JPS6040212B2 - 屈曲振動変換子 - Google Patents

屈曲振動変換子

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JPS6040212B2
JPS6040212B2 JP13335679A JP13335679A JPS6040212B2 JP S6040212 B2 JPS6040212 B2 JP S6040212B2 JP 13335679 A JP13335679 A JP 13335679A JP 13335679 A JP13335679 A JP 13335679A JP S6040212 B2 JPS6040212 B2 JP S6040212B2
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transducer
piezoelectric ceramic
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vibration
plates
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JPS5657321A (en
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善彦 河西
卓 五雲寺
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Fujitsu Ltd
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Fujitsu Ltd
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Priority to FR7927966A priority patent/FR2441982B1/fr
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0603—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a piezoelectric bender, e.g. bimorph
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H—ELECTRICITY
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    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/24—Constructional features of resonators of material which is not piezoelectric, electrostrictive, or magnetostrictive
    • H—ELECTRICITY
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    • H03H9/46—Filters
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  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、屈曲振動変換子、特に厚みすべりモード圧電
磁器板を屈曲振動変換子の長手方向に連結して構成した
屈曲振動変換子において、残留分極方向が互に逆向さと
なるよう配列した2個の圧電磁器板を長手方向に配列す
るとともに圧電磁器板の対向部を支持することによって
、低入力インピーダンス、広帯域、且つスプリアスが小
さいメカニカル・フィル夕に適した変換子を構成した屈
曲振動変換子に関するものである。
屈曲振動変換子は主として低周波帯において、各種通信
装置や制御装置に用いられるメカニカル・フィル夕を構
成する変換子として使用されている。
メカニカル・フィル夕は超音波を媒体とするフィル夕で
あって、電気信号を−旦機械信号に変換して機械的共振
を利用して猿波した後、再び電気信号として取出す電気
フィル夕である。そして該メカニカル・フィル夕におけ
る電気信号−機械信号への変換や、機械信号−電気信号
への変換には、圧電磁器板を用いた変換子が広く使用さ
れている。従来からこの種の変換子として、第1図に示
す如き変換子が使用されてきた。
即ち、第1図において、1は恒弾性材料からなる弾性板
、2は図示白抜き矢印で示した方向に残留分極をもつ横
効果の圧電磁器板、3,4は夫々リード線を兼ねる支持
線であって変換子を支持するもの、5はリード線を表わ
している。変換子は支持線3,4によって支持されてお
り、支持線3,4をアース端子としてリード線5と支持
線3,4間に交番電気信号を印加することによって、圧
電磁器板2が図示矢印方向に伸長されあるいは図示矢印
と逆方向に圧縮され、図示点線のように変換子全体が湾
曲する屈曲振動が生ずる。
また逆に図示点線のように湾曲された屈曲振動にもとづ
いて、支持線3,4とりード線5との間に電気信号が得
られる。第1図図示の如き変換子は、構造が比較的単純
であって製造が容易であることや、温度変化や経時変化
に対して安定であることなどから、主として低周波狭帯
城フィル夕として使用されている。
しかし、庄電磁器板の長手方向の伸縮振動を利用してい
ることから圧電磁器板の電気−機械結合係数(この場合
k3,)が約0.乳陸度の小さいものとなること、この
ために変換子の容量比(後述のy=Cd/Co)が大き
く、この結果メカニカル・フィル夕は帯城幅の狭いもの
となってしまう。このような変換子を用いて広帯域フィ
ル夕を実現するためには、当該変換子の入出力端に例え
ばLC素子を付加することが必要となりフィルタ全体と
しては大形となりかつ高価となる。第1図図示の変換子
の難点を解決するために本願発明者らは、先に第2図図
示の構成をもつ変換子を発明した。
第2図において、6,7は夫々恒弾性材料からなる弾性
板、8は図示白抜き矢印で示した方向に残留分極をもつ
厚みすべりモード振動を利用した圧電磁器板、9,1川
ま夫々リード線を兼ねる支持線を表わしている。図示の
場合、変換子は支持線9,10によって支えられかつ例
えば支持線9と10との間に交番電気信号が印加される
。
この場合、圧電磁器板8は図示矢印a,b方向にせん断
力を受け、変換子全体は図示点線で示す如き屈曲振動を
生じる。この場合、圧電磁器板8の振動モードは厚みす
べりモード振動が利用されることとなる。厚みすべりモ
ード振動の電気−機械結合係数(この場合k,5)は約
0.60〜0.80となる。このために、変換子の容量
比ッを小さくすることが可能となり、Qが高くかつ広帯
域のメカニカル・フィル夕を提供することができる。第
3図は変換子の一般的な電気的等価回路を表わしており
、い,Co,Roは変換子の直列共振周波数近傍におけ
る等価ィンダクタンス、等価キャパシタンス、等価抵抗
を表わし、Cdは制動容量を表わしている。
変換子の性能は、一般に容量比yと、品質係数Qとで表
わされ、それらは次のように定義される。
即ち、y=Cd/Co Q=のし)/Ro 一方、メカニカル・フィル夕として構成した場合の通過
帯城幅△fは上記容量比yに逆比例する。
即ち、△fのL ツ したがって、上述の如く、第2図図示構成の場合、容量
比yを4・さく選ぶことが可能となることから、通過帯
城幅△fが大きいフィル夕を得ることが可能となる。
第2図図示の構成の場合、上述の如く優れた利点をもっ
ているが、反面上記制動容量Cdが比較的小さい値とな
りまた入力インピーダンスが比較的高い値となる点が欠
点である。
それは本変換子をメカニカル・フィル夕に用いた場合、
制動容量が小さいと外部浮遊容量の影響を受けやすくま
たインピーダンスが高い場合は外部回路と整合をとる上
で問題が多いからである。
このため、第4図に示す構成の変換子を考え出した。第
4図において、図中の符号6,7,9,10は第2図に
対応し、8−0,8一1は夫々図示白抜き矢印で示した
方向に残留分極をもつ厚みすべりモード振動を利用した
圧電磁器板、11はリード線を表わしている。
第4図図示の構成の場合、支持線9,1川こよって与え
られかつ支持線9,10とりード線11との間に交番電
気信号が印加される。
図示の場合、2つの圧電磁器板8一0と8ーーとが夫々
互に逆方向の残留分極をもつように構成されており、こ
のために圧電磁器板8−0と8−1とは夫々矢印A,B
およびC,Dの如きせん断力を受け、第2図図示の場合
と同様に変換子には図示点線の如き屈曲が生ずる。第4
図図示の場合、いわば第2図図示の構造をとりつつ第2
図図示の圧電磁器板8を2分割した構造をもっている。
第4図図示の場合、圧電磁器板8一0と8一1とが電気
的に並列に挿入されたかたちとなり、第3図図示の制動
容量が並列的に存在する形となって(即ち制動容量Cd
を大にとることが可能となって)、入出力インピーダン
スを減少することが可能となる。しかし、一方第3図図
示の等価キャパシタンスCoは上記制動容量Cdを増大
につれて大となり、上述の容量比y即ちCd/Coは実
質上変わりはない。このために、第2図図示の構造の利
点貝0ち広帯域化の利点をそのまま享受できる。第4図
図示の場合、弾性板6と7との長さが等しく選ばれてお
り、このために周波数を機軸にとった場合の変換子の応
答レベルは第5図図示の如く偶数次屈曲振動のモードの
みが現われる形となる。
第4図図示の構成の場合、上述の如く入力インピーダン
スを小に選び得る利点をもっているが、機構上次の難点
をもっている。
即ち、蜘 圧電磁器板8−0と8−1との境界にリード
線11を接続する必要がある。
【B)第4図図示の構造の場合、支持板9と10とは振
動変位が零の位層即ち節点にとりつけられるが第6図に
示す如く横軸に変換子の長さをとり縦軸に振動変位と曲
げモーメント変位とをとると、振動変位が零となる位置
が必ずしも曲げモーメント変位として零とならないこと
が判る。
即ち、第4図図示支持線9と10とに夫々ねじりモーメ
ントが働き、これが変換子に対してスプリアス振動を与
える可能性をもっている。第7図Aはこの点を解決した
本発明の一実施例を示す。
図中の符号6,7,8一0,8ーーは第4図に対応し、
17は支持板であって恒弾性金属で構成されるもの、1
8は支柱を表わしている。図示の場合、支持板17は、
第7図Bに平面図を、また第7図Cに側面図を示す如く
、いわば羽子板状に構成されている。そして、支持板1
7の一面に圧電磁器板8−0が彼着され、他面に圧電磁
器板8−1が被看されており、支柱18によって変換子
全体が支持される。今仮に弾性板6と7とに夫々リード
線X,Yを取付けたとし、1つのりード線X,Yと支柱
18との間に交番電気信号を印加すると第4図図示の場
合と全く同様なものとなる。
そして、この場合、支柱18の位置は第6図からも明ら
かな如く略×=1/2の位置にあって振動変位と曲げモ
ーメント変位とが共に零となる位置にあり、支柱18に
非所望なモーメントや振動が加わることがない。しかも
、支持板17によって2つの圧電磁器板8一0と8−1
とに給電することが可能となる。第7図A図示の変換子
を用いてメカニカル・フィル夕を構成する場合、第7図
A図示のリード線X,Yを必ずしももうける必要はなく
なる。
第8図は、第7図A図示の変換子を用いてメカニカル・
フィル夕を構成した一実施例を示している。図中の符号
6A,6B;7A,7B:8一OA,8−OB:8−I
A,8−IB;17A,17B;18A,18Bは夫々
第7図A図示の符号6,7,8−0.8−1,17,1
8に対応している。また、19は弾性板、20は支持線
、21,22,23,24は夫々結合子、25なし・し
3川ま夫々機械振動子と結合子との連接位置を表わして
いる。そして、31は入力側変換子を構成し、32は出
力側変換子を構成し、33は共振子を構成している。図
示の場合、入力側変換子31と共振子33とは、夫々結
合子21,23によって一般に振動変位が最大となる点
25と27,26と28が機械的に運緩される。
また共振子33と出力側変換子32とは、夫々結合子2
2,24によって、一般に振動変位が最大となる点27
と29,28と30が機械的に連接される。そして、支
柱18Aと支持線20との間に交番電気信号が印加され
、支持線20と支柱18Bとの間から電気信号が出力さ
れる。支柱18Aと支持線20との間に交番電気信号が
印加された場合、結合子21と23とを介して支持線2
0と弾性板6A,7Aとが電気的に短絡される。
この結果、第7図A図示のリード線○,Yと支柱18と
に交番電気信号が印加された形となり、入力側変換子3
1は図示点線の如く振動する。該入力側変換子31の振
動は、結合子21,23を介して共振子33に伝達これ
、共振子33も図示点線の如く振動する。共振子33の
振動は同様に結合子22,24を介して出力側変換子3
2に図示点線の如く伝達され、圧電磁器板8−OBと8
一1Bとに振動が与えられる。この結果、リード線X,
Yと支柱18Bとの間に、出力側変換子32の振動に対
応した電気信号が出力される。なお、第8図においては
、2次屈曲振動モードの場合について説明したが、本発
明はそれに限られるものではない。
以上説明した如く、本発明によれば、厚みすべりモード
圧電磁器板を用いた屈曲振動変換子を提供することがで
き、かつその入力インピーダンスを小に保つことが可能
となる。
また変換子を支持する上での問題点や機構上の問題点を
完全に解決できている。
【図面の簡単な説明】
第1図、第2図、第3図は夫々本発明の前提問題を説明
する説明図、第4図は本発明を適用する構成、第5図は
第4図図示変換子の周波数・応答レベル特性を示す。 また第6図は第4図図示の構成の機構上の問題点を説明
する説明図、第7図A,B,Cは本発明の一実施例構成
、第8図は第7図図示の構成の変換子を用いてメカニカ
ル・フィル夕を構成した場合の一実施例を示す。図中、
6,7は夫々弾性板、8−0,8−1は夫々圧電磁器板
、9,1川ま夫々支持線、11はリード線、17は支持
板、18は支柱、19は弾性板、20‘ま支持線、21
なし、し24は夫々結合子、31は入力側変換子、32
は出力側変換子、33は共振子を表わす。 第1図 第2図 第3図 第4図 第5図 第6図 第7図 第8図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 同一の長さを有する対の弾性板6,7と、該弾性板
    6,7の間に残留分極方向が、該弾性板6,7の長手方
    向とは直角な方向でかつ互いに逆向きとなるように配列
    した少なくとも2個の厚みすべりモード圧電磁器板8−
    0,8−1と、該厚みすべりモード圧電磁器板8−0,
    8−1間に配置した支持板17とを有し、該支持板17
    と厚みすべりモード圧電磁器板8−0,8−1との間に
    電気信号を印加した該厚みすべりモード圧電磁器板8−
    0,8−1を附勢するようにしたことを特徴とする屈曲
    振動変換子。
JP13335679A 1978-10-13 1979-10-16 屈曲振動変換子 Expired JPS6040212B2 (ja)

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JP13335679A JPS6040212B2 (ja) 1979-10-16 1979-10-16 屈曲振動変換子
DE2945243A DE2945243C2 (de) 1978-11-13 1979-11-09 Biegeschwingungswandler
IT27162/79A IT1124944B (it) 1978-11-13 1979-11-09 Trasduttore elettromeccanico a flessione
FR7927966A FR2441982B1 (fr) 1978-11-13 1979-11-13 Transducteur a flexion
US06/093,208 US4281298A (en) 1978-10-13 1979-11-13 Flexural transducer

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JPS5657321A JPS5657321A (en) 1981-05-19
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