JPS6039247U - 超伝導集積回路搭載チップ用測定治具 - Google Patents
超伝導集積回路搭載チップ用測定治具Info
- Publication number
- JPS6039247U JPS6039247U JP1983131377U JP13137783U JPS6039247U JP S6039247 U JPS6039247 U JP S6039247U JP 1983131377 U JP1983131377 U JP 1983131377U JP 13137783 U JP13137783 U JP 13137783U JP S6039247 U JPS6039247 U JP S6039247U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chip
- superconducting integrated
- recess
- integrated circuit
- pads
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来のチップテスト装置を示す分解斜視図、第
2図は本考案の一実施例を示す断面図である。 1・・・基台、2・・・配線基板、3・・・位置合せ板
、4・・・入出カフラットケーブル、5・・・バネ容器
、6・・・被測定チップ、7・・・チップ押え板、8・
・・チップ押えネジ、9・・・チップ位置合せ板、10
・・・加圧ブロック、11・・・止め具、12・・・バ
ネ接触子。
2図は本考案の一実施例を示す断面図である。 1・・・基台、2・・・配線基板、3・・・位置合せ板
、4・・・入出カフラットケーブル、5・・・バネ容器
、6・・・被測定チップ、7・・・チップ押え板、8・
・・チップ押えネジ、9・・・チップ位置合せ板、10
・・・加圧ブロック、11・・・止め具、12・・・バ
ネ接触子。
Claims (1)
- 超伝導集積回路とこの回路の電気信号取り出し一用端子
としてのパッドが複数個同一主面上に形成されたチップ
を装着し、上記超伝導集積回路が動作する温度に冷却し
、上記チップに電気信号を送受せしめ上記チップの良否
を判別する超伝導集積回路搭載チップ用測定治具におい
て、底面形状が上記チップの主面筋状にほぼ等しく、か
つ上記チップかよりわずかに大きい凹部を有し、この凹
部の底面に上記チップ上のパッドの配列間隔に等しい間
隔で、バネ接触子が植設され、上記被測定チップを、上
記凹部に、パッドを有する上記主面が上記バネ接触子と
対向して接触する向きに装着し、上記バットと上記バネ
接触子とを密着せしめるための下面形状が上記被測定チ
ップの裏面形状にほぼ等しくかつ下面周囲が切欠された
加圧ブロックを上記凹部に、上記チップに重畳させて挿
入した状態で、上記凹部の側面に設けられた上記加圧ブ
ロックの固定手段により、上記チップ及び上記加圧ブロ
ックを固定することを特徴とする超伝導集積回路搭載チ
ップ用測定治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983131377U JPS6039247U (ja) | 1983-08-25 | 1983-08-25 | 超伝導集積回路搭載チップ用測定治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983131377U JPS6039247U (ja) | 1983-08-25 | 1983-08-25 | 超伝導集積回路搭載チップ用測定治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6039247U true JPS6039247U (ja) | 1985-03-19 |
Family
ID=30297028
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1983131377U Pending JPS6039247U (ja) | 1983-08-25 | 1983-08-25 | 超伝導集積回路搭載チップ用測定治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6039247U (ja) |
-
1983
- 1983-08-25 JP JP1983131377U patent/JPS6039247U/ja active Pending
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