JPS59104145U - フオトマスク - Google Patents

フオトマスク

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Publication number
JPS59104145U
JPS59104145U JP1982201602U JP20160282U JPS59104145U JP S59104145 U JPS59104145 U JP S59104145U JP 1982201602 U JP1982201602 U JP 1982201602U JP 20160282 U JP20160282 U JP 20160282U JP S59104145 U JPS59104145 U JP S59104145U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
photo mask
thin metal
photomask
metal film
transparent substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1982201602U
Other languages
English (en)
Inventor
奥田　聰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP1982201602U priority Critical patent/JPS59104145U/ja
Publication of JPS59104145U publication Critical patent/JPS59104145U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のフォトマスクの構造を示す断面図、第２
図は第１図のフォトマスクを珀いた露光工程を示す断面
図、第３図はこの考案の一実施例に係るフォトマスクの
構造を示す断面図、第４図は第３図のフォトマスクを用
いた露光工程を示す断面図である。 １１・・・フォトマスク、１２・・・透明ガラス基板、
１３・・・クロムｉ膜、１４・・・透明ガラス膜、１５
・・・シリコンウェハ、１６・・・レジス）、１７．１
８・・・埃。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 透明基板と、この透明基板上に形成された金属薄膜のパ
    ターンと、この金属薄膜上に形成された透明性膜とを具
    備したことを特徴とするフォトマスク。
JP1982201602U 1982-12-27 1982-12-27 フオトマスク Pending JPS59104145U (ja)

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JP1982201602U JPS59104145U (ja) 1982-12-27 1982-12-27 フオトマスク

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1982201602U JPS59104145U (ja) 1982-12-27 1982-12-27 フオトマスク

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59104145U true JPS59104145U (ja) 1984-07-13

Family

ID=30427096

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1982201602U Pending JPS59104145U (ja) 1982-12-27 1982-12-27 フオトマスク

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59104145U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61182042A (ja) * 1985-02-07 1986-08-14 Mitsubishi Electric Corp フオトマスク

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61182042A (ja) * 1985-02-07 1986-08-14 Mitsubishi Electric Corp フオトマスク

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