JPS6041807U - 表面検査装置 - Google Patents

表面検査装置

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JPS6041807U
JPS6041807U JP13347083U JP13347083U JPS6041807U JP S6041807 U JPS6041807 U JP S6041807U JP 13347083 U JP13347083 U JP 13347083U JP 13347083 U JP13347083 U JP 13347083U JP S6041807 U JPS6041807 U JP S6041807U
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JP
Japan
Prior art keywords
measured
inspection device
reflected light
position detector
surface inspection
Prior art date
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Pending
Application number
JP13347083U
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Inventor
望月　政彦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図乃至第４図はそれぞれ本考案の第１乃至第４の実
施例を示す構成図である。 Ａ・・・第１の入射光、Ｂ・・・第２の入射光、５・・
・第１の検出器、６・・・第２の検出器。

Claims (6)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）被測定面を照射する投光手段と、上記被測定面か
    らの反射光を斜反射光成分として検出する位置に設けら
    れる第１の位置検出器と、同じく上記被測定面からの反
    射光をこの被測定面の法線方向の垂直反射光成分として
    検出する位置に設けられる第２の位置検出器と、上記第
    ２の位置検出器の信号と上記第１の位置検出器の信号か
    ら上記第２の位置検出器の信号に相当する成分を減算し
    た信号とにより上記被測定面の平行移動量と傾きを検出
    する手段とを備えたことを特徴とする表面検査装置。
  2. （２）投光手段は被測定面に対して垂直および斜めの２
    方向からの照射になることを特徴とする実用新案登録請
    求の範囲第１項記載の表面検査装置。
  3. （３）　　投光手段は被測定面に対して斜めの一方向か
    らなり被測定面からの反射光が第１および第２の位置検
    出器方向に分岐されることを特徴とする実用新案登録請
    求の範囲第１項記載の表面検査装置。
  4. （４）被測定面への垂直の、照射は集束スポットめ照射
    にされたことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第２
    項記載の表面検査装置。
  5. （５）集束スポットは被測定面に一定の集束径に保持さ
    れることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第４項記
    載の表面検査装置。
  6. （６）投光手段はレーザ光を投光する装置になることを
    特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項乃至第３項の
    いずれかに記載の表面検査装置。
JP13347083U 1983-08-31 1983-08-31 表面検査装置 Pending JPS6041807U (ja)

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JP13347083U JPS6041807U (ja) 1983-08-31 1983-08-31 表面検査装置

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