JPS6039357A - 質量を有する回転スライドを高速往復運動させるためのリニヤモータ - Google Patents
質量を有する回転スライドを高速往復運動させるためのリニヤモータInfo
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- JPS6039357A JPS6039357A JP59149271A JP14927184A JPS6039357A JP S6039357 A JPS6039357 A JP S6039357A JP 59149271 A JP59149271 A JP 59149271A JP 14927184 A JP14927184 A JP 14927184A JP S6039357 A JPS6039357 A JP S6039357A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K33/00—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system
- H02K33/18—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system with coil systems moving upon intermittent or reversed energisation thereof by interaction with a fixed field system, e.g. permanent magnets
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/035—DC motors; Unipolar motors
- H02K41/0352—Unipolar motors
- H02K41/0354—Lorentz force motors, e.g. voice coil motors
- H02K41/0356—Lorentz force motors, e.g. voice coil motors moving along a straight path
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、互に平行に配設された平らな固定子板と、こ
れ等の固定子板の対面側に取り付けられ、その間の空隙
を横切る磁界を形成する永久磁石と、スライドによって
永久磁界内を動かされるコイルとをそなえた、質量を有
する回転子スライドを高速往復運動させるためのりニヤ
モータに関するものである。
れ等の固定子板の対面側に取り付けられ、その間の空隙
を横切る磁界を形成する永久磁石と、スライドによって
永久磁界内を動かされるコイルとをそなえた、質量を有
する回転子スライドを高速往復運動させるためのりニヤ
モータに関するものである。
この種のりニヤモータは、構造は幾らか相違するが、機
能的にはドイツ国特許出願公開公報第1904905号
より公知である。この公開公報のものは、コイルを支持
するスライドが磁石装置外側のレール上に位置している
。
能的にはドイツ国特許出願公開公報第1904905号
より公知である。この公開公報のものは、コイルを支持
するスライドが磁石装置外側のレール上に位置している
。
この種のりニヤモータは、作動ヘッドが比較的僅かな質
量しかもたない、例えば記録、測定または読出し装置等
に適している。その上、スライドの位置決め運動時間は
10− ’秒分である。
量しかもたない、例えば記録、測定または読出し装置等
に適している。その上、スライドの位置決め運動時間は
10− ’秒分である。
用途によっては比較的大きな質量を2〜3ミリ秒内に位
置決めせねばならない場合がある。前記の公知のりニヤ
モータではこれを行うことは不可能である。
置決めせねばならない場合がある。前記の公知のりニヤ
モータではこれを行うことは不可能である。
回転子スライドを1つの休止位置から別の休止位置に2
〜3ミリ秒以内に推移せねばならない1つの用途は、例
えばコンピュータトモグラフィ(C,T)内に生じる。
〜3ミリ秒以内に推移せねばならない1つの用途は、例
えばコンピュータトモグラフィ(C,T)内に生じる。
この場合、例えば放射線フィルタは、120KVと80
KV間を絶えず交番している電圧でレントゲン撮影を行
うために、3.5ミリ秒以内に後方および前方に動かさ
れねばならない。
KV間を絶えず交番している電圧でレントゲン撮影を行
うために、3.5ミリ秒以内に後方および前方に動かさ
れねばならない。
この場合レントゲン撮影は検出器よりの信号の形で行わ
れ、コンピュータ内に記憶される。この機能を果すため
には、放射線フィルタは放射線区域に動かされ、レント
ゲン撮影が行われる3、5ミリ秒の停滞(dwell)
時間の後再び3.5ミリ秒以内に放射線区域から戻され
ねばならない。したがってこの場合のサイクル時間は7
ミリ秒である。
れ、コンピュータ内に記憶される。この機能を果すため
には、放射線フィルタは放射線区域に動かされ、レント
ゲン撮影が行われる3、5ミリ秒の停滞(dwell)
時間の後再び3.5ミリ秒以内に放射線区域から戻され
ねばならない。したがってこの場合のサイクル時間は7
ミリ秒である。
放射線フィルタを3.5ミリ秒以内に動かすためには著
しい力が必要である。特に、十分な磁束を発生ずること
ができるが、他面においては余り重くないコイルをつく
ることが必要である。この2つの要件は相反するもので
ある。
しい力が必要である。特に、十分な磁束を発生ずること
ができるが、他面においては余り重くないコイルをつく
ることが必要である。この2つの要件は相反するもので
ある。
本発明の課題は、回転子スライドで支持された励磁コイ
ルが僅かな重量で大きな電流を流すことができ、この場
合スライドはできる限り摩擦なしに支承されるようにし
た、質量を有する回転子スライドを高速往復運動させる
ためのりニヤモータを形成することにする。
ルが僅かな重量で大きな電流を流すことができ、この場
合スライドはできる限り摩擦なしに支承されるようにし
た、質量を有する回転子スライドを高速往復運動させる
ためのりニヤモータを形成することにする。
本発明は前記の課題を次のようにすることにより解決い
たものである。即ち、板状コイルは、表面に絶縁層を有
するアルミニューム箔を巻回して形成され、このコイル
の軸は回転子スライドの運動方向に対して直角であり、
前記の回転子スライドは、固定子板間の橋絡片を通って
延在するガス軸受は内を導かれるようにする。
たものである。即ち、板状コイルは、表面に絶縁層を有
するアルミニューム箔を巻回して形成され、このコイル
の軸は回転子スライドの運動方向に対して直角であり、
前記の回転子スライドは、固定子板間の橋絡片を通って
延在するガス軸受は内を導かれるようにする。
アルミニュームは銅よりも比重が著しく小さい。
したがって軽量素子に使用するのに特に適している。表
面に絶縁層を有するアルミニューム箔は小さな重量で大
きな電流を流すことができる。箔の断面積が10mm
X 0.1mmで、ターンが130の場合には、コイル
は損傷なしに一時的に32八を流すことができる。この
場合極めて重要なことは、各ターン間の電位差が著しく
小さいということである。
面に絶縁層を有するアルミニューム箔は小さな重量で大
きな電流を流すことができる。箔の断面積が10mm
X 0.1mmで、ターンが130の場合には、コイル
は損傷なしに一時的に32八を流すことができる。この
場合極めて重要なことは、各ターン間の電位差が著しく
小さいということである。
リニヤモータのコイルはドイツ国特許出願公告公報第2
060448号に記載されており、このコイルは、平ら
な陽極酸化アルミニュームワイヤがららせんバネの形に
巻かれていることば注目に値する。
060448号に記載されており、このコイルは、平ら
な陽極酸化アルミニュームワイヤがららせんバネの形に
巻かれていることば注目に値する。
けれども、このらせんバネ状のコイル4は本発明のりニ
ヤモータの板状偏平コイルとは全く異なる特性を有する
。
ヤモータの板状偏平コイルとは全く異なる特性を有する
。
ガス軸受はスライドと固定子間の摩擦を最小限迄低減す
る。この場合、ガス軸受を多孔性カーボンブツシュで形
成し、この多孔性カーボンブツシュを通り抜けてガス媒
体がこのカーボンブツシュ内のスライドの構造部分に押
送されるようにするのが有利である。
る。この場合、ガス軸受を多孔性カーボンブツシュで形
成し、この多孔性カーボンブツシュを通り抜けてガス媒
体がこのカーボンブツシュ内のスライドの構造部分に押
送されるようにするのが有利である。
高い移動速度における加速力および減速力は極めて大き
い。したがって、始動と制動とがモータ取付装置内に著
しい衝撃を生じることがある。このような衝撃を避ける
ために、本発明の実施例では、同様に形成された2つの
りニヤモータが軸方向に並べて配設され、反対方向(r
ec 1proca l Iy )に付勢されるように
する。回転子の反対方向の運動により、モータユニット
内の衝撃は全体として除去される。
い。したがって、始動と制動とがモータ取付装置内に著
しい衝撃を生じることがある。このような衝撃を避ける
ために、本発明の実施例では、同様に形成された2つの
りニヤモータが軸方向に並べて配設され、反対方向(r
ec 1proca l Iy )に付勢されるように
する。回転子の反対方向の運動により、モータユニット
内の衝撃は全体として除去される。
以下に本発明を図面の実施例を参照して詳細に説明する
。
。
2つのりニヤモータ3aと3bが支持体1上に縦方向に
前後して配設されている。リニヤモータ3aは放射線フ
ィルタ5を移動するのに用いられ、一方リニヤモータ3
bは平衡おもり7を動かすのに用いられる。
前後して配設されている。リニヤモータ3aは放射線フ
ィルタ5を移動するのに用いられ、一方リニヤモータ3
bは平衡おもり7を動かすのに用いられる。
リニヤモータ3aは2つの固定子板9と11を有し、こ
れ等の固定子板はその軸方向端13でアルミニュームの
橋絡片15で互に連結されている。固定子板の内側17
には永久磁石板19が取り付けられている。
れ等の固定子板はその軸方向端13でアルミニュームの
橋絡片15で互に連結されている。固定子板の内側17
には永久磁石板19が取り付けられている。
前記の永久磁石板はそれ等の間の空隙21に磁界を形成
するが、その形は第2図で詳細に説明する。
するが、その形は第2図で詳細に説明する。
空隙21内には空心コイル25のスライド23が中心線
27の方向に推移可能に支承されている。プラスチック
のスライド23内にはコイルが収容され、このコイルは
、陽極酸化したアルミニューム箔を巻回したもので、ス
ライド内に平らに収まり、その中心軸は移動方向に対し
て直角である。前記のスライド23は、案内棒29(第
2図も参照)によって空隙21内を推移可能に支承され
ている。前記の案内棒はアルミニュームの橋絡片15を
貫通し、ガス軸受31によりこの橋絡片に摩擦無しに支
承されている。
27の方向に推移可能に支承されている。プラスチック
のスライド23内にはコイルが収容され、このコイルは
、陽極酸化したアルミニューム箔を巻回したもので、ス
ライド内に平らに収まり、その中心軸は移動方向に対し
て直角である。前記のスライド23は、案内棒29(第
2図も参照)によって空隙21内を推移可能に支承され
ている。前記の案内棒はアルミニュームの橋絡片15を
貫通し、ガス軸受31によりこの橋絡片に摩擦無しに支
承されている。
リニヤモータ3aの外側では、案内棒29に、放射線フ
ィルタ5を支持する保持体33が取り付けられる。この
放射線フィルタ5により、放射線源より発散する放射線
ビーム37を放射線円錐39に制限することができる。
ィルタ5を支持する保持体33が取り付けられる。この
放射線フィルタ5により、放射線源より発散する放射線
ビーム37を放射線円錐39に制限することができる。
リニヤモータ3bは、前記の放射線フィルタ5の代りに
平衡おもり7が案内棒29に取り付けられている点板外
はりニヤモータ3aと同しである。作動時には2つのり
ニヤモータは反対方向に付勢される。
平衡おもり7が案内棒29に取り付けられている点板外
はりニヤモータ3aと同しである。作動時には2つのり
ニヤモータは反対方向に付勢される。
第2図は第1図の■−■線に沿ったりニヤモータ3aと
3bの断面を示す。固定子板9と11はその軸方向端で
アルミニュームの橋絡片15によって連結されている。
3bの断面を示す。固定子板9と11はその軸方向端で
アルミニュームの橋絡片15によって連結されている。
固定子板9と11の対面する内側17には永久磁石19
a−19hが取り伺けられている。
a−19hが取り伺けられている。
これ等の永久磁石19a−19hは空隙21に永久磁界
をつくり、この場合、永久磁石19aと19bおよび1
9eと19fはそのN極が空隙21にあるように磁化さ
れている。永久磁石19c、 19d、 19gおよび
19hばS極が空隙21の側でである。このため、リニ
ヤモータの左部分の空隙21の磁界は右部分の空隙21
の磁界と逆向きである。磁界方向の軸をもつコイルは、
付勢されると空隙の磁界中を推移することができる。永
久磁石はサマリウム−コバルトの焼結永久磁石板である
のが好ましい。この種の磁石は極めて強い磁界を発生す
る。
をつくり、この場合、永久磁石19aと19bおよび1
9eと19fはそのN極が空隙21にあるように磁化さ
れている。永久磁石19c、 19d、 19gおよび
19hばS極が空隙21の側でである。このため、リニ
ヤモータの左部分の空隙21の磁界は右部分の空隙21
の磁界と逆向きである。磁界方向の軸をもつコイルは、
付勢されると空隙の磁界中を推移することができる。永
久磁石はサマリウム−コバルトの焼結永久磁石板である
のが好ましい。この種の磁石は極めて強い磁界を発生す
る。
第3図はガス軸受31の詳細を示す。このガス軸受はア
ルミニュームの橋絡片15の孔41に設けられる。この
孔には真鍮スリーブ43が嵌入され、この真鍮スリーブ
は、その外側スリーブ端内の。−リング45により、多
孔性カーボンブツシュ47を保持する。軸受は、前記の
0−リングを真鍮スリーブとカーボンブツシュ間の間隙
に押し付けるねし止めフランジ49によって結合されて
いる。案内棒29はカーボンブツシュ47を通って導か
れる。
ルミニュームの橋絡片15の孔41に設けられる。この
孔には真鍮スリーブ43が嵌入され、この真鍮スリーブ
は、その外側スリーブ端内の。−リング45により、多
孔性カーボンブツシュ47を保持する。軸受は、前記の
0−リングを真鍮スリーブとカーボンブツシュ間の間隙
に押し付けるねし止めフランジ49によって結合されて
いる。案内棒29はカーボンブツシュ47を通って導か
れる。
ガス軸受31は圧縮空気または窒素で幼く。窒素は乾燥
し、また湿気を出すことがないので、好適テ、11.。
し、また湿気を出すことがないので、好適テ、11.。
供給バイブ51は大気圧以上のガスをカーボンブツシュ
に与えるのに用いられる。この供給パイプ51は真鍮ス
リーブ43の環状溝53に導かれる。
に与えるのに用いられる。この供給パイプ51は真鍮ス
リーブ43の環状溝53に導かれる。
この環状溝53はカーボンブツシュ47の外壁55を取
り囲む。ガスが環状溝53に押送されると、ガス分子は
カーボンブツシュ47のカーボンを通り抜け、案内棒2
9の表面とカーボンブツシュの内壁との間に軸受ガス層
59を形成し、この軸受ガス層内を案内棒29が摩擦な
しに導かれる。
り囲む。ガスが環状溝53に押送されると、ガス分子は
カーボンブツシュ47のカーボンを通り抜け、案内棒2
9の表面とカーボンブツシュの内壁との間に軸受ガス層
59を形成し、この軸受ガス層内を案内棒29が摩擦な
しに導かれる。
第1図は本発明のりニヤモータの一実施例の一部断面斜
視図、 第2図は第1図の■−n線におれる断面図、第3図はガ
ス軸受の断面図を示す。 工・・・支持体 3a、3b・・・リニヤモータ5・・
・放射線フィルタ 7・・・平衡おもり9.11・・・
固定子板 15・・・橋絡片19a−19h・・・永久
磁石板 21・・・空隙 23・・・スライド 25・・・コイル 29川案内棒 31・・・ガス軸受 43・・・真鍮スリーブ47・・
・カーボンブソシュ
視図、 第2図は第1図の■−n線におれる断面図、第3図はガ
ス軸受の断面図を示す。 工・・・支持体 3a、3b・・・リニヤモータ5・・
・放射線フィルタ 7・・・平衡おもり9.11・・・
固定子板 15・・・橋絡片19a−19h・・・永久
磁石板 21・・・空隙 23・・・スライド 25・・・コイル 29川案内棒 31・・・ガス軸受 43・・・真鍮スリーブ47・・
・カーボンブソシュ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、互に平行に配設された平らな固定子板と、これ等の
固定子板の対面側に取り付けられ、その間の空隙を横切
る磁界を形成する永久磁石と、スライドによって永久磁
界内を動がされるコイルとをそなえた、質量を有する回
転子スライドを高速往復運動させるためのりニヤモータ
において、板状のコイル(25)は、表面に絶縁層を有
するアルミニューム箔を巻回して形成され、このコイル
の軸は回転子スライド(23)の運動方向に対して直角
であり、前記の回転子スライド(23)は、固定子板(
9,11)間の橋絡片(15)を通って延在するガス軸
受(31)内を導かれることを特徴とするりニヤモータ
。 2、 アルミニューム箔は表面を陽極酸化された特許請
求の範囲第1項記載のりニヤモータ。 3、 アルミニューム箔は10mm X 0.1mmの
断面積を有する特許請求の範囲第1項または第2項記載
のりニヤモータ。 4、各ガス軸受は多孔性カーボンブツシュ(47)より
成り、この多孔性カーボンブツシュを通り抜けてガス媒
体が前記多孔性カーボンブツシュ内のスライド(23)
の構造部分(29)に押送されるようにした特許請求の
範囲第1.2又は3項の何れか1項記載のりニヤモータ
。 5、 同様に形成された2つのりニヤモータ(3a。 3b)が軸方向に並べて配設され、逆方向に付勢するよ
うにされた特許請求の範囲第1項から第4項の何れか1
項記載のりニヤモータ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3326238A DE3326238C2 (de) | 1983-07-21 | 1983-07-21 | Linearmotor zum raschen Hin- und Herbewegen eines massebehafteten Läuferschlittenbauteiles |
| DE3326238.1 | 1983-07-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6039357A true JPS6039357A (ja) | 1985-03-01 |
Family
ID=6204497
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59149271A Pending JPS6039357A (ja) | 1983-07-21 | 1984-07-18 | 質量を有する回転スライドを高速往復運動させるためのリニヤモータ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4618789A (ja) |
| EP (1) | EP0132883A3 (ja) |
| JP (1) | JPS6039357A (ja) |
| DE (1) | DE3326238C2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0984323A (ja) * | 1992-07-24 | 1997-03-28 | Yoshiaki Seshime | リニア振動アクチュエータ |
| JP2001170039A (ja) * | 1999-10-27 | 2001-06-26 | Marconi Medical Systems Inc | Ctスキャナ用ベアリング |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL8502533A (nl) * | 1985-09-17 | 1987-04-16 | Philips Nv | Roentgenscanner met een lineaire electrische aandrijfmotor. |
| DE3823978A1 (de) * | 1988-07-15 | 1990-01-18 | Skf Linearsysteme Gmbh | Linearfuehrung fuer praezisionsmaschinen |
| US5153494A (en) * | 1990-04-06 | 1992-10-06 | International Business Machines Corp. | Ultrafast electro-dynamic x, y and theta positioning stage |
| DE10019226B4 (de) * | 2000-04-18 | 2010-03-18 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co | Elektromechanischer Linearantrieb mit Momentenkompensation |
| JP2002176761A (ja) * | 2000-12-08 | 2002-06-21 | Canon Inc | リニアモータ及び該リニアモータを用いた露光装置 |
| JP4724297B2 (ja) * | 2000-12-26 | 2011-07-13 | キヤノン株式会社 | 露光装置、デバイス製造方法 |
| US6404845B1 (en) | 2001-05-09 | 2002-06-11 | Philips Medical Systems (Cleveland), Inc. | Aerostatic rotor bearing |
| US7336006B2 (en) * | 2002-09-19 | 2008-02-26 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Magnetic actuator with reduced magnetic flux leakage and haptic sense presenting device |
| US7588530B2 (en) * | 2004-07-19 | 2009-09-15 | Marlin Stephen Heilman | Devices, systems and methods for assisting blood flow |
| CN100449915C (zh) * | 2005-04-27 | 2009-01-07 | 天津市索维电子技术有限公司 | 小型无振动直线运动装置 |
| WO2012112378A2 (en) | 2011-02-18 | 2012-08-23 | Vascor Inc. | Blood flow assist systems |
| JP7784303B2 (ja) * | 2019-01-22 | 2025-12-11 | ウオーターズ・テクノロジーズ・コーポレイシヨン | リニアモーター |
| TWI797011B (zh) * | 2022-05-13 | 2023-03-21 | 東佑達自動化科技股份有限公司 | 磁性件及其製法與具有磁性件的懸吊裝置 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3440464A (en) * | 1965-08-02 | 1969-04-22 | Sperry Rand Corp | Electromagnetic apparatus |
| US3374409A (en) * | 1965-09-28 | 1968-03-19 | Atomic Energy Commission Usa | Fast vertical stroke moving coil transducer |
| US3417269A (en) * | 1965-12-15 | 1968-12-17 | Itek Corp | Positioning system with gas bearing moving coil |
| US3599020A (en) * | 1970-02-27 | 1971-08-10 | Ibm | Linear actuator with alternating magnetic poles |
| US3924146A (en) * | 1975-01-27 | 1975-12-02 | California Computer Products | Multiple linear motor positioning system |
| DE2846599A1 (de) * | 1978-10-26 | 1980-04-30 | Basf Ag | Vorrichtung zum positionieren von gegenstaenden geringer masse |
| US4318038A (en) * | 1978-11-15 | 1982-03-02 | Nippon Electric Co., Ltd. | Moving-coil linear motor |
| US4331990A (en) * | 1979-10-18 | 1982-05-25 | Burroughs Corporation | Flat coil linear actuator for multiple transducer arms |
| CA1187924A (en) * | 1981-11-12 | 1985-05-28 | Herbert E. Resnicow | Controlled electric drive (ced) device |
-
1983
- 1983-07-21 DE DE3326238A patent/DE3326238C2/de not_active Expired
-
1984
- 1984-07-12 EP EP84201041A patent/EP0132883A3/de not_active Withdrawn
- 1984-07-12 US US06/630,474 patent/US4618789A/en not_active Expired - Fee Related
- 1984-07-18 JP JP59149271A patent/JPS6039357A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0984323A (ja) * | 1992-07-24 | 1997-03-28 | Yoshiaki Seshime | リニア振動アクチュエータ |
| JP2001170039A (ja) * | 1999-10-27 | 2001-06-26 | Marconi Medical Systems Inc | Ctスキャナ用ベアリング |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3326238A1 (de) | 1985-02-07 |
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| DE3326238C2 (de) | 1986-04-17 |
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| US4618789A (en) | 1986-10-21 |
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