JPS6042A - 表面分析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は表面分析装置に関し、特に、固体表面に電子、
イオン、光子（電磁波）等のプローブを衝突させ、それ
によって該表面から出てくるイオン、電子、けい光、Ｘ
線等の信号源を測定して表面状態を分析する装置に関す
る。

（ロ）従来技術 従来のこの種装置は、貞を雰囲俄において計測する装置
の場合、外部から試料を装脱する際、大気圧状態に戻さ
れる。践空室内が一旦大気圧になると、測定のため再び
汽空状態とするだめには排気のため長時間を要し、試料
設置から計測までの時間のうち、計測器１１ｉｎのだめ
の時間がその大半を占め、極めて非能率的であった。

に）　目　的 本発明は上記欠点を除き、計測準備のための排気時間を
現状の排気ポンプのままで短縮ｐＪ能とし、しかも機構
も簡素化された表面分析装置を提供することを目的とす
る。

（ト）構成 上記目的を達成するため本発明の構成は、内部に計測器
が設置されて試料出入口と真空排気口とを持つ計７刑器
室と、前記計測器室の試料出入口と同心で連通ずる第１
試料出入口と外部に対する第２試料出入口および賞空排
気口とを持つ試料室と、前記両室の試料出入口間に接続
されたゲート仕切弁と、該試料室内に設置されて前記第
２試料出入口より試料を受取って…Ｊ紀第１試料出入口
と前記計測器室の試料出入口とを頁°通して前記計測器
室内まで往復移動させるようにした試料移動部とを含む
。

（へ）実施例 以下本発明の〜実施例を含む実施態様を内部転換亀子ス
ペクトル測定式（試料表面から出て来た２次電子の７ベ
クトルを測定する）の装置を例にとって図面にもとづい
て説明する。

図において、本装置は大略的に、内部に計測器２が設置
された計測器室１と、外部から試料Ａが出入される試料
室４と、これら計測器室１と試料室４とを区切るゲート
仕切弁８と、外部からの試料Ａが載置され、この試料Ａ
を前記計測器２と同一鉛直線上まで回動させるだめの回
転テーブル５１からなる試料台５と、該試料Ａを計測器
２まで接近させる昇降円筒６１を備えだ試料移動部６と
を有する。

しかして、計測器室ｌには計測器２の鉛直線下方に軸前
記仕切弁８によシ開閉される連絡口１ａと、側壁に設け
られ排気パルプ１ｃを介して図示外の排気系へ接続され
た排気−口ｌｂとを有する。

試料室４は前記仕切弁８を介して計／ｌＪ’ｌ　ｋＲ室
１の連絡口１ａに連通するようその鉛直下方に設けられ
た第１試料出入口４ａと、該口４ａに対し前記回転テー
プ／Ｌ’５１の軸部に関して対称位置の上方に設けられ
た第２試料出入口４ｂと、側壁に設けられ、排気パルプ
４ｄを介して図が外の排気糸へ接続ぢれた排気口４Ｃと
をゼする。

試料台５は水平円板からなる回転テーブル５１と、該回
転テーブルの中心で鉛直方向に垂下したテーブル支持脚
５２と、該回転テーブル支持脚５２を回転自在に支承す
る支持筒５８ａおよび＋１Ｑｆｆ受５８ｂからなる軸受
部５Ｂと、前記回１賦テーグ）ｖ５１を鉛直軸まわりに
回転させるだめの回転駆動部５４とを持つ。

回転テープ）ｖ５１には＝ｉｌ記第１試料出入口４ａお
よび第２試料出入口４ｂに対向可能で同一円周上の複数
位置に、後記昇降棒６１が貝。

刑可能、かつ、試料Ａ（７）貫通不可能な孔５１ａが設
けられる。また、回転Ｍ動部５４では、′ＦＪｉＩ記テ
ーブル支４１１ｊ４１５２の下部に装着された従動坐歯
車５４ａと、該華歯車５４ａに噛合う駆動傘歯車５４ｂ
をもつ駆動軸５４ｃとが組付けられる。

試料移動部６は上端に試料Ａを載せ、下部に雌ねじが刻
設された昇降棒６１と、該昇降棒６１を鉛直方向に昇降
さぜるだめの奸呻駆動部６２とからなる。弁降！ＷＸ動
部６は、前記昇降棒６１に螺合するねじ棒Ｇ２ａと、そ
れを回転させるための駆動および従動傘歯車６２ｂ、６
２Ｃと、駆＃軸６２ｄとが組付けられたものである。

なお、テーブル５１は、その孔５１ａが第１、第２０４
ａ、４ｂの直下で停止するように、円板５５ａ１ばね５
５ｂ、球５５ｃによる位置決め部５５によシ位置決めさ
れる。

以上において、仕切弁８を閉じ試料室排気バルブ４ｄを
閉じ、第２試料出入口４ｂを開くと共に、テープ／ｖ５
１を回転停止させつつ孔５１ａを覆って上側に試料Ａを
載置する。

ここで回転テープ１ｖ５１は、位１ｄ決め部５５によっ
て、孔５１ａが第１．第２出入口４ａ、４ｂの直下に位
置するよう停止している。

次いで、計測器呈排気バルグＩＣを閉じ、前記排気バル
ブ４ｄを開いて試料室４内を計測器室１と同程度の無空
にしたのち、仕切弁８と排二或バルブＩＣを−いて両室
１，４を同−真空度に１−る。次いで、′　゛　昇 降駆動部６２がＶ、動されると、回転テーブル５１の孔
５１ａを貫通して上昇する昇降棒６１によシ試料Ａが押
し上け゛られ、第１試料出入口４ａ、仕切弁８、連絡口
１ａを経て計測器至１に連ばれ計測器２に接近し、計測
状態となる。

計測が終ると、拭材Ａは昇降駆動軸６２Ｃの逆回転によ
シ試料室４ｔ８で下降され回転テーブル５１上に戻され
、仕切弁３と排気パルプ４ｄが閉じられるとともに回転
テーブル５１が１ピッチｉｊｌｌＯｍＪＬ、次の試料人
が測定体制に入る。なお、デープルに複数個の試料を載
置した場合には、テープ／Ｌ’を１ピツチづつ回転停止
させて、１回の排気によって薩畝個の試料を計測するこ
とができる。

なお、前記移動式試付台５を省Ｉｌ＋ｒ’ｔ　Ｌ、試料
を昇降棒６１の上端に直接又は固定試料台を介して載せ
てもよい。この場合、第２出入口は試料室４の側面に設
けられる。ｌた、前記両室１．４は水平方向に隣接配置
されて水平方向に連通され、水平に長い試料移動棒がｚ
Ｋ平に往復動されてもよい。

更に、回転テーブル５１に代えてコンベアトロッコ等を
利用した直線往復移動方式も適用される。例えばべｐト
コンベアの場合、」１・降棒の貫通を許す細長窓をベル
トの長さ方向に沿って設け、この窓の上側に試料を１置
けばよい。

試料Ａの昇降駆動部６２として、フックと蜘−−ピニオ
ンとの組合せやその他の手段を用いてもよい。

（ト）　効　果 本発明は以上の如く、計測器室と試料室とを区別したこ
とによシ試、ｌ＋室のみを排気すればよく、排気に要す
る時間が大幅に短権されるほか、固短された計測器に対
して試料を移動する方式なので構造が簡単で安価に製造
できる。また、計測器、ゲート仕切弁、試料を同一軸上
に設定１７／こためコンパクト化され、しかもゲート仕
切弁を用いたので試料の移動距離が減少し、試料移動精
度が高くなり、か、Ｉ＼ つ、装匝全伴の容積が歩さくなることによっても排気時
ｔｔｌｌが短節される。

第２図は要部拡大１所面囚である。

Ａ・・・試料、■・・・計測器室、１ａ・・・連絡口、
２・・・計測器、８・・・仕切弁、４・・・試料室、４
ａ・・・第１試料出入口、４ｂ・・・第２試料出入口、
５・・・試料台、５１・・・回転テープ＊、５１ａ・・
・孔、５２・・・テーブル支持脚、５３・・・４置ｍ受
部、５４・・・回転駆動部、５５・・・位置決め都、６
・・・試料移動部、６１・・・昇降棒、６２・・・昇降
！ｔｈ動部、６２ａ・・・ねじ棒代理人　弁理士犬刷新
平

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１ン　内部に計測器が設置されて試料出入口と真空排
   気口とを持つ計測器室と、前記計測器室の試料出入口と
   同心で連通ずる第１試料出入口と外部に対する第２試料
   出入口および真空排気口とを持つ試料室と、前記両室の
   試料出入口間に接続されたゲート仕切弁と、該試料室内
   に設置１′ｌされて前記第２試料出入口よシ試料を受取
   って前記第１試料出入口と前記計測器室の試料出入口と
   を貫通して前記計測器室内まで往復移動させるようにし
   た試料移動部とを含む表面分析装置。 （２ン　前記計測器室と試料室とは上下に配置されてそ
   れらを連通する前記出入口は上下に連通し、前記試料移
   動部は上端に試料を載置した状態で前記出入口を通って
   上下する昇降棒と該昇降棒を鉛直方向に上下させる昇降
   駆動部とを含む特許請求の範囲第１項記載の表面分析装
   置。