JPS6041173A - レチクルバ−コ−ドおよびレチクルバ−コ−ドを読み出す方法並びに装置 - Google Patents

レチクルバ−コ−ドおよびレチクルバ−コ−ドを読み出す方法並びに装置

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JPS6041173A
JPS6041173A JP59104381A JP10438184A JPS6041173A JP S6041173 A JPS6041173 A JP S6041173A JP 59104381 A JP59104381 A JP 59104381A JP 10438184 A JP10438184 A JP 10438184A JP S6041173 A JPS6041173 A JP S6041173A
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デビツド・ローゼンザール
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、マイクロリソグラフィ・レチクル用のバーコ
ードに関し、特にエラーチェックの複合レベルを与える
レチクル同定技法に係わる。
半導体集積回路デバイスの製造に於いて一般的にマイク
ロリングラフィとして知られているプロセスによって半
導体層の表面上にパターンが形成される。典型的には、
先ず最初に所望のパターンがレチクルと称されるプレー
トの上に形成される。
例えば、クローム層をガラスサブストレート又はキャリ
アの上にフォトリソグラフィ技法によりエツチングする
ことによってパターンが形成される。
旧来のシステムはしばしばいわゆる密着もしくは近接印
画法を採用していたけれども、近年になってますますレ
チクル上のパターンがウェハの表面上に縮小されたスケ
ールで投影される方法が採用されるようになった。与え
られた半導体装置を製造する連続的なステップの中に複
合レチクルを用いることができ、またこのようなタイプ
の装置が数多（存在しているので、正常でないレチクル
を使用することは、既に拡張的な初期段階のプロセスに
依存する半導体ウェハの全体的な作動を破壊してしまう
ことになる故に、レチクルがその使用に先がけて注意深
くチェックされ同定されることは重要なことである。
レチクルの同定のためにバーコードを使用することが以
前に提案されているが、これまでに用いられてきたコー
ドは、比較的簡単で限定されたコードであるにすぎず、
またこれらのコードはレチクル環境のユニークな特性を
利用することはなくさらにまた自動化された半導体製造
ラインに於いて要求される極端に高度な信頼性を提供す
るものでもなかった。
当業者には理解できることであるが、これまでに開発さ
れた殆んどのバーコード記号化方式は、通常の印刷技術
によってプリン１−されたコードを迅速に読み出す機能
に最も関係の深いものであった。このような環境下に於
いて遭遇する問題の中には、流し込み且つ蓄積すべきイ
ンクのテンデンジ−（性向）の問題がある。初期読み出
しを達成する機能はこのようなコードの設計に於いて重
要であると考えられた。有意性誤り、即ち、ノン１〜リ
ビアル（非自明）なエラーのレー１〜が典型的に受け入
れられた。これらの基準で維持することに於いて、大抵
のバーコードは比較的狭い範囲のバー幅しか使用せずま
たエラー修正機能は殆どもしくは全く使用しなかった。
然しながら、半導体製造に用いられるレチクルの場合に
は、逆の状態が存在する。クロームを用いて、ガラス・
エツチング・プロセスにて作り出される画像は、典型的
に非常に高い解像度と精度とを有しており、また高度の
コントラストを発生する。このシステム、即ち、半導体
製造ラインに要求される事項は、また、いやしくもいが
なるエラーも多大のコストがががってしまうことに於い
て全く類似するものではなく全く別の事態になってしま
う。何故ならば、部分的に製造された半導体ウェハの作
業を処理するために正常でないマスクを使用することは
、全体的な作業製品を使用できない且つ価値のないもの
にしてしまうからである。
本発明の目的は、極端に高い信頼性を有するレチクル・
バーコード・システムを提供すること、いくつかのレベ
ルのエラーチェックを与えるこのようなシステムを提供
すること、レチクルの使用点においてレチクルの同定を
可能にするこのようなシステムを提供すること、動いて
いるレチクルからバーコードを読み出すことを可能にす
るこのようなシステムを提供すること、動作」二高度な
フレキシビリティ−を有するこのようなシステムを提供
すること、そして比較的簡単で費用のかがらない構成に
なっているこのようなシステムを提供することである。
他の目的および特徴は、一部は明白でありまた一部は以
下に説明される。
簡単に述べるならば、本発明に従って構成されたマイク
ロリングラフィレチクルは、一方の側に沿ってレチクル
上のパターンを同定する一連のキャラクタ−を表わすバ
ーコードを取り付けている。
バーコードは、その各々の終端に於いて、静止ゾーンを
含み、また各々の静止ゾーンに近接して、等しい名目幅
と交互の極性を有する一連の予め定められた長さのバー
を具備した同期ブロックを含んでいる。いかなる同定キ
ャラクタ−とも相違している予め選定された終止符キャ
ラクタ−が各々の同期ブロックに近接した所に存在して
いる。同定キャラクタ−は終止符キャラクタ−間の空間
を占有し、そして各々のキャラクタ−は各々の極性を有
する３つのバーを具備しており、各々のバーの幅は名目
幅の整数倍であり、各々のキャラクタ−は名目幅の１０
倍である。
バーコードを読み出す好適な方法に於いて、バー極性の
反転は光電的に検出され、そしてクロック信号のサイク
ツ囲よ連続的な反転が起こる度毎にカラン１〜される。
予め定められた一連の連続したカウントが同期クロック
を構成するように同様の値となっている時には、その名
目値は名目バー幅を表わすものとしてメモリーされ、そ
してキャラクタ−の読み出し動作がその時に起動される
。各々のキャラクタ−に対して、予め定められて極性を
もった名目幅の数が定められ、もしこの数が予め定めら
れたパリティ−と一致しないならば、エラー指示信号が
発せられる。好ましくは、キャラクタ−の１つは、コー
ドの中の他の全てのキャラクタ−から発生させられた試
験的チェック値とその時に比較されうる基準チェック値
を与えるチェックキャラクタ−であり、もし試験的チェ
ック値と基準チェック値とが一致しないならば、エラー
指示信号が発せられる。以下、図面を参照して本発明の
詳細な説明する。対応した参照符号は、図している。
さて、第１図を参照すると、そこで図解されている装置
は、一般的な用語で言えばレチクル１１の像を、半導体
ウェハ１３の表面上に投影する機能をもっている。ウェ
ハは典型的には感光性レジストでコーティングされる。
図解された装置は、一般的には、ウェハが、くり返され
る露光がウェハの表面上でなされる間、Ｘ−Ｙテーブル
１５」二にステップ状に動かされるステップ・アンド・
リピート・カメラとして知られたタイプのものである。
各々の露光を行なう際には、光源１７からの光は、非常
に高い解像度のレンズ・アセンブリー２１によってウェ
ハの表面上に形成されているレチクルの上のパターン像
でもって、コンデンサー・レンズ１９を使ってレチクル
１１を通して向けられる。
色々なパターンを投影することを可能にするために、マ
イクロリングラフィ装置には、レチクル・チェンジャー
２３が設けられる。レチクル・チェンジャー２３は、回
転しうるチェンジャー・アセンブリー２９の上に取り付
けられる一対の往復動じつるフォーク状のレチクル・ホ
ルダー２５．２７を具備している。複数のレチクルの中
のいかなるものも、エレベータ−・メカニズム３３を使
用して位置決めしうるマガジン３１を使ってチェンジャ
ー２３と垂直に配列されるように選択的に位置決めされ
る。
動作中、フォーク状のホルダー２５または２７の一方は
ウェハをマガジン３１の中の選択されたスロッ１−から
退避させ、そしてその時に、アセンブリー２９が回転し
、その結果ホルダーはウェハを露光させるためにレチク
ルを投影カラムの中へ挿入することができる。典型的に
は、同し動作の期間中、予め用いられたレチクルは、フ
ォーク状のレチクル・ホルダーの他方によってカラムか
ら取り除かれて、マガジン３１の中のそれぞれのスロッ
トの方へ引き戻される。当業者には理解される如く、こ
れらのいくつかの動きは典型的には、現在の技術水準の
半導体製造システムに於ける管理コンピューターシステ
ムを使用して制御され、調整される。理論上は、このよ
うなシステムは。
一度システムが正しく設定されると、各々のレチクルを
完全に追跡し目録を作ることができるが、これを実施し
てみると、レチクルをシステムに利用する直前に各々の
レチクルの同定を決定するレチクル同定技法を提供する
ことが高度に当を得たことであることが判かる。
図解された実施例に於いて、光源３５は、それがマガジ
ンから退避させられる時に、レチクルを通して輝くよう
に位置決めされ、そして、光電検知器３７はバーコード
を通して伝送されてくる光の強度を検知するために設け
られる。このセンサー検知システムはレチクル・チェン
ジャーのマガジン側に示されているが、それは同様に投
影カラムに近接したレチクル・チェンジャーの側に位置
しうろことも理解されよう。
当業者によって容易に理解される如く、光源３５と光電
検知器は、バーコードに於ける極性の変化を検知するた
めの手段を提供するものである。
図示された実施例に於いて、伝達しうる領或は一方の極
性であり、そして、不透明な領域は他方の極性であると
考えられる。もし光源と検知器が同一の側にあったとす
ると、２つの極性は反射しうるものおよび吸収しうるも
のとして定義されることになるであろう。より詳細なこ
とが以下に説明される如く、システムが給体的な極性よ
りもむしろ殆ど極性反転のタイミングにのみ依存するの
で、どちらの極性がどちら（バイナリ−”１″またはバ
イナリ−″ゼロ″）であるかという事に関してはさして
重要なことではない。
レチクルがマガジンから退避させられる時に、バーコー
ドを作り上げている個々のバーの幅が回路４１で測定さ
れる。特別な目的の回路４１により行なわれる測定法は
、以下により詳細に記述されるハンドシェーク技法によ
って提供される。当業者によって理解される如く、コン
ピューター４３は、典型的には、プロセス変数が一時的
ベースに基づいてメモリーされるランダムアクセスメモ
リー（ＲＡＭ）４５を含んでおり、また、全体的なシス
テム・コマンドが受け入れられるオペレーターコンリー
ル、およびプログラムとデータがロードされ、そして処
理されて記録が長期間ベースに基づいてメモリーされる
ディスク・ストレージ装置への接続部分をも含んでいる
。
本発明の実施に従って利用されるフォントは、エラーに
対する高度の防禦性をもたらすためにエラーチェックの
複合レベルを与える間に、レチクルの上に利用できる正
確な画像品質の利点をうるべく斬新に構成されている。
全体的なバーコード・ストリップが第５図に示されてい
る。この図から理解される如く、このようなストリップ
は１通常は正方形に形成されたレチクル・プレートの一
方の端縁に沿って、即ち、そのコードが同定されるよう
に意図された電子デバイスパターンの一方の側に与えら
れる。第５図を参照すると、コードは各々の端に於いて
静止ゾーンを含んでいる。これらは参照符号５１および
５３によって指定される。
各々の静止ゾーンに近接した所に同期ブロック５５およ
び５７が存在する。同期ブロック５５および５７は対称
形であり、それらの各々は各々の極性の３つのバーを具
備している。そしてこれらのバーはユニット幅または名
目幅を表わすものである。容易に理解できる如く、これ
らのブロックは対称形であり、そしてそれによって、い
ずれの方向に於けるコードの読み出しをも容易にする。
以下により詳細に述べら九る如く、同期ブロックはユニ
ット幅のその各々のバーが光電センサー３７を横切るよ
うになした名目幅または時間を達成するために利用され
る。
同期ブロックの間には、複数のキャラクタ−・セルが存
在する。各々のキャラクタ−・セルは１０ケのユニット
の幅となっており、そして、各々の極性の３つのバーを
含むものである。さらに、各々のセルは、第１の予め定
められた極性のバーでもって開始し、反対極性のバーで
終了する。かくして、バーコードは、文字相互間のスペ
ーシングがキャラクタ−・セルの中のスペーシングと同
一の規制に従わなければならないという事に於いて、連
続するものとして従来から言及されたタイプのものであ
る。然しながら、マイクロリソグラフィ・レチクルの前
後関係に於いて、この規制はこの様なレチクルに文学的
に形成する場合の高精度に因る煩わしさが最小であるこ
とにはならない。
この技法は、利用されうるキャラクタ−コード上にある
限定を課するものである。そしてこれらの限定は、当業
者には容易に理解される如く、実際上はエラーチェック
において冗長性を与えるものである。特に、各々のキャ
ラクタ−が２つのユニット幅またはそれより大きい、少
なくとも１つのバーを有していなければならず、またど
のバーも５ユニット幅よりも大きくなることはありえな
い。然しながら、コードはバー幅のこの５対１の比率を
許容するものである。けれども、他の殆んどのコードと
違って、この高い比率は、全体的に受けられうる程度に
半導体製造に利用されるレチクルに有効な画像の非常に
高い解像度を与えられる。
本発明の実施に従えば、利用されるキャラクタ−コード
はまた、各々のキャラクタ−の中で与えられた極性のユ
ニットバー幅の数が予め定められたパリティ−に従うと
いうことに規制される。従って、各々のキャラクタ−・
セルの中で第２のレベルのエラー検出が利用できる。即
ち、パリティ−チェックは勿論のこと、各々の極性の３
つのバーを存在させるという要求も利用できる。
各々のキャラクタ−・セルの中で、この程度の固有のエ
ラーチェックにもかかわらず、本発明のバーコードは、
半導体製造業者が在庫品の中の各々のレチクルを同定す
るために利用することができる比較的拡張的なキャラク
タ−・セラｌ−を提供するものである。事実上、完全な
英数字セットが第３図および第４図に図解されているよ
うに利用できる。このセットは完全な英数字セットを具
備しているけれども、小文字は十分なＡＳＣＩＩセット
を作るために必要となるようには与えられない。　実際
にレチクル上のパターンを同定するキャラクタ−に加え
て、キャラクタ−セットもまた斬新なスタート・ストッ
プ・キャラクタ−を含んでいる。これらの終止符キャラ
クタ−は第５図によって指定される。全体的なコードで
用いられる最後の形態のキャラクタ−は、また、第５図
に於いて参照符号６７によって指定されたチェック・キ
ャラクタ−を含んでいる。このキャラクタ−はパターン
同定コードに於いて、他の全てのキャラクタ−から計算
され、または発生させられうる試験的なチェックの値に
等しい基準のチェック値を表わす。図解された実施例の
中に用いられている特殊な技法に於いて、全てのパター
ン同定キャラクタ−に相当するバイナリ−の値が合計さ
れ、それから６４の基数で割算される。その際に、剰余
は試験的なチェック値として扱われる。容易に理解でき
ることであるが、コンピューター４３は独立に試験的チ
ェック値を計算することができ、そしてもしその値が基
準チェック値と一致しないならば、エラー指示信号が発
せられる。
バー幅の測定に用いられる実際の回路は、第２Ａ図およ
び第２Ｂ図に図解されている。この図は。
その回路についである部分は詳細に説明し、そして一般
的には色々なロジック機能を遂行するための適切な集積
回路のコンポーネントは、当業者にとっては明白なもの
となろう。例えば、Ｊ−にフリップフロップは標準的な
タイプである７４ＬＳ１０７型のものであり、Ｄタイプ
のフリップフロップは標準的な７４ＬＳ７４型等であり
うる。参照符号８０．８１および８２で指示されたワン
ショット・マルチバイブレータ−は７４ＬＳ１２３型の
ものでありうる。使用されているもっと入り組んだ回路
コンポーネントは以下の説明文に於いて特に同定される
。
色々な内部信号は一貫して分類され、その結果この回路
の詳細な動作は、当業者によって分析されるけＩｔども
、以下の動作に関する全体的な説明は、本発明の実施に
従ってこの回路はキャラクタ−認識アルゴリズムの利用
を容易なものとするような方法を理解するために有益な
ものとなろう。
一般的には、安定した発振器８３（第２Ｂ図）から発生
したクロックパルスが、カウンター８５（第２Ａ図）で
カウントされ、検知器３７によって感知される際の移行
期の間の時間間隔を測る。
カウンター８５によって得られたカウント値は、コンピ
ューターとのインターフェイスに対して与えられる前に
、例えば８６と８７に於いて指示されるような連続的な
ラッチ回路によって２重にバッファーされる。カウンタ
ー８５は、例えば、一対のカスケード接続された７４Ｌ
Ｓ１６３型集積回路を具備しており、一方、ラッチ８６
および８７の各々は、７４Ｌ３３７３タイプのデバイス
を具備している。
光電検知器３７からの信号は、Ｄタイプフリップフロッ
プ７２および一対のＪＫフリップフロップ７３および７
４を具備しているデータ捕捉・同期回路へレベルトリガ
ー７１を介して印加される。
ＪＫフリップフロップ７３および７４から得られる信号
は、コンピューターによって与えられる１ＮＩＴ信号か
ら発せられる信号に沿って、カウンター８５のイネーブ
ルを制御する信号を発生するために、ナントゲート７５
．７６およびノアゲート７７の中に結合される。
図示された実施例に於いて、カウンター８５は８つのス
テージを具備し、即ち、データは本質的にはバイト幅で
あり、そしてクロック・オシレータの周波数はレチクル
の動きの速さに関係して選定され、その結果、カウンタ
ーはいかなる正規の幅の、例えば５つのユニットの幅に
至るまでのバーをも読み出す際に、オーバーフローする
ことはないが、静止ゾーンの読み出し期間中オーバーフ
ローする。例えば、１つのバーの単一ユニット幅はタロ
ツク信号の２０カウント値に相当する。カウンター８５
からの○ＦＬＯ（オーバーフロー）信号は、カウンター
８５の歩進を制御するためにＤタイプフリップフロップ
９０の中で使用される。
その結果、カウンターは静止ゾーンを横切る期間中は１
２７の値で停止する。かくして、１２７の読みはユニー
クにも静止ゾーンを同定する。
一般的に、第２図の回路は、その中でフリップフロップ
８１および８２（第２Ｂ図）がプログラム・カウンター
を構成するステーＩ・マシンを具備し、また、ゲート群
８４は、図面の中で同定されラム・デコーダを具備して
いる。このステートマシンは、コンピューターにバー幅
測定回路４１によって連続的に発生させられたバー幅測
定値を受信させ、それをメモリーさせることを可能にす
るように以下のコンピューターとのハンドシェークを与
えるものである。
ＢＩＮＴ信号は、幅を表わす値（ＤＡＴＡ）が″レディ
ー″の状態にあることを示す信号をコンピューターに送
り込むためのタイミング回路によって発生させられるイ
ンターラブド信号である。ＢＩＮＴはコンピューターに
よってＩＮＩＴ信号を介してイネーブルされる。ＢＩＮ
Ｔ信号が発せられると、コンピューターは、他の事項で
占有されているような不都合が生じていない場合には、
ＢＡＣＫ信号に応答する。
ＢＡＣＫは、コンピューターのパラレルインターフェー
スをラッチ８７の内容でロードし、そしてラッチ８６の
内容をラッチ８７へ転送するために次のＢＩＮＴをイネ
ーブルする。
もし、ＢＡＣＫが第２のＢＩＮＴの前しこ発生しないな
らば、 ａ）ラッチ８６からラッチ８７への転送しよ。
次のＢＡＫＣによって読みとられるべく、十分長い時間
、ラッチ８７の内容を貯えるためしこインヒビット（禁
止）される。
ｂ）その際に、ＢＡＣＫの立ち下り（土、もう１つのＢ
ＩＮＴを瞬時に発生させ、そして、カウンターの中の値
がラッチ８６へと転送される前しこラッチ８６からラッ
チ８７への転送をイネーブルする。他の場合には、この
転送は、ＢＩＮＴ４二沿ってデータが変化する際に行な
われる。
もしＢＡＣＫが第３のＢＩＮＴの前に発生しなければ、
ＬＡＴＥのフラッグがセットされ、ＢＩＮＴが以降の試
みの際に再びイネーブルされるまでセットされたままの
状態を維持する。データ（キャラクタ−・インターバル
）は、１つもしく番よそれ以上のインターバルの間消失
する６もし１つだけが消失するような場合には、信頼し
うるエラーの回復がラフ１〜ウエアの中で可能となる。
ｂ）力１なる場合にも、エラーの状態を表わす信号が発
せられる。
適切なアレイの中の連続したバー幅の値をメモリーする
ことによって、コンピューター４３は、その際に、全体
的なバーコードを作り上げる連続したキャラクタ−を認
識するために、同期ブロックから発生させられる名目幅
の値を利用することができる。もしユニークなスタート
・キャラクタ−もしくはユニークなストップ・キャラク
タ−が消失すると、また、もしいずれかのキャラクタ−
が予め定められたフォントの中に内在するパリティ−の
要求に応じないならば、または、もしチェック・キャラ
クタ−によって与えられるチェック値がコードの中の他
のキャラクタ−の読み出し値から独立に計算されたチェ
ック値とマツチングしないならば、エラー信号が発せら
れる。
前述のことに鑑みて、本発明のいくつかの目的が達成さ
れ、そして他の有益な結果が得ら４しることが理解され
る。
上述の構成に於いて、本発明の範囲を逸脱することなく
、色々な変形を作ることが可能であるので、上述の説明
に含まれ、または、添付された図面に示された全ての事
柄は図解的に、しかも限定された意味にとられることな
く説明されているものと解するべきである。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明による技法を同定するバーコードレチ
クルを使用した集積回路製造に用いられるタイプのマイ
クロリソグラフィ装置の説明図である。 第２Ａ図および第２Ｂ図は、共に、第１図の装置に於い
て使用されたバー幅測定回路の回路図を示すものである
。 第３図および第４図は、本発明の実施に従って用いられ
るバーコードのフォノ１〜を図解したものである。 第５図は、本発明によるバーコードの実例を表わしたも
のである。 １１　・・・・・・・・・・レチクル １３　・・・・・・・・・・半導体ウェハ１５　・・・
・・・・・・・Ｘ−Ｙテーブル１７　・・・・・・・・
・・光源 １９　・・・・・・・・・・コンデンサー・レンズ２１
　・・・・・・・・・・レンズ・アセンブリー２３　・
・・・・・・・・・レチクル・チェンジャー２５；　２
７・・・・・・・・レチクル・ホルダー２９　・・・・
・・・・・・回転しうるチェンジャー・アセンブリー３
１　・・・・・・・・・・マガジン ３３　・・・・・・・・・・エレベータ−・メカニズム
３５　・・・・・・・・・・光源 ３７　・・・・・・・・・・光電検知器４１　・・・・
・・・・・・バー幅測定回路４３　・・・・・・・・・
・コンピューター４５　・・・・・・・・・・メモリー
（ＲＡＭ）５１、５３・・・・・・・・静止ゾーン５５
．５７・・・・・・・・同期ブロック６１　・・・・・
・・・・・スタート・キャラクタ−６３・・・・・・・
・・・・・ストップ・キャラクタ−６７・・・・・・・
・・・・・チェック・キャラクタ−７１・・・・・・・
・・・・・レベル・ｌ−リガー７２．９０　・・・・・
・・・・・Ｄタイプフリップフロップ７３．７４　・・
・・・・・・・・ＪＫフリップフロップ７５．７６　・
・・・・・・・・・ナントゲート７７　・・・・・・・
・・・・・ノアゲート８０．８１．８２・・・・・・・
・ワンショット・マルチバイブレータ−８３・・・・・
・・・・・・・発振器 ８４　・・・・・・・・・・・・ゲート群８５　・・・
・・・・・・・・・カウンター８６．８７　・・・・・
・・・・・ラッチ回路代理人　弁理士　守　谷　−

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 （１）集積回路デバイスのマイクロリソグラフィ製造の
    ためのパターンを取り付けたレチクルであって、前記レ
    チクルは、その一方の側に沿って、該パターンを同定す
    る一連の同定キャラクタ−を含むバーコードを有し、前
    記バーコードは、前記コードの各々の端に静止ゾーンと
    、各々の静止ゾーンに近接して等しい名目幅および交互
    の極性を有する一連の予め定められた長さのバーから成
    る同期ブロックと、各々の同期ブロックに近接して前記
    同定キャラクタ−の何れとも異なる予め選定された終止
    符シンボル・キャラクタ−と、前記終止符キャラクタ−
    の間に一連の同定キャラクタ−とをそれぞれ具備してお
    り、前記各々のキャラクタ−は各々の極性を有する３つ
    のバーを具備し、各々のバーの幅は前記名目幅の整数倍
    であり、各々のキャラクタ−は前記名目幅の１０倍とな
    る如く構成した集積回路デバイスのマイクロリソグラフ
    ィ製造のためのパターンを取り付けたレチクル。 （２）各々のキャラクタ−に於ける与えられた極性の幅
    ユニットの数が予め選定されたパリティ−に従う特許請
    求の範囲第１項に記載のレチクル。 （３）前記コードは、前記終止符キャラクタ−の１つに
    近接してチェックキャラクタ−を含み、前記チェックキ
    ャラクタ−は全ての同定キャラクタ−の値の関数となる
    値を有する特許請求の範囲第１項に記載のレチクル。 （４）集積回路デバイスのマイクロリソグラフィ製造の
    ためのパターンを取り付けたレチクルであって、前記レ
    チクルは、その一方の側に沿って、パターンを同定する
    一連の同定キャラクタ−を含んだバーコードを有し、前
    記バーコードは、前記コードの各々の端に静止ゾーンと
    、各々の静止ゾーンに近接して等しい名目幅および交互
    の極性を有する一連の予め定められた長さのバーを持っ
    た同期ブロックと、１つの同期ブロックに近接して前記
    同定キャラクタ−の何れとも異なる終止符キャラクタ−
    である予め選定されたスタート・キャラクタ−と、他の
    同期ブロックに近接して前記同定キャラクタ−の何れと
    も異なる終止符キャラクタ−である予め選定されたスト
    ップ・キャラクタ−と、前記終止符キャラクタ−の間に
    一連の同定キャラクタ−と、前記ストップ終止符キャラ
    クタ−に近接してチェックキャラクタ−とをそれぞれ具
    備しており、前記各々のキャラクタ−は各々の極性を有
    する３つのバーを具備し、各々のバーの幅は前記名目幅
    の整数倍であり、各々のキャラクタ−は前記名目幅の１
    ０倍であり各々のキャラクタ−に於ける与えられた極性
    を有する幅ユニットの数は予め選定されたパリティ−に
    従い、そして前記チェックキャラクタ−は全ての同定キ
    ャラクタ−の値の関数となる値を有するように構成した
    集積回路デバイスのマイクロリングラフィ製造のための
    パターンを取り付けたレチクル。 （５）移動しているレチクル上のバーコードを読み出す
    方法であって、前記方法は、クロック倍化を光電的に検
    出すること、前記クロック信号の予め定められた最大値
    に至るまでのサイクルをカウントし、そして、連続的な
    変化の間に発生するカウント数をインターバル値として
    メモリーすること、前記予め定められた最大値に等しい
    値を読み出した後、値が同様である予め定められた一連
    の連続的カウント値が読み出される時に、それによって
    同期ブロックを構成し、名目変化の間隔を表わす名目値
    をメモリーし、そして各々のキャラクタ−の間隔が名目
    の間隔の１０倍であり各々のキャラクタ−は各々の極性
    を有する３つの変化を持っているキャラクタ−の読み出
    し動作を起動させること、そして、各々のキャラクタ−
    に対して、極性を予め限定された名目の間隔の数を決定
    し、そして、もしこの数が予め定められたパリティ−と
    合致しないならばエラー指示を発生することからなるバ
    ーコード読み出し方法。 ６、移動しているレチクル上のバーコードを読み出す方
    法であって、前記方法は、クロック信号を与えること、
    バーコードを照明し、明暗の変化を光電的に検出するこ
    と、前記クロック信号のサイクルをカウントし、そして
    、連続的な変化の間に発生するカウント数をメモリーす
    ること、予め定められた一連の連続的カウントのカウン
    ト値が同様である時に、それによって同期ブロックを構
    成し１名目の変化の間隔を表わす名目の値をメが各々の
    極性を有する３つの変化を持っているキャラクタ−の読
    み出し動作を起動させること、各々のキャラクタ−に対
    して、極性を予め限定された名目の間隔の数を決定し、
    そして、もしこの数が予め定められたパリティ−と合致
    しないならばエラー指示を発生すること、もし第１のキ
    ャラクタ−が予め選定されたスタート・キャラクタ−と
    合致しないならばエラー指示を発生すること、各々のキ
    ャラクタ−を予め選定されたス１ヘツプ・キャラクタ−
    と比較し、そしてこのようなストップ・キャラクタ−が
    検出された時に近接したキャラクタ−の値を基準チェッ
    ク値として読み出すこと、コードの中の他の全てのキャ
    ラクタ−から試験的チェック値を発生すること、そして
    、もし前記試験的チェック値と基準チェック値とが合致
    しないならばエラー指示を発生することからなるバーコ
    ード読み出し方法。 （７）第２の同期ブロックを構成する最終的な一連の間
    隔の名目の値を予めメモリーされた名目値と比較し、も
    し比較の際の差が予め定められた値を越えるならば可能
    なエラー指示を与えることからなる特許請求の範囲第６
    項し″一記載の方法。
JP59104381A 1983-05-23 1984-05-23 レチクルバ−コ−ドおよびレチクルバ−コ−ドを読み出す方法並びに装置 Pending JPS6041173A (ja)

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