因す
る発火燃焼、爆発を未然に防止でき、安全性の高い酸素
リサイクル式オゾン発生装置を提供できるという効果が
ある。
第１図は従来の酸素リサイクル式オゾン発生装置の一例
を示す構成説明図、第２図はこの発明の一実施例による
オゾン発生装置を示す構成説明図、第３図はこの発明の
他の実施例によるオゾン発生装置を示す構成説明図であ
る。 １・・・・・・オゾン発生機、２・・・・・・反応塔、
３・・・・・・フロア、４・・・・・・冷却除湿器、５
・・・・・・原料ガス溜め、７・・・・・・可燃性ガス
検知装置、８・・・・・・可燃性ガスの処理装置、１０
・・・・・・吸着式ガス乾燥機。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。第１
図 第２図 第３図
を示す構成説明図、第２図はこの発明の一実施例による
オゾン発生装置を示す構成説明図、第３図はこの発明の
他の実施例によるオゾン発生装置を示す構成説明図であ
る。 １・・・・・・オゾン発生機、２・・・・・・反応塔、
３・・・・・・フロア、４・・・・・・冷却除湿器、５
・・・・・・原料ガス溜め、７・・・・・・可燃性ガス
検知装置、８・・・・・・可燃性ガスの処理装置、１０
・・・・・・吸着式ガス乾燥機。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。第１
図 第２図 第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 有機物を含む液相または固相の対象物にオゾン発生
機から出たオゾン化酸素を送つて反応させ、その排気の
酸素から吸着式ガス乾燥機で不純物質を除去して再びオ
ゾン発生機の原料酸素として使用する酸素リサイクル式
オゾン発生装置において、前記吸着式ガス乾燥機とオゾ
ン発生機との間のリサイクル系内に可燃性ガス検知装置
を設け、この装置と連動して可燃性ガスの第１濃度レベ
ルで動作する可燃性ガスを酸化または除去する処理装置
を具備させると共に、可燃性ガスの第２濃度レベルでオ
ゾン発生装置を停止させるようにしたことを特徴とする
酸素リサイクル式オゾン発生装置。 ２ 水素ガスを検知するための半導体ガスセンサまたは
白金線によりガスを接触燃焼させるガス検知手段を用い
る可燃性ガス検知装置を備えた特許請求の範囲第１項記
載の酸素リサイクル式オゾン発生装置。 ３ 酸化触媒を用いる可燃性ガスの処理装置を備えた特
許請求の範囲第１項または第２項記載の酸素リサイクル
式オゾン発生装置。 ４ 可燃性ガスとしての水素を除去するためにパラジウ
ムセルを可燃性ガスの処理装置に用いた特許請求の範囲
第２項記載の酸素リサイクル式オゾン発生装置。 ５ 吸着式ガス乾燥機のガス出入口部をバイパス流路で
結びこのバイパス流路中に可燃性ガスの処理装置を設け
た特許請求の範囲第１項、第２項、第３項、第４項のい
ずれかに記載した酸素リサイクル式オゾン発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54066547A JPS6038321B2 (ja) | 1979-05-29 | 1979-05-29 | 酸素リサイクル式オゾン発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54066547A JPS6038321B2 (ja) | 1979-05-29 | 1979-05-29 | 酸素リサイクル式オゾン発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55158105A JPS55158105A (en) | 1980-12-09 |
| JPS6038321B2 true JPS6038321B2 (ja) | 1985-08-31 |
Family
ID=13319030
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP54066547A Expired JPS6038321B2 (ja) | 1979-05-29 | 1979-05-29 | 酸素リサイクル式オゾン発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6038321B2 (ja) |
-
1979
- 1979-05-29 JP JP54066547A patent/JPS6038321B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS55158105A (en) | 1980-12-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6240285B2 (ja) | ||
| US5059405A (en) | Process and apparatus for purification of landfill gases | |
| US7766995B2 (en) | Ozone production processes and its use in industrial processes | |
| CA2407923C (en) | Desulfurization apparatus and desulfurization method | |
| NZ554881A (en) | Ozone production processes and its use in industrial processes | |
| US3862295A (en) | Method for sorptive removal of sulfur gases | |
| US4122150A (en) | Process for eliminating diluted sulfur oxides in combustion exhaust gases | |
| JP3924157B2 (ja) | 排煙脱硫システム及び方法 | |
| JPS6038321B2 (ja) | 酸素リサイクル式オゾン発生装置 | |
| HU197226B (en) | Process and apparatus for revovering 1,2-dichloro-ethane from exit gases | |
| US4135891A (en) | Purifying exhaust gases containing organic and inorganic materials | |
| JPS6038322B2 (ja) | 酸素リサイクル式オゾン発生装置 | |
| JP3349802B2 (ja) | 燃料電池シール用窒素ガスの再生方法及び装置 | |
| Sudnick et al. | VOC control techniques | |
| JPS59207807A (ja) | 石炭と反応させる亜硫酸ガス含有ガスの製造方法 | |
| KR20210051620A (ko) | 공해물질을 제거하기 위해 2가철염 조성물 및 이를 이용한 공해물질 제거방법 및 그 장치 | |
| CN112675703A (zh) | 一种挥发性有机物高效处理系统及方法 | |
| JPH0347884B2 (ja) | ||
| KR101767157B1 (ko) | 오염 촉매의 재생 수단이 포함된 일산화탄소와 오염 물질 제거 장치 및 오염 촉매의 재생이 포함된 일산화탄소와 오염 물질 제거 방법 | |
| KR102860459B1 (ko) | 흡착탑 재생시스템 | |
| JPH07213859A (ja) | 排ガス処理装置 | |
| JPS5851881B2 (ja) | 酸素リサイクルオゾン発生方法及び発生装置 | |
| JPH0472573B2 (ja) | ||
| JPH10314764A (ja) | 触媒湿式酸化処理装置の制御方法 | |
| JPH05205759A (ja) | 燃料電池発電プラント |