JPS6039238U - 紫外線洗浄装置 - Google Patents
紫外線洗浄装置Info
- Publication number
- JPS6039238U JPS6039238U JP1983129844U JP12984483U JPS6039238U JP S6039238 U JPS6039238 U JP S6039238U JP 1983129844 U JP1983129844 U JP 1983129844U JP 12984483 U JP12984483 U JP 12984483U JP S6039238 U JPS6039238 U JP S6039238U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support
- ultraviolet lamp
- cleaning equipment
- ultraviolet
- disposed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面は本考案実施例の断面図である。
１・・・装置箱、２・・・灯体、３・・・紫外線ランプ
、４・・・ミラー、６・・・被洗浄体、７・・・支持台
、８・・・加熱部材、９・・・吸入孔、１０・・・排出
孔。
、４・・・ミラー、６・・・被洗浄体、７・・・支持台
、８・・・加熱部材、９・・・吸入孔、１０・・・排出
孔。
Claims (1)
- 紫外線ランプと、この紫外線ランプの背後に近接配置さ
れるミラーと、紫外線ランプによって照射される位置に
配置される被洗浄体支持台と、この支持台の下方にもし
くは支持台と一体に配設される加熱部材と、支持台近傍
に酸素を含むガスを供給する機構とを備えてなる紫外線
洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983129844U JPS6039238U (ja) | 1983-08-24 | 1983-08-24 | 紫外線洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983129844U JPS6039238U (ja) | 1983-08-24 | 1983-08-24 | 紫外線洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6039238U true JPS6039238U (ja) | 1985-03-19 |
Family
ID=30294071
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1983129844U Pending JPS6039238U (ja) | 1983-08-24 | 1983-08-24 | 紫外線洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6039238U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014123769A (ja) * | 2014-03-06 | 2014-07-03 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 紫外線照射装置および紫外線照射方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS503958A (ja) * | 1972-08-18 | 1975-01-16 | ||
| JPS5776846A (en) * | 1980-10-31 | 1982-05-14 | Fujitsu Ltd | Surface treating method for semiconductor |
-
1983
- 1983-08-24 JP JP1983129844U patent/JPS6039238U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS503958A (ja) * | 1972-08-18 | 1975-01-16 | ||
| JPS5776846A (en) * | 1980-10-31 | 1982-05-14 | Fujitsu Ltd | Surface treating method for semiconductor |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014123769A (ja) * | 2014-03-06 | 2014-07-03 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 紫外線照射装置および紫外線照射方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6039239U (ja) | 紫外線洗浄装置 | |
| JPS59183392U (ja) | ロボツトの走行装置 | |
| JPS6058236U (ja) | Ｕｖ照射装置の冷却構造 | |
| JPS5879901U (ja) | 携帯式紫外線照射装置 | |
| JPS606530U (ja) | 紫外線殺菌器のワイパ−装置 | |
| JPS6092535U (ja) | 閃光殺菌装置 | |
| JPS6010648U (ja) | エア−クリ−ナ | |
| JPS5877599U (ja) | トイレのユニツト壁 | |
| JPS5931709U (ja) | 美術鑑賞用枠つき照明器 | |
| JPS583886U (ja) | フラワボツクス固定装置 | |
| JPS6015339U (ja) | タイマ−付き脱臭器 | |
| JPS5862940U (ja) | 家具 | |
| JPS58188908U (ja) | オルゴ−ル付き卓上用ランプ | |
| JPS5946197U (ja) | トイレツト用甲板付ペ−パ−ストツカ− | |
| JPS58158482U (ja) | パネル照明装置 | |
| JPS602536U (ja) | 紫外線洗浄装置 | |
| JPS583832U (ja) | ワゴン | |
| JPS5820551U (ja) | レ−ザ−装置 | |
| JPS60191081U (ja) | 電子機器における表示装置 | |
| JPS59156255U (ja) | 紫外線照射器具 | |
| JPS59110023U (ja) | 排気清浄化装置 | |
| JPS6020249U (ja) | 防煙マスク | |
| JPS60180428U (ja) | オゾン美顔器 | |
| JPS60163623U (ja) | 防爆型蛍光灯器具 | |
| JPS585846U (ja) | 住宅設備機器 |