JPS6041071U - スル−ホ−ル検査装置 - Google Patents

スル−ホ−ル検査装置

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Publication number
JPS6041071U
JPS6041071U JP13305683U JP13305683U JPS6041071U JP S6041071 U JPS6041071 U JP S6041071U JP 13305683 U JP13305683 U JP 13305683U JP 13305683 U JP13305683 U JP 13305683U JP S6041071 U JPS6041071 U JP S6041071U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
hole
opening
light
hole inspection
inspection equipment
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP13305683U
Other languages
English (en)
Inventor
柿木　義一
三田　喜久夫
護俊 安藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
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Publication of JPS6041071U publication Critical patent/JPS6041071U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のスルーホール検査装置の概略図、第２図
は本考案に依るスルーホール検査装置の一実施例の概略
図、第３図は第２図の実施例に検出系の各種部品を追加
したブロック図、第４図は第３図の光ガイド部材２０と
しての凹面鏡をプリント板１０上に配置した斜視図、第
５図は第３図の光ガイド部材２０として円筒鏡２６を用
いた変形例であってこれをプリント板１０上に配置した
斜視図である。 、　１０・・・プリント板（電気部材）、１１・・・透
光性基板、１２・・・スルーホール、１２ａ・・・スル
ーホール１２の裏面側開口、１２ｂ・・・スルーホール
１２の欠陥部（導電層１３の欠陥部）、１２ｃ・・・ス
ルーホール１２の表面側開口、１３・・・不透光性導電
層（メッキ層）、１３ａ・・・ラウンド、１４・・・遮
光マスク、１５・・・照明用光源、１５ａ・・・照明光
、１７・・・光センサ、２０・・・光ガイド部材（凹面
鏡、円筒鏡２６）、Ｐ、・・・欠陥漏光、Ｐ２・・・与
スク漏光。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 透光性基板に、不透光性導電層が内壁面に配設形成され
    て成るスルーホールを形成した電気部材における前記ス
    ルーホールの裏面側開口に対向して配置された遮光マス
    クと、該マスクのさらに裏面側に配置された照明用光源
    と、前記スルーホールの表面側開口に対向して配置され
    該開口からの欠陥漏光を検知するための検出系を備えた
    スルーホール検査装置において、前記スルーホールの表
    面側開口部に、該開口外囲を取り囲み該開口からの欠陥
    漏光を前記検出系に導くための内面が鏡面状に形成され
    た略筒状の光ガイド部材を設けたことを特徴とするスル
    ーホール検査装置。
JP13305683U 1983-08-30 1983-08-30 スル−ホ−ル検査装置 Pending JPS6041071U (ja)

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