JPS604380A - 固体撮像装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、インターライン電荷結合素子型同体撮像素子
（以後ＩＬ−ＣＯＤと略す）を用いた固体撮像装置に関
するものである。

従来例の構成とその問題点 近年、新しい撮像デバイメとして固体撮像素子の研究開
発が活発に行われ、急速に実用化の域に達しつつある。

固体撮像素子を用いたテレビカメラは従来の撮像管方式
のテレビカメラに比べて、長昇命、堅牢性に富む、焼き
付きがない、取扱いが容易である等多くの特徴を有する
。

固体撮像素子にはアレイ状に配置された光電変換素子か
らの信号電荷を、転送により得るＣＣＤ型垂直及び水平
方向に配置されたシフトレジスタから出力される走査パ
ルスにより光電変換素子の位置をアドレスして信号を読
み出す１ｖｌＯ８型等多くの方式がある。その中でテレ
ビカメラとしての固体撮像素子は感度、疑似信号等の諸
性能を考慮すると、インターラインＣＣＤ型固体撮像素
子工Ｌ−ＣＣＤが最も有利であると考えられる。

以下、ＩＬ−ＣＯＤの構成、動作を第１図〜第４図を用
いて説明する。

第１図において１は光電変換素子としてのフォトダイオ
ード、２は垂直転送レジスタであり、この垂直転送レジ
スタは、垂直転送ゲート３，４゜５．６により構成され
ている。７は信号読み出しゲートであり等制約に垂直転
送ゲート３および６と共通となっている。８は垂直転送
パルスの供給端子である。９は水平転送レジスタであり
、この水平転送レジスタは水平転送ゲート１０，１１に
より構成されている。１２は水平転送パルスの供給端子
である０１３は電荷検出部であり、転送されてきた信号
電荷を信号電圧に変換する。電荷検出部１３　ハＡ　常
フローティングディフィージョンアンプ（Ｆｌｏａｔｉ
ｎｇ　Ｄｉｆｆｕｓｉｏｎ　Ａｍｐｌｉｆｉｅｒ）で構
成されている。１４は信号出力端子である。以上の如き
構成のＩＬ−ＣＯＤの動作を次に説明する０ フォトダイオード１は被写体よりの入射光な光電変換し
、信号電荷を得る０光電変換により得られた信号電荷は
、信号読み出しゲート７を介して垂直転送レジスタ２を
構成する垂直転送ゲートへ読み込捷れた後、垂直転送パ
ルス供給端子８より供給された垂直転送パルスにより、
水平転送レジスタ９の方向へ順次転送され、１水平ライ
ン毎に水平転送レジスタ９に転送される。水平転送レジ
スタへ読み込まれた信号電荷は、水平転送パルス供給端
子１２から供給される水平転送パルスにより、電荷検出
部１３へ順次転送され、電荷検出部１３により電圧に変
換され、信号出力端子１４から点順次信号として得られ
る。前記の如き方法により得られた点順次信号を電気回
路により信号処理する事によりテレビジョン信号を得る
。

第２図に前記のＩＬ−ＣＯＤの受光部の平面図を示す。

第２図において、第１図と同一の機能ケ有する部分には
同一の番号を付している。第２図において、１はフォト
ダイオード、２は垂直転送レジスタ、３〜６は垂直転送
ゲートであり、前記直値転送レジスタは４相ＣＣＤ構成
としている。

３はφＶ３．４はφＶ４．５はφＶ１．．６はφＶ２　
である。７は信号読み出しゲートであり、前記信号読み
出しゲート７はフォトダイオード１に対応して垂直転送
ゲート６．４すなわちφＶ２？φｖ４の下方に設けられ
ている。１６は水平方向に画素を分離するためのチャン
ネルストッパーである（実際は読み出しゲート部以外の
フォトダイオード周辺にも設置されている。） 次に、垂直転送段、フォトダイオード、信号読み出しゲ
ート等の関係を第３図ａ、ｂを用いて説明する。

第３図は第２図に示したＡ　−Ａ倍μの断面図である。

第３図ａにおいて、第１図、第２図と同一の機能を有す
る部分には同一の番号を付している。

第３図ａにおいて、固体撮像素子はｎ型基板１６上に２
層１７をエピタキシャル成長させた上に、ｎ＋層１を設
けてＰＮ接合によるフォトダイオードを構成している。

６は垂直転送ゲートであり、前記垂直転送ゲートはｎ一
層１８、ｐ＋層７の上方に配置されている。７は信号読
み出しゲートであり、１８のｎ一層と１７のｐ層との接
合部で埋込みチャンネル型ＣＯＤ即ち垂直転送レジスタ
２が構成されている。１９はフォトダイオード部１以外
の部分に被写体よりの入射光が照射されてスメア等疑似
信号が発生するのを防ぐための遮光用アルミ配線である
。ここで、基板１６とエピタキシャル層１７０間には電
源２ｏにより逆バイアス電圧が印加されている。また１
　、７，８．１３の介拡散層と転送電極６の間は酸化シ
リコンＳｉ○２２１で絶縁されており、また素子の表面
はリンガラスＰＳＧ２２で覆って保護している。第３図
すは第３図ａの各部のポテンシャルの概要を示す図であ
る。第３図すにおいて実線のポテンシャル図は垂直転送
時のポテンシャル図である。チャンネルストッパー領域
１５のポテンシャルは常に一定である。フォトダイオー
ド部１のポテンシャルはダーク状態のポテンシャル■Ａ
から入射光を受けて、信号電荷が満杯になった時のポテ
ンシャルＶＢまでの間の値をとる。垂直転送段１８のポ
テンシャルは、垂直転送ゲート６に垂直転送パルスが印
加されない時のポテンシャルＶｃと垂直転送パルスが印
加された時のポテンシャルＶＤの間の値にとる。捷た信
号読み出しゲート７のポテンシャルは、垂直転送パルス
が垂直転送パルスが垂直転送ゲート６に印加されない時
のポテンシャル■Ｅと印加された時のポテンシャル■Ｆ
の間の値ヲトる。

垂直転送段１８における信号電荷はポテンシャルｖｃと
ＶＤの間を転送される。

次にフォトダイオード１の信号電荷を垂直転送段１８に
読み込む際のポテンシャルを説明する。

信号電荷を垂直転送段１８に読み込むには、垂直帰線期
間中に信号読み出しパルスを垂直転送ゲート６に印加す
る。垂直転送パルスよりも十分大きい信号読み出しパル
スを垂直転送ゲート６に印加すれば、信号読み出しゲー
ト７及び垂直転送段１８のポテンシャルは第３図すの破
線で示した電位となる。すなわち、信号読み出しゲート
のポテンシャルはＶＧ　、垂直転送段１８のポテンシャ
ルはｖＨとなり、フォトダイオード１に蓄積された信号
電荷は信号読み出しパルスが印加されている期間中のみ
垂直転送段１８へ読み出される。前記の如き構成のＩ　
Ｌ−ｃｃＤＫ第４図に示す垂直転送パルスφｖ１〜φｖ
４を第１図に示す垂直転送パルス供給端子８より供給す
れは、第１フイールドにおいては、信号読み出しゲート
とφｖ２が共通となった水平ラインのフォトダイオード
の信号電荷を読み出す。第２フイールドにおいては、信
号読み出しゲートとφ■４が共通となった水平ラインの
フォトダイオードの信号をだＣみ出す。したか−〕て、
信号出力端子１４から得られた信号電圧を電気回路で信
号処理を行えば２：１インターレース走査の行われたテ
レビジョン信号を得る事かできる。ここで第４図に示し
た垂直転送パルスのうち、φｖ２に示したＡ、φ■４　
に示したＢのパルスは信号読み出しパルスである。

ところが、以上説明した垂直転送パルスの関係を持たせ
て２：１インターレース走査を行った場合に２つの問題
点が生じる。

第１の問題点は残像の発生である。前記残像の発生原因
は、第４図から明らかなようにフォトダイオードへの信
号電荷の蓄積時間は、２フィールド期間であるが、信号
電荷の読み出しは１フイールド毎に行われるためである
。したがって撮像中にテレビカメラヲハンした場合など
にば１フイード後の信号電荷が読み出される残像が発生
し、画像のエツジ部が二重に見える。

第２の問題点は、インタレースフリッカ−の発生である
。ビジコン等一般的な撮像管においてはその走査ビーム
のビームは、はぼ円形であり、しかも、走査ビーム径が
本来の走査線幅 第５図に示すように走査ビーム３０が両フィールド分に
！ｆ、たがって走査する。（実際の走査ビームはもっと
大きく電子密度はビーム中心に対してガウス分布してい
る。）したがって走査線相互の境界はボケでいる。すな
わち、垂直方向のＭＴＦは垂直線数以下となっている。

しかしながら、固体撮像素子の場合には第２図に示した
ようにフォトダイオード１が完全に分散、して配置され
ているため撮像管のように走査線相互の境界がボケる事
はない。す々ゎち垂直方向のＭＴＦは垂直走査線数近く
でもほとんど低下しない。したがって垂直方向に輝度信
号が大きく変化した垂直相関の無い被写体像を撮像しモ
ニターＴＶで見ると前記、垂直相関の無い被写体ＷＢ分
ではフィールド毎に信号が大きく変化するために、垂直
エツジ部では見かけ上フリッカ−となって現われ、落ち
着きのない画、質となる。

したがって、前記の欠点を解決する方法と１７でフォト
ダイオードへの信号電荷の蓄積期間を１フィールド期間
とし、信号読み出しをフィールド毎とする事により残像
の発生を無くし、また垂直方向に隣接する２つの水平ラ
インのフォトダイオードの信号電荷を混合して読み出し
フィルド毎に１ラインずらす事によりフォトダイオード
の見かけ上の開口率を大きくし、すなわち撮像管の走査
線と電子ビームの関係の如さにしてインターレースフリ
ッカ−も発生しないＩ　Ｌ−ＣＯＤの１駆動方法が提案
されている。

次に前記のＩＬ−ＣＯＤ駆動方法による固体撮像装置の
従来例を第６図、第７図を用いて説明する。

第６図は従来例におけるＩＬ−ＣＯＤの垂直転送パルス
である。。φＶ１φ■４　は第４図に示したフレーム読
み出しの垂直転送パルスと同一であるが、φＶ２１φ■
４は第１．第２フィールド共に信号読み出しパルスを設
けている。第６図に示す垂直転送パルスを第１図に示す
ＩＬ−ＣＯＤの垂直転送パルス供給端子８のφＶ１φ■
４　供給端子に印加した時の垂直転送段を構成する。垂
直転送ゲートφＶ１（２３）→Ｖ４（２６）におけるポ
テンシャルの概要を第７図に示す。

第７図は第２図に示したＢ−Ｂ’断面のポテンシャルを
示し、各ポテンシャル図は第６図に示したｔ１〜ｔ２゜
の各時間におけるものである。ここで、フォトダイオー
ドから垂直転送段への信号読み込みのメカニズムは第３
図を用いて説明したので省略する。１だポテンシャルの
説明に不必要な遮光用アルミ配線や表面保護膜（ｐｓｃ
ｉ）等は省略している。

第７図において８は垂直転送パルス供給端子、１８は垂
直転送段を構成するｎ−拡散層、２３はφ■１電極２４
はφ■２電極、２６ばφ■３電極、２６はφｖ４電極、
２１は拡散層とφｖ１〜φ■４電極を分離する絶縁層Ｓ
ｉＯ２である。

次に垂直転送パルスφ■１−→■４　を垂直駆動パルス
供給端子８に印加したときの動作を第７図にもとづいて
説明する。

まず、第６図における第１フイールドの垂直帰線期間中
のｔｌ　におけるポテンシャルは第７図ａのｔｌ　に示
す形となるがこの時には信号電荷は存在しない。第７図
においてポテンシャルを示す図の中でバリアとして示し
たものは、固体撮像素子の製造過程において、垂直転送
電極等を形成する時にマスク合せのズレやｎ″″層の拡
散過程等において発生するものであり、本従来例ではφ
■１電極とφｖ２電極の接合部でバリアが発生したもの
としている。このポテンシャルバリアはφ■電極に電圧
が印加されポテンシャルが高くなっている部分ではフリ
ンジ効果等で無視できるため第７図におけるポテンシャ
ル図では、φｖ１．φ■２電極の双方又は一方に’ｊ’
ｌ’ｙ圧が印加された場合では図示していない。尚前記
バリアは固体撮像素子の製造が完全に理想的に行われれ
ば発生しないが、現在の半導体ＩＣプロセス技術ではマ
スク合せ精度等に限界があり殆んど発生する。次に時間
ｔ２　におけるポテンシャルは第７図ａのｔ２に示す形
となる。すなわち信号読み出しパルス電極φｖ２に印加
する事により第２図に示したＰＤｌ、ＰＤ３の信号電荷
Ｑ１．Ｑ３（この場合の信号電荷は電子である）をφｖ
２電極下のパケットに読み込む。（ここでフォトダイオ
ードからφＶ電極下のパケットに読み込むメカニズムは
第３図で説明したので省略する）。

次に時間ｔ３におけるポテンシャルは第７図のｔ　に示
す形となる。この時φ■２電極下の電荷はφ■２．＄ｖ
３電極下に拡散され更にφ■２電極下のポテンシャルが
ｔ　の状態からｔ３の状態へ大きく変化するためｔ３に
示した矢印イの方向のベクトルが電荷に与えられ、その
結果信号電荷Ｑ１の一部はφｖ４電極下に押し込まれる
。次に時間ｔ４になるとφＶ３　ｔφｖ４電極に電圧が
印加されるため、ポテンシャルは第７図のｔ４に示す形
となる。すなわちｔ３のポテンシャル状態から電荷転送
方向に１電極分だけ転送した状態となるため、信号電荷
Ｑ１はφＶ３？φ■４電極下のパケットに集まる。時間
ｔ　におけるポテンシャルは第７図のｔ５に示す形とな
り、第２図に示したＰＤ２　、ＰＤ４の信号電荷０２．
Ｑ４がφｖ４電極下に読み込まれる。この時信号電荷Ｑ
１．Ｑ２は混在するが説明の便＊−）：図のように分離
している一部に時間ｔ６におけるポテンシャルは第７図
のｔ　に示す形となるがφＶ４電極下のポテンシャルが
ｔ６　の状態からｔ６の状態へ大きく変化するためｔ６
　に示した矢印口の方向のベクトルが電荷に与えられ、
その結果信号電荷Ｑ１．Ｑ３の一部はφ■２電極下に押
し込まれる。

この時φ■１．φ■２　電極接合面においてはバリアが
存在するため信号電荷はφｖ１電極下まで移動する事は
ない。

次に時間ｔ７になるとφＶ２１〜３電極に電圧が印加さ
れるため、時間ｔ６の状態から第７図すに示すように電
荷転送方向と逆の方向に１電極分だけ転送した状態とな
り、信号電荷Ｑ、　、Ｑ２ばφＶ２゜φＶ３電極下に集
せる。この状態から時間ｔ８〜ｔ１゜に示すように電荷
転送方向に向って電極１個分つつ転送する。

次に第２フイールドにおける動作全説明する。

第２フイールドにおける垂直帰線期間中の１１１゜ｔ１
２におけるポテンシャルは第７図Ｃの’１１ｔ１２とな
るその動作は第１フイールド同一であるので説明は省略
する。時間ｔ１３においてはφＶ４電極下のポテンシャ
ルはｔ１２の状態からｔ１３の状態−犬きく変化するた
めｔ１３に示した矢印イの方向の−りｌ・ルが電荷に与
えられるが、φｖ１．φ■２接合部におけるバリアが存
在するため信号電荷がφｖ２電極下へ移動する事は無い
○時間ｔ１４では時間ｔ１３から進行方向へ電極１個分
の転送が行われる。次に時間ｔ１５においてφＶ２電極
下のパケットへ信号電荷Ｑ１．Ｑ３を読み込む。次に時
間ｔ１６におけるポテンシャルは第７図Ｃのｔ１６に示
す形となるが、φＶ２電極下のポテンシャルがｔ１５の
状態がらｔ１６の状態へ大きく変化するため矢印口の方
向のベクトルが信号電荷に与えられ、その結果信号電荷
の一部ばφＶ４電極下に押し込まれる。次に時間ｔ１□
においては、φＶ２電極下のポテンシャルか下かり、φ
Ｖ４電極下のポテンシャルが上がるためハに示すベクト
ルが信号電荷に与えられるため、ｔ１６においてφＶ４
電極下にあった信号電荷はｔ４７では第７図ｄに示すよ
うにφＶ３電極下に移動する。次に時間ｔ１８になると
φ■１．φｖ２電極に電圧か印加されｔ１８に示すポテ
ンシャルとなるか、この時にばｔ１□においてφＶ４１
φｖ１電極下に存在した信号電荷ばｔ１８てばφＶ１．
φ■２　電極下に転送されるかｔ１□においてφＶ３電
極下にあった信号電荷（はｔ１８においても移動せずに
その捷１存在する。次に時間ｔ１゜になるとφＶ２？φ
■３電極に電圧が印加されるため時間ｔ１８でφＶ３　
電極下に存在する電荷とφＶ２電極下に存在する電荷が
混合される。以下時間ｔ２゜から順次信号電荷転送方向
に転送され信号電荷として読み出される。

ところが、第７図のｔｌｏ、ｔ２ｏから明らかなように
信号電荷の混合は第１第２フイールドとも殆んど同一の
信号成分となっている。

したがって本従来例においては、フォトダイオードへの
信号電荷の蓄積時間は１フィールド期間であり、信号電
荷の読み出しは１フィールド毎であるため残像の発生は
無いがしかし前述の如く、第１．第２フィールド共に同
一のフォトダイオード信号を混合して読み出すために等
測的に垂直方向の画素数が工となってし甘う。更に第１
．第２フィールド共に殆んど同一の信号成分であるため
、垂直方向に輝度信号が変化した被写体を撮像しモニタ
ーＴＶで見ると、前記輝度信号が垂直方向に変化した垂
直エツジ部において、ジ１．ターとなって現れ落ち着き
のない画質となる。

それ由、前述のＩＬ−ＣＯＤの駆動は初期の目的を達し
ていない。

発明の目的 本発明は上記従来の問題点を解決１〜、残像が無く、イ
ンターレークフリッカ−も無く、シかも垂直方向の解像
度の劣化も殆んと無い固体撮像装置を提供するものであ
る。

発明の構成 上記目的を達成するため本発明は、光電変換素子に対応
して配置された信号読み出しケートと、垂直転送レジス
フを構成する転送ゲ−１・のうち所定の転送ゲートとを
各々等価的に共通接続とした固体撮像装置において、前
記光電変換素子から垂直転送レジスフへ信号電荷を読み
込む際に、フィールド毎に、読み出しゲートの接続され
ていない垂直転送ゲートにも同時に電圧を印加し、その
後、一部の転送ゲートの電圧を除去して、垂直方向に隣
接する光電変換素子の信号電荷を混合し垂直方向、水平
方向に電荷転送して映像信号を時系列に読み出し、残像
、インターレースフリッカ−か無く、垂直解像度も良好
な固体撮像装置を得るものである。

実施例の説明 以下、本発明による固体撮像装置の１実施例を第８図、
第９図を用いて説明する。

第８図は前記ＩＬ−ＣＣＤの不発Ｊ３Ｅ］による垂直転
送パルスである。第１フイールドにおけるφＶ１゜φＶ
２？φＶ３＋φｖ４の各パルスは第２フイールドにおけ
るφＶ３１φ４．ｖｌ、■２と各々等しい。また第各フ
ィールド共、φＶ２＋φ■４に信号読み出しパルスを設
けている。第８図に示す垂直転送パルスを第１図に示す
ＩＬ−ＣＣＤの垂直転送パルス供給端子８のφｖｃ→■
４端子に供給した時の垂直転送段を構成する垂直転送ゲ
ートφＶつ（２３）→Ｖ４（２６）におけるポテンシャ
ルの概要を第９図に示す。第９図において各電極やポテ
ンシャルのバリヤーの存在等は従来例第７図で説明した
ものと同一であるので説明は省略する。

第８図に示した時間ｔｎ　でのポテンシャル概要を第９
図ｔｎ　に対応させて示している。

寸ず第”フィー″ド時間ｔ１では％２・φ’ＩＪ３ｔφ
ｖ４電極下にパケット電極中じるが信号電荷は存在しな
い。時間ｔ２ではフォトダイオードＰＤ１．ＰＤ３の信
号電荷０１．Ｑ３がφＶ２電極下に、ＰＤ２．ＰＤ４の
信号電荷Ｑ２．Ｑ４がφｖ４電極下に読み込まれる。

この時φ■１．φ■３　電極にも電圧が印加されている
ためポテンシャルとしては全体的に高い位置にある。時
間ｔ３でばφｖ１電極下のパケットはなくなりφＶ２−
→ｖ４電極下にパヶソト力汁じており、かっφＶ２＋φ
ｖ４　電極下のポテンシャルは時間ｔ２ノ状態から時間
ｔ３　の状態へ大きく変化するためｔ３に示した矢印イ
の方向のベクトルが電荷に刀えられるため主としてφＶ
３電極下で信号電荷の混合が行われるが、説明の便宜上
各信号電荷を分離して説明する。時間ｔ４　ではφＶ１
．φｖ２電極下のパケットか無くなるために、φＶ３＋
φ■４電極下に信月７１ｊ荷か蓄積される。以後転送−
パルスにより、順次垂直方向、水平方向へ転送し信号出
力とじて得る。

第２フイールドにおける動作は第８図、第９図すに時間
ｔ６〜ｔ１ｏとして示しており動作の基本は第１フイー
ルドと同様であるが第１フイールドてはφＶ２＋φ■４
に読み込んだ信号電荷をφＶ３電極下で混合していたが
、第２フイールドではφＶ２？φｖ４に読み込んだ信号
電荷をφＶ１電極下で混合している。

したがって、第９図すのｔ６？ｔ１０がら明らかなよう
に第１フイールドにおいては第２図に示したフォトダイ
オードＰＤ１とＰＤ２　、　ＰＤ３とＰＤ４の信号電荷
Ｑ１と０２．Ｑ３と０４を混合した信号を読み出し第２
フイールドにおいてはフォトダイオードＰＤ○（図示せ
ず）とＰＤｌ、ＰＤ２とＰＤ３の信号電荷％とＱｌ、０
２と０３の信号電荷のみを混合して読み出す。

固体撮像装置においては前記混合して読み出した信号を
電気回路により信号処理してテレビジョン信号を得てい
る。

以−ト説明したように本発明による垂直転送パルスを用
いれば、垂直方向に隣接する２水平ラインの信号電荷を
完全に混合した後読み出す事ができるＯ 発明の効果 以−ヒ述へたように本発明によると、フォトダイオード
への信号電荷の蓄積時間ば１フィールド期間であり、信
号読み出しもフィールド毎であるため、従来例で述べた
残像は全く発生しない。

捷だ、垂直方向に隣接する２つの水平ラインのフォトダ
イオードの信号電荷を混合して読み出すため、見かけ上
のフォトダイオードの開口率が広くなり、すなわち、撮
像管の走査線と電子ビームの関係の如くなり、インター
レースフリッカ−の発生も皆無となる。

更に、フォトダイオードの信号電荷を混合する際、第１
フイールドと第２フイールドとで、インターレースする
ように信号電荷を混合するため、等測的に撮像管程度の
垂直解像度が得らねるため垂直解像度は全く問題となら
ない。

捷だ、本発明による垂直転送パルスは従来の垂直転送パ
ルスと比較してもその作成方法は複雑にならず、むしろ
簡単である。

【図面の簡単な説明】

第１図（ｒＪ−Ｉ　Ｌ　−ＣＣＤの等価回路、第２図は
ＩＬ−ＣＣＤの平面図、第３図ａばＩＬ−ＣＣＤの断面
図、ｂは第３図ａの各部のポテンシャルの概要を示す図
、第４図は従来のＩＬ−ＣＯＤの垂直駆動パルスを示す
図、第５図は撮像管における走査線と電子ビームの関係
を示す図、第６図は従来例の垂直転送パルスを示す図、
第７図ａ、ｂ。 ｃ、ｄは従来例の垂直転送段のポテンシャルを示す図、
第８図は本発明の固体撮像装置の１実施例における垂直
転送パルスを示す図、第９図ａ、ｂは同実施例における
垂直転送段のポテンシャルを示す図である。 １・・・・・フォトダイオード（光電変換素子）、２・
・・・垂直転送レジスタ、３，４，５．６・・・・・垂
直転送ゲート、７・・・・・信号読出しゲート、８・・
垂直転送パルス入力端子、９・・・・・・水平転送レジ
スタ、１０．１１・・・・・水平転送ゲート、１２・・
・・・水平転送パルス入力端子、１３・・・・・・電荷
検出部、２３・・・・φｖ１電極、２４・・・・・・φ
■２電極、２５・・・・・φｖ３電極、２６・・・・・
・φｖ４電極。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第１
図 色妥想に 第２図 第３図 尤 第７図 第７図 （ｂ） ｚ、−就３Ｌ方向 第７図 （θ１ 私芝方白 第　７［２１１ ＋ｄ） 第９図 （ａ） 斡［３臼 第９図 １ｂ＋ 転送方向

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. アレイ状に配置した光電変換素子群と、複数の転送ゲー
   トから成る垂直転送レジスタ及び、複数の転送ゲートか
   ら成る水平転送レジスタを備え、前記光電変換素子に対
   応して配置された信号読み出しゲートと前記垂直転送レ
   ジスタを構成する転送ゲートの内の所定の転送ゲートと
   を各々等価的に共通接続し、前記光電変換素子から垂直
   転送レジスタへ信号電荷を読み込む際に、フィールド毎
   に、読み出しゲートの接続されていない転送ゲートにも
   同時に電圧を印加し、その後一部の転送ゲートの電圧を
   除去して垂直方向に隣接する光電変換素子の信号電荷を
   混合し、垂直、水平方向に電荷転送して、映像信号を得
   ることを特徴とする固体撮像装置。