JPS5917563B2 - 屈曲振動変換子 - Google Patents
屈曲振動変換子Info
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- JPS5917563B2 JPS5917563B2 JP13881378A JP13881378A JPS5917563B2 JP S5917563 B2 JPS5917563 B2 JP S5917563B2 JP 13881378 A JP13881378 A JP 13881378A JP 13881378 A JP13881378 A JP 13881378A JP S5917563 B2 JPS5917563 B2 JP S5917563B2
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- Japan
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- transducer
- piezoelectric ceramic
- elastic
- plate
- ceramic plate
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0603—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a piezoelectric bender, e.g. bimorph
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/24—Constructional features of resonators of material which is not piezoelectric, electrostrictive, or magnetostrictive
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/48—Coupling means therefor
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は高安定な恒弾性材料と電気〜機械結合係数の大
きい圧電磁器材料およびハンダ等の接着剤より構成され
、電気的入力信号を機械的出力信号にあるいはこの逆に
変換する音片形および音叉形の屈曲振動変換子に関する
。
きい圧電磁器材料およびハンダ等の接着剤より構成され
、電気的入力信号を機械的出力信号にあるいはこの逆に
変換する音片形および音叉形の屈曲振動変換子に関する
。
屈曲振動変換子は主に低周波帯において、各種通信装置
や制御装置に用いられるメカニカルフィルタ用変換子と
して広く実用化されている。
や制御装置に用いられるメカニカルフィルタ用変換子と
して広く実用化されている。
とくに最近では搬送用通話路変換装置用のチャンネルフ
ィルタに用いられており、今後益々その用途が広がる傾
向にあるー。
ィルタに用いられており、今後益々その用途が広がる傾
向にあるー。
メカニカルフィルタは超音波を媒体とするフィルタで電
気信号を一旦機械信号に換え、沢波したのち出力に再び
電気信号として取り出すものである。
気信号を一旦機械信号に換え、沢波したのち出力に再び
電気信号として取り出すものである。
電気信号を機械信号に、またはこの逆に機械信号を電気
信号に変換するものとしては圧電磁器板を用いた変換子
が最も多く用いられている。
信号に変換するものとしては圧電磁器板を用いた変換子
が最も多く用いられている。
圧電磁器板を用いた変換子をり、C回路で類推した等価
回路は第1図のようになる。
回路は第1図のようになる。
第1図においてLo、Co 、Roは変換子の直列共振
の等価インダクタンス、等価容量、等価抵抗でCdは圧
電磁器板の制動容量である。
の等価インダクタンス、等価容量、等価抵抗でCdは圧
電磁器板の制動容量である。
変換子の性能を示す容量比γ、品質係数Qは(1)、(
2)式の如(定義されている。
2)式の如(定義されている。
2式においてωは変換子の直列共振角周波数である。
一方、メカニカルフィルタの実現可能通過帯域幅Δfは
容量比γに逆比例をする。
容量比γに逆比例をする。
従って容量比γが小さければ広帯域のメカニカルフィル
タが実現できる。
タが実現できる。
従来よりメカニカルフィルタ用として広く実用に供され
ている音片形の屈曲振動変換子は次の2種の構造に分け
られる。
ている音片形の屈曲振動変換子は次の2種の構造に分け
られる。
第2図に音片形屈曲振動変換子の第1の構造を示す。
図において恒弾性材料からなる弾性板1に弾性板の厚み
方向に矢印で示した残留分極3をもつ横効果の圧電磁器
板2を弾性板1の長さ方向上面にノ゛ンダ等の接着剤に
より接合した構造であり、圧電磁器板2および弾性板1
に接続されているリード線6および7間に所定の周波数
の交流電圧を印加すると、圧電磁器板2の伸縮振動によ
り、たとえば矢印4の方向に圧電磁器板2が変位し、こ
れにより変換子は点線5に示す屈曲振動を行なう。
方向に矢印で示した残留分極3をもつ横効果の圧電磁器
板2を弾性板1の長さ方向上面にノ゛ンダ等の接着剤に
より接合した構造であり、圧電磁器板2および弾性板1
に接続されているリード線6および7間に所定の周波数
の交流電圧を印加すると、圧電磁器板2の伸縮振動によ
り、たとえば矢印4の方向に圧電磁器板2が変位し、こ
れにより変換子は点線5に示す屈曲振動を行なう。
この変換子は構造が比較的単純であり製造が容易である
。
。
さらに温度変化、経時変化に対し安定であるなどの利点
から、主に低周波の狭帯域フィルタとして使用されてい
る。
から、主に低周波の狭帯域フィルタとして使用されてい
る。
しかし電気−機械変換を行なう圧電磁器板の伸縮振動の
電気−機械結合係数が約0.3と小さいため変換子の容
量比が太き(、したがって実現できるメカニカルフィル
タの帯域幅は狭くなり、この結果フィルタのインピーダ
ンスも高くなる。
電気−機械結合係数が約0.3と小さいため変換子の容
量比が太き(、したがって実現できるメカニカルフィル
タの帯域幅は狭くなり、この結果フィルタのインピーダ
ンスも高くなる。
メカニカルフィルタの帯域幅を広げる目的や外部回路と
のインピーダンス整合をさせるために、このように容量
比の大きな変換子を用いる場合には入出力側にそれぞれ
り、 Cの電気回路を付加しなげればならない。
のインピーダンス整合をさせるために、このように容量
比の大きな変換子を用いる場合には入出力側にそれぞれ
り、 Cの電気回路を付加しなげればならない。
しかしながらこの付加されるり、Cの電気回路の大きさ
は変換子、共振子および結合子からなる機械振動系の大
きさに比較し、同等か、あるいはそれ以上になるという
問題点がある。
は変換子、共振子および結合子からなる機械振動系の大
きさに比較し、同等か、あるいはそれ以上になるという
問題点がある。
第3図は音片形屈曲振動変換子の第2の構造を示ス。
この変換子はメカニカルフィルタのり、 C電気回路を
除去することができる低容量比の変換子であって、2個
の弾性板8および90間に、残留分極の方向12および
13が異なる2個の縦効果の圧電磁器板10および11
を、残留分極方向が変換子の長さ方向と一致するように
配置し、それぞれ前述の接着剤により接着した構造であ
る。
除去することができる低容量比の変換子であって、2個
の弾性板8および90間に、残留分極の方向12および
13が異なる2個の縦効果の圧電磁器板10および11
を、残留分極方向が変換子の長さ方向と一致するように
配置し、それぞれ前述の接着剤により接着した構造であ
る。
弾性板8および9に固着した2本のリード線17および
18に所定の周波数の交流電圧を印加すると、圧電磁器
板10および110図中矢印14および15に示される
厚みたて振動により変換子は点線16に示す屈曲振動を
行なう。
18に所定の周波数の交流電圧を印加すると、圧電磁器
板10および110図中矢印14および15に示される
厚みたて振動により変換子は点線16に示す屈曲振動を
行なう。
上記変換子に用いる圧電磁器板の厚みたて振動の電気−
機械結合係数は一般に0.5〜0.6と大きいので変換
子の容量比は小さくなり、L、C付加電気回路を用いず
に所望の広帯域特性を有するメカニカルフィルタが得ら
れる。
機械結合係数は一般に0.5〜0.6と大きいので変換
子の容量比は小さくなり、L、C付加電気回路を用いず
に所望の広帯域特性を有するメカニカルフィルタが得ら
れる。
また圧電磁器板10および11をはさんだ弾性板8およ
び9に、図示していないが各々1本の支持線を屈曲振動
の節点に接続すると、面支持線は変換子の機械的支持部
材の役割のほか、前述のリード線の役割も併せ持たせる
ことができ、メカニカルフィルタの故障の原因となり易
い、リード線を除去することができる。
び9に、図示していないが各々1本の支持線を屈曲振動
の節点に接続すると、面支持線は変換子の機械的支持部
材の役割のほか、前述のリード線の役割も併せ持たせる
ことができ、メカニカルフィルタの故障の原因となり易
い、リード線を除去することができる。
しかしながら後者の変換子は前者の変換子に比べ構成部
品数が多いために製造上より多くの工程が必要であって
、さらに2個の圧電磁器板の残留分極方向を互いに逆向
きとなるように注意しなげればならない等の問題点があ
る。
品数が多いために製造上より多くの工程が必要であって
、さらに2個の圧電磁器板の残留分極方向を互いに逆向
きとなるように注意しなげればならない等の問題点があ
る。
本発明は前述の屈曲振動変換子の問題点を解消し低容量
比変換子として付加り、C電気回路を除去することがで
きる構造の変換子を提供することを目的とするものであ
って前述の変換子に比べ、特性、機能および製造性の優
れた広帯域メカ−カルフィルタ用の低容量比変換子であ
る。
比変換子として付加り、C電気回路を除去することがで
きる構造の変換子を提供することを目的とするものであ
って前述の変換子に比べ、特性、機能および製造性の優
れた広帯域メカ−カルフィルタ用の低容量比変換子であ
る。
以下図面を参照して本発明の実施例につき詳細に説明す
る。
る。
第4図は本発明の音片形屈曲振動変換子の一実施例を示
す。
す。
第4図において、19および20は恒弾性材料からなる
弾性板であり、2個の弾性板19および20の長手方向
の間に、矢印22方向に分極された圧電磁器板21を分
極方向22が前記2個の弾性板19および20の長手方
向とほぼ直角になるように配置し、さらに圧電磁器板2
10両電極面に対向する弾性板19および200片側端
面をそれぞれハンダ等の接着剤にて縦続に結合した構造
の変換子である。
弾性板であり、2個の弾性板19および20の長手方向
の間に、矢印22方向に分極された圧電磁器板21を分
極方向22が前記2個の弾性板19および20の長手方
向とほぼ直角になるように配置し、さらに圧電磁器板2
10両電極面に対向する弾性板19および200片側端
面をそれぞれハンダ等の接着剤にて縦続に結合した構造
の変換子である。
また26および27は屈曲振動の節点に取付けられた支
持線でありかつリード線の役目をあわせ持っている。
持線でありかつリード線の役目をあわせ持っている。
面支持線26および27に所定の周波数の交流電圧を印
加すると圧電磁器板21は矢印23および24の方向に
厚みすべり振動を行ない、この振動により変換子は点線
25に示す屈曲振動を行なう。
加すると圧電磁器板21は矢印23および24の方向に
厚みすべり振動を行ない、この振動により変換子は点線
25に示す屈曲振動を行なう。
第4図に示す変換子は2個の弾性板19および20の長
さがほぼ等しい場合の図である。
さがほぼ等しい場合の図である。
第5図は第4図の変換子の周波数応答を示す。
図において横軸に周波数を、縦軸に応答レベルを表わす
。
。
28は屈曲第二次振動の共振点を、29は屈曲第4次振
動の共振点を示す。
動の共振点を示す。
なお実際には屈曲第4次振動の共振点より高い周波数領
域で屈曲第6次、第8次等の偶数次振動の共振が現れる
が、本図においてはこれを省略している。
域で屈曲第6次、第8次等の偶数次振動の共振が現れる
が、本図においてはこれを省略している。
本実施例で偶数次振動のみが現われる理由は圧電磁器板
を変換子の長さ方向の中央部に配置したためである。
を変換子の長さ方向の中央部に配置したためである。
第6図に本発明における他の実施例を示す。
図において圧電磁器板32は変換子の長さ方向中心から
偏倚させている。
偏倚させている。
30および31はそれぞれ長さの異なる弾性板、32は
厚みすべり振動をする圧電磁気板である。
厚みすべり振動をする圧電磁気板である。
支持線30′および31′は所望の振動モードの節点に
固着されている。
固着されている。
第7図は第6図の変換子の周波数応答を示す図であり、
図の横軸に周波数を、縦軸に応答レベルを示す。
図の横軸に周波数を、縦軸に応答レベルを示す。
図において33,34,35および36は夫々屈曲第1
次、第2次、第3次および第4次振動の各共振点を示す
。
次、第2次、第3次および第4次振動の各共振点を示す
。
なお第4次振動の共振点より高い周波数領域で奇数次、
偶数次の順で共振点が現われるが本図ではこれを省略し
ている。
偶数次の順で共振点が現われるが本図ではこれを省略し
ている。
次に本発明の屈曲振動変換子の特徴について述べる。
本発明の屈曲振動子の特徴は主として構造上の特徴と特
性上の特徴に分けることができる。
性上の特徴に分けることができる。
(1)構造上の特徴
イ1本発明による変換子は第3図に示した従来の屈曲振
動変換子と同様に弾性板と圧電磁器板を変換子の長手方
向に縦続に連接している。
動変換子と同様に弾性板と圧電磁器板を変換子の長手方
向に縦続に連接している。
口1本発明による変換子は使用する圧電磁器板が1個で
すみ、第3図に示す従来の変換子のように並列に配置し
た2個の圧電磁器板の分極方向に注意する必要がなく、
変換子の製造工程の管理上有利である。
すみ、第3図に示す従来の変換子のように並列に配置し
た2個の圧電磁器板の分極方向に注意する必要がなく、
変換子の製造工程の管理上有利である。
ハ0本発明によればリード線不要の変換rが得られる。
すなわち、2個の弾性板に固着する支持線を変換子の所
望の振動モードの節点に選ぶことで支持線にリード線の
機能を併せ持たせることができる。
望の振動モードの節点に選ぶことで支持線にリード線の
機能を併せ持たせることができる。
(2)特性上の特徴
イ0本発明による変換子は圧電磁器板の厚みずべり振動
を利用している。
を利用している。
一般に厚みすべり振動の電気−機械結合係数は従来の変
換子で用いている圧電磁器板の伸縮振動や厚みたて1振
動の電気−機械結合係数に比べて大きい。
換子で用いている圧電磁器板の伸縮振動や厚みたて1振
動の電気−機械結合係数に比べて大きい。
従って本発明による変換子は従来の変換子に比べ低容量
比ができるので、LC付加電気回路を用いずに広帯域特
性を有するメカニカルフィルタを得ることができる。
比ができるので、LC付加電気回路を用いずに広帯域特
性を有するメカニカルフィルタを得ることができる。
口0本発明による変換子は低容量比にもかかわらず品質
係数Qが3000以上と大きい。
係数Qが3000以上と大きい。
なお本発明の変換子と同等の容量比を有するランジュバ
ン形の捩り振動変換子のQは約 300である。
ン形の捩り振動変換子のQは約 300である。
ハ1本発明による変換子のスプリアス特性は極めて良好
である。
である。
第5図および第7図に示したように、本発明の変換子は
屈曲振動以外の振動がほとんど現われない。
屈曲振動以外の振動がほとんど現われない。
特に圧電磁器板の長さ方向中心を変換子の長さ方向中心
に一致させた第4図の変換子では屈曲偶数次振動のみが
励起されるので所望の屈曲モードのレスポンスに隣接す
る屈曲モードの共振は第5図に示したように相当に離す
ことができる。
に一致させた第4図の変換子では屈曲偶数次振動のみが
励起されるので所望の屈曲モードのレスポンスに隣接す
る屈曲モードの共振は第5図に示したように相当に離す
ことができる。
この結果本発明の変換子をメカニカルフィルタに利用す
ればスプリアス応答の少ないフィルタを実現することが
できる。
ればスプリアス応答の少ないフィルタを実現することが
できる。
以1;に本発明による変換子のさらに他の実施例につい
て述べる。
て述べる。
第8図は弾性板370片側端面に、変換子の長さ方向に
対して略直角に分極された、厚みすべり振動を行なう圧
電磁器板38をハンダ等の接着剤で長手方向に継続接続
した構造とした音片形の屈曲振動変換子である。
対して略直角に分極された、厚みすべり振動を行なう圧
電磁器板38をハンダ等の接着剤で長手方向に継続接続
した構造とした音片形の屈曲振動変換子である。
本変換子は第4図あるいは第6図に示した変換子の一方
の弾性板を除去し、圧電磁器板380弾性板37と接合
させている面と反対側の端面にリード線40を取り付け
たものである。
の弾性板を除去し、圧電磁器板380弾性板37と接合
させている面と反対側の端面にリード線40を取り付け
たものである。
支持線39は所望の振動次数における振動の節点に固着
させ、変換子を支持するとともにリード線40に対する
他方のリード線の機能をする。
させ、変換子を支持するとともにリード線40に対する
他方のリード線の機能をする。
第8図の変換子は第4図、第6図の変換子に比べ構成部
品数が少く、製造が容易である。
品数が少く、製造が容易である。
第9図は圧電磁器板を2個用いたもので、41゜42.
43は弾性板、44,45は圧電磁気板、46.47,
48はリード線の機能をもあわせもった支持線を示す。
43は弾性板、44,45は圧電磁気板、46.47,
48はリード線の機能をもあわせもった支持線を示す。
支持線46および47間に所定の周波数の交流電圧を印
加すると、本変換子は屈曲振動モードで振動し、この振
動は圧電磁器板45により機械−電気変換されて端子4
8および47に電気出力信号として出力される。
加すると、本変換子は屈曲振動モードで振動し、この振
動は圧電磁器板45により機械−電気変換されて端子4
8および47に電気出力信号として出力される。
すなわち1ケの変換子により帯域通過形のフィルタとし
て使用できる。
て使用できる。
なお端子46と48を電気的に共通接続し、これと端子
47との間に電気信号を印加すると第4図、第6図およ
び第8図と同様な変換子としても使用できる。
47との間に電気信号を印加すると第4図、第6図およ
び第8図と同様な変換子としても使用できる。
第10図は音叉形屈曲振動変換子に本発明を適用した例
である。
である。
一般に音叉形振動子は音片形振動子よりも低周波数で動
作可能でありより小形化できることから、音片形振動子
よりも低い周波数において広く使用される。
作可能でありより小形化できることから、音片形振動子
よりも低い周波数において広く使用される。
第10図において49゜50および51は恒弾性材料か
らなる弾性板で、このうち50は2個の腕部を有する
形に形成されている。
らなる弾性板で、このうち50は2個の腕部を有する
形に形成されている。
52および53は厚みすべり振動を行なう圧電磁器板、
56は支持線である。
56は支持線である。
矢印54および55は夫々圧電磁器板の残留分極方向を
示す。
示す。
リード線57.58間に所定の周波数の交流電圧を印加
すると変換子は点線60.61で示すような対称形の振
動モードで振動する。
すると変換子は点線60.61で示すような対称形の振
動モードで振動する。
この振動は圧電磁器板53により機械−電気変換されて
、リード線58および59間に電気出力信号とじて出力
される。
、リード線58および59間に電気出力信号とじて出力
される。
従って第9図の変換子と同様1ケの変換子により帯域通
過形のフィルタとして用いることができる。
過形のフィルタとして用いることができる。
なお端子57と59を電気的に共通接続し、端子58と
の間に電気信号を印加し前述の変換子と同様な動作をさ
せることも可能である。
の間に電気信号を印加し前述の変換子と同様な動作をさ
せることも可能である。
以上詳細に説明したように本発明による屈曲振動変換子
は構成部品数が少なく、構造が単純であって製造性にす
ぐれており、さらに低容量比が得られることから広帯域
メカニカルフィルタが容易に得られるなどの極めて優れ
た効果を奏する。
は構成部品数が少なく、構造が単純であって製造性にす
ぐれており、さらに低容量比が得られることから広帯域
メカニカルフィルタが容易に得られるなどの極めて優れ
た効果を奏する。
第1図は圧電側動形変換子のり、 C回路で類推した等
価回路図、第2図、第3図は従来の屈曲振動変換子の構
造を示す斜視図、第4図、第6図、第8図および第9図
は本発明にかかる音片形屈曲振動変換子を示す斜視図、
第5図および第7図はそれぞれ第4図および第6図に示
す実施例の変換子の周波数応答図、第10図は本発明に
かかる音叉形屈曲振動変換子の実施例を示す斜視図であ
る。 19.20,30,31,37,41,42゜43.4
9,50,51・・・・・・弾性板、21.32゜38
.44,45,52,53・・・・・・圧電磁器板、2
2.54,55・・・残留分極方向。
価回路図、第2図、第3図は従来の屈曲振動変換子の構
造を示す斜視図、第4図、第6図、第8図および第9図
は本発明にかかる音片形屈曲振動変換子を示す斜視図、
第5図および第7図はそれぞれ第4図および第6図に示
す実施例の変換子の周波数応答図、第10図は本発明に
かかる音叉形屈曲振動変換子の実施例を示す斜視図であ
る。 19.20,30,31,37,41,42゜43.4
9,50,51・・・・・・弾性板、21.32゜38
.44,45,52,53・・・・・・圧電磁器板、2
2.54,55・・・残留分極方向。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 恒弾性材料からなる少なくとも1個の弾性板と、厚
みすべり振動モードで電気−機械の信号変換を行なう少
なくとも1個の圧電磁器板とハンダ等の接着剤から構成
される変換子において、前記弾性板と前記圧電磁器板と
を長さ方向に交互に1個ずつ縦続に配置し、かつ前記圧
電磁器板の残留分極方向を前記弾性板の長さ方向とほぼ
直角になるようにし、さらに前記圧電磁器板の電極面を
、該電極面に対向する前記弾性板の片側端面と前記接着
剤にて、音片形状に結合したことを特徴とする屈曲振動
変換子。 2 弾性板、圧電磁器板および接着剤から構成される変
換子において、前記弾性板と前記圧電磁器板とを音叉振
動子の腕部長さ方向に縦続に配置し、かつ前記圧電磁器
板の残留分極方向は腕部を構成する弾性板の長さ方向と
ほぼ直角で振動変位方向とほぼ一致するようにし、さら
に前記圧電磁器板の電極]頚を、該電極面に対向する前
記弾性板の片側端面と前記接着剤により音叉形状に結合
したことを特徴とする屈曲振動変換子。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13881378A JPS5917563B2 (ja) | 1978-11-13 | 1978-11-13 | 屈曲振動変換子 |
| IT27162/79A IT1124944B (it) | 1978-11-13 | 1979-11-09 | Trasduttore elettromeccanico a flessione |
| DE2945243A DE2945243C2 (de) | 1978-11-13 | 1979-11-09 | Biegeschwingungswandler |
| FR7927966A FR2441982B1 (fr) | 1978-11-13 | 1979-11-13 | Transducteur a flexion |
| US06/093,208 US4281298A (en) | 1978-10-13 | 1979-11-13 | Flexural transducer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13881378A JPS5917563B2 (ja) | 1978-11-13 | 1978-11-13 | 屈曲振動変換子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5566117A JPS5566117A (en) | 1980-05-19 |
| JPS5917563B2 true JPS5917563B2 (ja) | 1984-04-21 |
Family
ID=15230833
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13881378A Expired JPS5917563B2 (ja) | 1978-10-13 | 1978-11-13 | 屈曲振動変換子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5917563B2 (ja) |
-
1978
- 1978-11-13 JP JP13881378A patent/JPS5917563B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5566117A (en) | 1980-05-19 |
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