JPS6039302U - 薬液用濾過装置 - Google Patents
薬液用濾過装置Info
- Publication number
- JPS6039302U JPS6039302U JP12843783U JP12843783U JPS6039302U JP S6039302 U JPS6039302 U JP S6039302U JP 12843783 U JP12843783 U JP 12843783U JP 12843783 U JP12843783 U JP 12843783U JP S6039302 U JPS6039302 U JP S6039302U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tank
- stock solution
- filtrate
- filtration device
- chemical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
- Weting (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は、本考案の一実施例のフローチャート、第２図
は本考案に使用するマイクロフィルタの一部断面図であ
る。 １・・・・・・濾過液槽、２・・・・・・原液槽、３′
・・・・・・マイクロフィルタ、４・・・・・・原液供
給管、６・・・・・・濾過液管、７・・・・・・原液回
収管、８，９，１０・曲り句しブ、３４・・・・・・中
空糸状濾過膜。
は本考案に使用するマイクロフィルタの一部断面図であ
る。 １・・・・・・濾過液槽、２・・・・・・原液槽、３′
・・・・・・マイクロフィルタ、４・・・・・・原液供
給管、６・・・・・・濾過液管、７・・・・・・原液回
収管、８，９，１０・曲り句しブ、３４・・・・・・中
空糸状濾過膜。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 薬液中の微粒子を除去するための薬液用濾過装置に
おいて、 濾過済液を貯溜するための濾過液槽と、該濾過液槽から
オーバーフローする薬液をも受容するように配設された
原液槽と、 該原液を濾過するためのフィルタと、 上記原液槽とフィルタのインポートとの間に配設した原
液供給管と、 上記フィルタの原液用アウトポートと上記原液槽との間
に配設した原液回収管と、 上記フィルタの濾過液相アウトポートと濾過液槽との間
に配設した濾過液管と、 少なくとも上記原液回収管に設けられた流量調節用のバ
ルブと、 からなり、 原液中の微粒子量に応じて、上記バルブを調節すること
により、原液の一部を原液槽へ回収して循環濾過し得る
ように設けてなる薬液用濾過装置。 ２ 薬液がエツチング用薬品であり、濾過液槽がエツチ
ング用浸漬槽として用いられてなる前記゛登録請求の範
囲第１項記載の薬液用濾過装置。 ３ フィルタが、モジュールケース内に中空糸状濾過膜
の集束体を内蔵してなる前記登録請求の範囲第１項記載
の濾過装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12843783U JPS6039302U (ja) | 1983-08-22 | 1983-08-22 | 薬液用濾過装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12843783U JPS6039302U (ja) | 1983-08-22 | 1983-08-22 | 薬液用濾過装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6039302U true JPS6039302U (ja) | 1985-03-19 |
Family
ID=30291366
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12843783U Pending JPS6039302U (ja) | 1983-08-22 | 1983-08-22 | 薬液用濾過装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6039302U (ja) |
-
1983
- 1983-08-22 JP JP12843783U patent/JPS6039302U/ja active Pending
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