JPH0560304B2

JPH0560304B2 -

Info

Publication number: JPH0560304B2
Application number: JP58113079A
Authority: JP
Inventors: Oomichi Tanaka; Yasumi Myagawa; Takafumi Manabe
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1983-06-22
Filing date: 1983-06-22
Publication date: 1993-09-02
Also published as: JPS604381A

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は、インターライン電荷結合素子型固体
撮像素子（以後IL−CCDと略す）を用いた固体
撮像装置に関するものである。

従来例の構成とその問題点近年、新しい撮像デバイスとして固体撮像素子
の研究開発が活発に行われ、急速に実用化の域に
達しつつある。

固体撮像素子を用いたテレビカメラは従来の撮
像管方式のテレビカメラに比べて、長寿命、堅牢
性に富む、焼き付きがない、取扱いが容易である
等多くの特徴を有する。

固体撮像素子にはアレイ状に配置された光電変
換素子からの信号電荷を転送により得るCCD型、
垂直及び水平方向に配置されたシフトレジスタか
ら出力される走査パルスにより光電変換素子の位
置をアドレスして信号を読み出すMOS型等多く
の方式がある。その中でテレビカメラとしての固
体撮像素子は感度、疑似信中等の諸性能を考慮す
ると、インターラインCCD型固体撮像素子（IL
−CCD）が最も有利であると考えられる。

以下、IL−CCDの構成、動作を第１図〜第４
図を用いて説明する。

第１図において１は光電変換素子としてのフオ
トダイオード、２は垂直転送レジスタであり、こ
の垂直転送レジスタは、垂直転送ゲート３，４，
５，６により構成されている。７は信号読み出し
ゲートであり等価的に垂直転送ゲート３および５
と共通となつている。８は垂直転送パルスの供給
端子である。９は水平転送レジスタであり、この
水平転送レジスタは水平転送ゲート１０，１１に
より構成されている。１２は水平転送パルスの供
給端子である。１３は電荷検出部であり、転送さ
れてきた信号電荷を信号電圧に変換する。電荷検
出部１３は通常フローテイングデイフイージヨン
アンプ（Floating Diffusion Amplifier）で構成
されている。１４は信号出力端子である。以上の
如き構成のIL−CCDの動作を次に説明する。

フオトダイオード１は被写体よりの入射光を光
電変換し、信号電荷を得る。光電変換により得ら
れた信号電荷は、信号読み出しゲート７を介して
垂直転送レジスタ２を構成する垂直転送ゲートへ
読み込まれた後、垂直転送パルス供給端子８より
供給された垂直転送パルスにより、垂直方向すな
わち水平転送レジスタ９の方向へ順次転送され、
１水平ライン毎に水平転送レジスタ９に読み込ま
れる。水平転送レジスタへ読み込まれた信号電荷
は、水平転送パルス供給端子１２から供給される
水平転送パルスにより、電荷検出部１３へ順次転
送され、電荷検出部１３により電圧に変換され、
信号出力端子１４から点順次信号として得られ
る。前記の如き方法により得られた点順次信号を
電気回路により信号処理する事によりテレビジヨ
ン信号を得る。

第２図に前記のIL−CCDの受光部の平面図を
示す。第２図において、第１図と同一機能を有す
る部分には同一の番号を付している。第２図にお
いて、１はフオトダイオード、２は垂直転送レジ
スタ、３〜６は垂直転送ゲートであり、前記垂直
転送レジスタは４相CCD構成としている。３は
φ_V3、４はφ_V4、５はφ_V1、６はφ_V2である。７は信
号読み出しゲートであり、前記信号読み出しゲー
ト７はフオトダイオード１に対応して垂直転送ゲ
ート６，４すなわちφ_V2、φ_V4と一部共通して設け
られている。１５は水平方向に画素を分離するた
めのチヤンネルストツパーである（実際は読み出
しゲート部以外のフオトダイオードの周辺にも設
置されている。）。

次に、垂直転送レジスタ、フオトダイオード、
信号読み出しゲート等の関係を第３図ａ，ｂを用
いて説明する。

第３図は第２図に示したＡ−A′部の断面図で
ある。

第３図ａにおいて、第１図、第２図と同一の機
能を有する部分には同一の番号を付している。

第３図ａにおいて、固体撮像素子はｎ型基板１
６上にｐ層１７をエピタキシヤル成長させた上
に、n⁺層１を設けてPN接合によるフオトダイオ
ードを構成している。６は垂直転送ゲートであ
り、前記垂直転送ゲートはn^-層１８、p⁺層７の
上方に配置されている。７は信号読み出しゲート
であり、１８のn^-層と１７のｐ層との接合部で
埋込みチヤンネル型CCD即ち垂直転送レジスタ
２が構成されている。１９はフオトダイオード部
１以外の部分に被写体よりの入射光が照射されて
スメア等疑似信号が発生するのを防ぐための遮光
用アルミ配線である。ここで、基板１６とエピタ
キシヤル層１７の間には電源２０により逆バイア
ス電圧が印加されている。また１，７，８，１３
の各拡散層と転送電極６の間は酸化シリコン
（SiO₂）２１で絶縁されており、また素子の表面
はリンガラス（PSG）２２で覆つて保護してい
る。第３図ｂは第３図ａの各部のポテンシヤルの
概要を示す図である。第３図ｂにおいて実線のポ
テンシヤル図は垂直転送時のポテンシヤル図であ
る。チヤンネルストツパー領域１５のポテンシヤ
ルは常に一定である。フオトダイオード部１のポ
テンシヤルはダーク状態のポテンシヤルV_Aから
入射光を受けて、信号電荷が満杯になつた時のポ
テンシヤルV_Bまでの間の値をとる。垂直転送段
１８のポテンシヤルは、垂直転送ゲート６に垂直
転送パルスが印加されない時のポテンシヤルV_C
と垂直転送パルスが印加された時のポテンシヤル
V_Dの間の値をとる。また信号読み出しゲート７
のポテンシヤルは、垂直転送パルスが垂直転送ゲ
ート６に印加されない時のポテンシヤルV_Eと印
加された時のポテンシヤルV_Fの間の値をとる。
垂直転送段１８における信号電荷はポテンシヤル
V_CとV_Dの間を転送される。

次にフオトダイオード１の信号電荷を垂直転送
段１８に読み込む際のポテンシヤルを説明する。

信号電荷を垂直転送段１８に読み込むには、垂
直帰線期間中に信号読み出しパルスを垂直転送ゲ
ート６に印加する。垂直転送パルスよりも十分大
きい信号読み出しパルスを垂直転送ゲート６に印
加すれば、信号読み出しゲート７及び垂直転送段
１８のポテンシヤルは第３図ｂの破線で示した電
位となる。すなわち、信号読み出しゲートのポテ
ンシヤルはV_G、垂直転送段１８のポテンシヤル
はV_Hとなり、フオトダイオード１に蓄積された
信号電荷は信号読み出しパルスが印加されている
期間中のみ垂直転送段１８へ読み出される。前記
の如き構成のIL−CCDに第４図に示す垂直転送
パルスφ_V1〜φ_VSを第１図に示す垂直転送パルス供
給端子８より供給すれば、第１フイールドにおい
ては、信号読み出しゲートとφ_V2が共通となつた
水平ラインのフオトダイオードの信号電荷を読み
出す、第２フイールドにおいては、信号読み出し
ゲートとφ_V4が共通となつた水平ラインのフオト
ダイオードの信号を読み出す。したがつて、信号
出力端子１４から得られた信号電圧を電気回路で
信号処理を行えば２：インターレース走査の行わ
れたテレビジヨン信号を得る事ができる。ここで
第４図に示した垂直転送パルスのうち、φ_V2に示
したＡ、φ_V4に示したＢの各パルスは信号読み出
しパルスである。

ところが、以上説明した垂直転送パルスの関係
を持たせて２：１インターレース走査を行つた場
合に２つの問題点が生じる。

第１の問題点は残像の発生である。前記残像の
発生原因は、第４図から明らかなようにフオトダ
イオードへの信号電荷の蓄積時間は、２フイール
ド期間であるが、信号電荷の読み出しは１水平ラ
インおきに１フイールド毎に行われるためであ
る。したがつて、撮像中にテレビカメラをパンし
た場合などには１フイールド後の信号電荷が読み
出される残像が発生し、画像のエツジ部が２重に
見える。

第２の問題点は、インターレースフリツカーの
発生である。ビジコン等一般的な撮像管において
は、その走査ビームのビームは、ほぼ円形であり
しかも、走査ビーム径が本来の走査線幅（撮像管の有効画面の長さ／１フレームの走査線数）に
比べて大きい（広がつている）ため、第５図に示すように走査
ビーム３０が両フイールド分にまたがつて走査す
る。なお、実際の走査ビームはもつと大きく電子
密度はビーム中心に対してガラス分布している。
したがつて走査線相互の境界はボケている。すな
わち、垂直方向のMTFは、垂直線数以下となつ
ている。

しかしながら、固体撮像素子の場合には第２図
に示したようにフオトダイオード１が完全に分散
して配置されているため撮像管のように走査線相
互の境界がボケる事はない。すなわち垂直方向の
MTFは垂直走査線数近くでも、ほとんど低下し
ない。したがつて垂直方向に輝度信号が大きく変
化した垂直相関の無い被写体像を撮像しモニター
TVで見ると前記、垂直相関の無い被写体部分で
はフイールド毎に信号が大きく変化するために、
垂直エツジ部では、見かけ上フリツカーとなつて
現われ、落ち着きのない画質となる。

したがつて、前記の欠点を解決する方法として
フオトダイオードへの信号電荷の蓄積期間を１フ
イールド期間とし、信号読み出しをフイールド毎
とする事により残像の発生を無くし、また垂直方
向に隣接する２つの水平ラインのフオトダイオー
ドの信号電荷を混合して読み出し、フイールド毎
に１ラインずらす事によりフオトダイオードの見
かけ上の開口率を大きくし、すなわち撮像管の走
査線と電子ビームの関係の如きにしてインターレ
スフリツカーも発生しないIL−CCDの駆動方法
が提案されている。

次に前記のIL−CCD駆動方法による固体撮像
装置の従来例を第６図、第７図を用いて説明す
る。

第６図は従来例におけるIL−CCDの垂直転送
パルスである。φ_V1，φ_V3は第４図に示したフレー
ム読み出しの垂直転送パルスと同一であるが、
φ_V2，φ_V4は第１、第２のフイールド共に信号読み
出しパルスを設けている。第６図に示す垂直転送
パルスを第１図に示すIL−CCDの垂直転送パル
ス供給端子８のφ_V1〜φ_V4供給端子に印加した時の
垂直転送段を構成する垂直転送ゲートφ_V1２３〜
φ_V4２６におけるポテンシヤルの概要を第７図に
示す。

第７図は第２図に示したＢ−B′断面のポテン
シヤルを示し、各ポテンシヤル図は第６図に示し
たt₁〜t₂₀の各時間におけるものである。ここで、
フオトダイオードから垂直転送段への信号読み込
みのメカニズムは第３図を用いて説明したので省
略する。またポテンシヤルの説明に不必要な遮光
用アルミ配線や表面保護膜（PSG）等は省略し
ている。

第７図において８は垂直転送パルス供給端子、
１８は垂直転送段を構成するn^-拡散層、２３は
φ_V1電極２４はφ_V2電極、２５はφ_V3電極、２６は
φ_V4電極、２１は拡散層とφ_V1〜φ_V4電極を分離す
る絶縁層（SiO₂）である。

次に垂直転送パルスφ_V1〜φ_V4を垂直駆動パルス
供給端子８に印加したときの動作を第７図にもと
づいて説明する。

まず、第６図における第１フイールドの垂直帰
線期間中のt₁におけるポテンシヤルは第７図ａの
t₁に示す形となるがこの時には信号電荷は存在し
ない。第７図においてポテンシヤルを示す図の中
でバリアとして示したものは、固体撮像素子の製
造過程において、垂直転送電極等を形成する時に
マスク合せのズレやn^-層の拡散過程等において
発生するものであり、本従来例ではφ_V1電極とφ_V2
電極の接合部で、バリアが発生したものとしてい
る。このポテンシヤルバリアはφ_V電極に電圧が
印加されポテンシヤルが高くなつている部分では
フリンジ効果等で無視できるため第７図における
ポテンシヤル図では、φ_V1，φ_V2電極の双方又は一
方に電圧が印加された場合では図示していない。
尚前記バリアは固体撮像素子の製造が完全に理想
的に行われれば発生しないが、現在の半導体IC
プロセス技術ではマスク合せ精度等に限界があり
殆んど発生する。次に時間t₂におけるポテンシヤ
ルは第７図ａのt₂に示す形となる。すなわち信号
読み出しパルスを電極φ_V2に印加する事により第
２図に示したPD１，PD３の信号電荷Q₁，Q₃（こ
の場合の信号電荷は電子である）をφ_V2電極下の
パケツトに読み込む。（ここでフオトダイオード
からφ_V電極下のパケツトに読み込むメカニズム
は第３図で説明したので省略する）。次に時間t₃
におけるポテンシヤルは第７図ａのt₃に示す形と
なる。この時φ_V2電極下の電荷はφ_V2，φ_V3電極下
に拡散され更にφ_V2電極下のポテンシヤルがt₂の
状態からt₃の状態へ大きく変化するためt₃に示し
た矢印イの方向のベクトルが電荷に与えられ、そ
の結果信号電荷Q₁の一部はφ_V4電極下に押し込ま
れる。次に時間t₄になるとφ_V3，φ_V4電極に電圧が
印加されるため、ポテンシヤルは第７図ａのt₄に
示す形となる。すなわちt₃のポテンシヤル状態か
ら電荷転送方向に１電極分だけ転送した状態とな
るため、信号電荷Q₁はφ_V3，φ_V4電極下のパケツ
トに集まる。時間t₅におけるポテンシヤルは第７
図ａのt₅に示す形となり、第２図に示したPD２，
PD４の信号電荷Q₂，Q₄がφ_V4電極下に読み込ま
れる。この時信号電荷Q₁，Q₂は混在するが説明
の便宜上図のように分離している。次に時間t₆に
おけるポテンシヤルは第７図ａのt₆に示す形とな
るがφ_V4電極下のポテンシヤルがt₅の状態からt₆
の状態へ大きく変化するためt₆に示した矢印ロの
方向のベクトルが電荷に与えられ、その結果信号
電荷Q₁，Q₃の一部はφ_V2電極下に押し込まれる。
この時φ_V1，φ_V2電極接合面においてはバリアが存
在するため信号電荷はφ_V1電極下まで移動する事
はない。次に時間t₇になるとφ_V2，φ_V3電極に電圧
が印加されるため、時間t₆の状態から第７図ｂに
示すように電荷転送方向と逆の方向に１電極分だ
け転送した状態となり、信号電荷Q₁，Q₂はφ_V2，
φ_V3電極下に集まる。この状態から時間t₈〜t₁₀に
示すように電荷転送方向に向つて電極１個分づつ
転送する。

次に第２フイールドにおける動作を説明する。

第２フイールドにおける垂直帰線期間中のt₁₁、
t₁₂におけるポテンシヤルは第７図ｃのt₁₁、t₁₂と
なるその動作は第１フイールド同一であるので説
明は省略する。時間t₁₃においてはφ_V4電極下のポ
テンシヤルはt₁₂の状態からt₁₃の状態へ大きく変
化するためt₁₃に示した矢印イの方向のベクトル
が電荷に与えられるが、φ_V1，φ_V2接合部における
バリアが存在するため信号電荷がφ_V2電極下へ移
動する事は無い。時間t₁₄では時間t₁₃から進行方
向へ電極１個分の転送が行われる。次に時間t₁₅
においてφ_V2電極下のパケツトへ信号電荷Q₁，Q₃
を読み込む。次に時間t₁₆におけるポテンシヤル
は第７図ｃのt₁₆に示す形となるが、φ_V2電極下の
ポテンシヤルがt₁₅の状態からt₁₈の状態へ大きく
変化するため矢印ロの方向のベクトルが信号電荷
に与えられ、その結果信号電荷の一部はφ_V4電極
下に押し込まれる。次に時間t₁₇においては、φ_V2
電極下のポテンシヤルが下がり、φ_V4電極下のポ
テンシヤルが上るためハに示すベクトルが信号電
荷に与えられるため、t₁₆においてφ_V4電極下にあ
つた信号電荷はt₁₇では第７図ｄに示すようにφ_V3
電極下に移動する。次に時間t₁₈になるとφ_V1，
φ_V2電極に電圧が印加されt₁₈に示すポテンシヤル
となるが、この時にはt₁₇においてφ_V4，φ_V1電極
下に存在した信号電荷はt₁₈ではφ_V1，φ_V2電極下
に転送されるがt₁₇においてφ_V3電極下にあつた信
号電荷はt₁₈においても移動せずにそのまま存在
する。次に時間t₁₉になるとφ_V2，φ_V3電極に電圧
が印加されるため時間t₁₈でφ_V3電極下に存在する
電荷とφ_V2電極下に存在する電荷が混合される。
以下時間t₂₀から順次信号電荷転送方向に転送さ
れ信号電荷として読み出される。

ところが、第７図のt₁₀、t₂₀から明らかなよう
に信号電荷の混合は第１、第２フイールドとも殆
んど同一の信号成分となつている。

したがつて本従来例においては、フオトダイオ
ードへの信号電荷の蓄積時間は１フイールド期間
であり、信号電荷の読み出しは１フイールド毎で
あるため残像の発生は無い、がしかし、前述の如
く第１、第２フイールド共にほぼ同一のフオトダ
イオード信号を混合して読み出すために等価的に
垂直方向の画素数が1/2となつてしまう。更に第
１、第２フイールド共に殆んど同一の信号成分で
あるため、垂直方向に輝度信号が変化した被写体
を撮像しモニターTVで見ると、前記輝度信号が
垂直方向に変化した垂直エツジ部において、ジツ
ターとなつて現れ落ち着きのない画質となる。

それ故、前述のIL−CCDの駆動は初期の目的
を達していない。

発明の目的本発明は上記従来の問題点を解決し、残像が無
く、インターレースフリツカーも無く、しかも垂
直方向の解像度の劣化も殆んど無い固体撮像装置
を提供するものである。

発明の構成上記目的を達成するため本発明は、アレイ状に
配置した光電変換素子群と、４相CCDから成る
垂直転送レジスタと、２相CCDから成る水平転
送レジスタを備え、光電変換素子に対応して配置
された信号読み出しゲートと、前記垂直転送レジ
スタを構成する転送ゲートのうち所定の転送ゲー
トとを各々等価的に共通接続し、前記光電変換素
子から垂直転送レジスタへ信号電荷を読み込む際
に、各フイールド毎に垂直転送転送パルスをリセ
ツトして、信号読み出しパルスを印加して信号電
荷を読み出した時も常に電荷を転送方向に移動さ
せ、かつ、垂直方向に隣接する光電変換素子の信
号電荷を混合した後電荷転送により信号を時系列
に得、残像、インターレースフリツカーが無く、
垂直解像度も良好な固体撮像装置を得るものであ
る。

実施例の説明以下、本発明による固体撮像装置の一実施例を
第８図、第９図を用いて説明する。

第８図は前記IL−CCDの本発明による垂直転
送パルスである。第１フイールドにおけるφ_V1，
φ_V2，φ_V3，φ_V4の各パルスは第２フイールドにお
けるφ_V3，φ_V4，φ_V1，φ_V2と各々等しい。また第各
フイールド共、φ_V2，φ_V4に信号読み出しパルスを
設けている。第８図に示す垂直転送パルスを第１
図に示すIL−CCDの垂直転送パルス供給端子８
のφ_V1〜φ_V4端子に供給した時の垂直転送段を構成
する垂直転送ゲートφ_V1２３〜φ_V4２６におけるポ
テンシヤルの概要を第９図に示す。第９図におい
て各電極のポテンシヤルのバリヤーの存在等は従
来例第７図で説明したものと同一であるので説明
は省略する。

第８図に示した時間t_oでのポテンシヤル概要を
第９図t_oに対応させて示している。

まず時間t₁では第９図ａのようにφ_V2，φ_V3電極
下にパケツトが発生するが信号電荷は存在しな
い。時間t₂ではフオトダイオードPD１，PD３の
信号電荷がφ_V2電極下に読み込まれる。時間t₃で
はφ_V3電極下の信号電荷Q₁，Q₃は電極φ_V2，φ_V3電
極下に拡散され更にφ_V2電極下のポテンシヤルが
t₂の状態からt₃の状態へ大きく変化するためにt₃
に示した矢印イの方向のベクトルが電荷に与えら
れるため、Q₁，Q₃の一部はφ_V4電極下に押し込ま
れる。時間t₄ではパケツトがφ_V2〜φ_V4電極下まで
広がるために信号電荷Q₁，Q₃は全て再びパケツ
トの中に蓄積される。時間t₅〜t₇において電荷転
送方向に信号電荷を転送している。時間t₅から時
間t₇に変化した時点で転送電極１個分の転送を行
なつている。時間t₈においてPD２，PD４，PD
４（図示せず）の信号電荷Q₀，Q₂，Q₄がφ_V4電極
下に読み込まれる。次に時間t₉においてはφ_V1，
φ_V4電極下に信号電荷Q₁とQ₂，Q₃とQ₄が混合し
て存在する。ここでφ_V4電極下のポテンシヤルが
t₈からt₉へ大きく変化するためt₉に示すロの方向
のベクトルが与えられるがφ_V1，φ_V4の間にバリア
が存在するため信号電荷はφ_V2電極下へ押し込ま
れる事はない。時間t₁₀〜t₁₃においては転送方向
へ転送電極２個分の電荷転送を行なう。以後転送
パルスにより、順次垂直方向、水平方向へ転送し
信号出力として得る。

次に第２フイールドにおける動作を説明する。
時間t₁₄、t₁₅におけるポテンシヤルは時間t₁、t₂に
おける動作と同一である。時間t₁₆ではφ_V4電極下
のポテンシヤルがt₁₅の状態からt₁₆の状態に大き
く変化するためt₁₆に示した矢印イの方向のベク
トルが電荷に与えられるが、φ_V1，φ_V2接合部にお
けるバリアが存在するため信号電荷Q₀，Q₂がφ_V2
電極下へ移動することはない。次に時間t₁₆〜t₂₀
において信号電荷Q₀，Q₂，Q₄を転送ゲート２個
分だけ転送方向へ電荷転送する。次にt₂₁におい
て、フオトダイオードPD１，PD３の信号電荷
Q₁，Q₃をφ_V2電極下に読み込む、t₂₂においては
φ_V2電極下のポテンシヤルが大きく変化するため
t₂₂に示した矢印ロの方向のベクトルが信号電荷
に与えられ、その結果信号電荷の一部はφ_V4電極
下に押し込まれる。

次にt₂₃においてはφ_V4電極に電圧が印加される
ため、信号電荷Q₀Q₁，Q₂Q₃は再びφ_V2〜φ_V4電極
下のパケツトに蓄積される。以下t₂₄〜t₂₅に転送
された後、転送パルスにより順次垂直方向、水平
方向へ転送し信号出力として得る。

ここで第９図のt₁₃、t₂₆から明らかなように、
第１フイールドにおいてはPD１とPD２，PD３
とPD４の信号電荷Q₁とQ₂，Q₃とQ₄を混合した信
号を読み出し、第２フイールドにおいては、
PDO（図示せず）とPDI，PD２とPD３の信号電
荷Q₀とQ₁，Q₂とQ₃の信号のみを混合して読み出
す。すなわち、垂直転送レジスタが４相CCDで
構成される時は、特に構造上、転送方向が決まつ
ていないため、駆動電圧のかけかたにより発生す
る電荷の移動ベクトルを、所定の電荷のみが混合
される様にせねばならない。

固体撮像装置においては前記混合して読み出し
た信号を電気回路により信号処理してテレビジヨ
ン信号を得ている。

以上説明したように本発明による垂直転送パル
スを用いれば、垂直方向に隣接する２水平ライン
の信号電荷を完全に混合した後読み出す事ができ
る。

以上の具体例では垂直レジスタに４相CCDを
使用したが、３相であつても同様である。

発明の効果以上述べたように本発明によれば、フオトダイ
オードへの信号電荷の蓄積時間は１フイールド期
間であり、信号読み出しもフイールド毎であるた
め、従来例で述べた残像は全く発生しない。

また、垂直方向に隣接する２つの水平ラインの
フオトダイオードの信号電荷を混合して読み出す
ため、見かけ上のフオトダイオードの開口率が広
くなり、すなわち、撮像管の走査線と電子ビーム
の関係の如くなり、インターレースフリツカーの
発生も皆無となる。

更に、フオトダイオードの信号電荷を混合する
際、第１フイールドと第２フイールドとで、イン
ターレースするように信号電荷を混合するため、
等価的に撮像程度の垂直解像度が得られるため垂
直解像度は全く問題とならない。

【図面の簡単な説明】

第１図はIL−CCD等価回路、第２図はIL−
CCDの平面図、第３図ａはIL−CCDの断面図、
ｂは第３図ａの各部のポテンシヤルの概要を示す
図、第４図は従来のIL−CCDの垂直駆動パルス
を示す図、第５図は撮像管における走査線と電子
ビームの関係を示す図、第６図は従来例の垂直転
送パルスを示す図、第７図ａ，ｂ，ｃ，ｄは従来
例の垂直転送段のポテンシヤルを示す図、第８図
は本発明の固体撮像装置の一実施例における垂直
転送パルスを示す図、第９図ａ，ｂ，ｃ，ｄは本
発明の固体撮像装置の一実施例における垂直転送
段のポテンシヤルを示す図である。１……フオトダイオード（光電変換素子）、２
……垂直転送レジスタ、３，４，５，６……垂直
転送ゲート、７……信号読み出しゲート、８……
垂直転送パルス入力端子、９……水平転送レジス
タ、１０，１１……水平転送ゲート、１２……水
平転送パルス入力端子、１３……電荷検出部、２
３……φ_V1電極、２４……φ_V2電極、２５……φ_V3
電極、２６……φ_V4電極。

Claims

【特許請求の範囲】

１アレイ状に配置した光電変換素子群と、４相
CCDから成る垂直転送レジスタと、２相CCDか
ら成る垂直転送レジスタを備え、前記光電変換素
子に対応して配置された信号読み出しゲートと、
前記垂直転送レジスタを構成する転送ゲートのう
ち所定の転送ゲートとを各々等価的に共通接続
し、前記光電変換素子から垂直転送レジスタへ信
号電荷を読み込む際に、各フイールド毎にリセツ
トされた垂直転送パルスを前記４相の垂直転送レ
ジスタの配列順に印加し、かつ、信号電荷の読み
出しパルスも、前記垂直転送パルスの１サイクル
内の異なる期間に順次印加して垂直方向に隣接す
る光電変換素子の信号を加算して、その後電荷転
送により信号を時系列に取り出すことを特徴とす
る固体撮像装置。