JPS604534B2 - 真空バルブ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は真空バルブに係り、特に通電端子に銀めつきを
施した真空バルブに関する。

一般に真空バルブは絶縁容器とその両端に取付けた端板
として構成した真空容器内に援離可能な一対の電極を有
して構成している。

一対の電極からは通電軸が真空密に外部に導出して霞路
を構成している。その通電軸の外部に導出した部分の一
部は、外部導体接続用の通電端子として使用される。こ
の通電端子には銀めつきを施す場合と施さない場合とが
ある。電流通電容量が大きい場合には緩めつきを施した
方が銀めつきを施さないときよりも温度上昇限度が高く
許容されることから、真空バルブの通電端子には銀めつ
きを施すことが多い。通電端子に銀めつきを施す方法と
しては以下に述べる二つの方法が一般的な方法として従
来用いられていた。ｍ 真空バルブの部品段階で通電端
子になる部分の通電軸に銀めつきを施しておく方法。

【２１真空バルブ完成後に、通電端子に銀めつきを施す
方法。

いずれの方法も銭めつき施す段階に於て次のよ‐うな問
題があり、真空バルブを高価なものにしたり品質を損な
う要因になっていた。

すなわち前記ｍの方法は、部品段階で通電軸の通電端子
部分に銀めつきを施す方法であるから、その場合銀めつ
き工程で通電端子部分以外のところには銀めつきが施さ
れないようにしなければならない。この銀めつきの工程
を説明すると、■通電軸加工→■銀めつきしない個所の
テーピング→■テーピング個所にマスキング剤（塗料）
を塗布→■銀めつき→■マスキング個所のはく離→■マ
スキング個所のはく雛にはく離不十分な個所のブラッシ
ングの概略６工程があり、この■→■工程を一般にマス
キング作業といわれている。また、前記｛２ーの方法は
真空バルブ完成後に通電端子部分に銀めつきを施す方法
であり、その場合通電端子の銀めつき部分をめつき液に
浸して都分めつきを行う方法であるから、強い酸で構成
されるめつき液がめつさ個所以外の所に付着して残る危
険性が大きくそれによる腐食が問題になっていた。

特に可動側通電軸の通電端子となる部分に銀めつきを施
す場合には、一対の電極を援離可能にするため可動側通
電軸の近傍には厚さ僅か０．１〜０．２肌と薄い肉厚の
蛇腹状に形成した金属べローズが設けられており、この
金属べローズ部にめつき液が付着して残ると強い酸によ
って容易に侵される。その結果腐食により金属べローズ
からリークが発生し真空バルブの真空を低下させてしま
うという問題があった。そのため高い信頼性が要求され
る真空バルブにとって充分なめつき方法ではなかった。
本発明はこの点に鑑みなされたもので、通電端子と通電
軸とを別部品として構成することにより安価でしかも品
質の高い真空バルブを提供するものである。

以下本発明の実施例を図面により説明する。

図に於て１は絶縁容器であり、その両端を端板２ａ，２
ｂで閉塞した真空容器３内に相対向する一対の電極４ａ
，４ｂを内装しており、その一対の電極４ａ，４ｂから
はそれぞれ通電軸５ａ，５ｂが真空密に両端板２ａ，２
ｂの外部に導出して軍路を構成している。６は金属べロ
ーズであり一対の電極４ａ，４ｂを真空保持状態で薮離
可能にするため可動側通電軸４ｂと可動側端板２ｂとの
間に設けている。

７はアークシールドであり霞流しや断時に電極間で発生
する高温金属蒸気から絶縁容器１の内壁汚損を防止する
ためのものである。

８ａは固定側通電軸５ａ端部に設けた固定側通電端子、
８ｂは可動側通電軸５ｂ端部に設けた可動側通電端子で
あり、何れの通電端子８ａ，８ｂも予めその表面全体を
図中に点線で範囲を示したように銀めつき施しておき、
即ち予め銀めつきを施こした通電端子を真空バルブの組
立段階で銀ろう付等の手段により通電軸５ａ，５ｂの外
部に導出した端部にそれぞれ固着させている。

上記のような構成によれば、通電軸５ａ，５ｂと通電端
子８ａ，８ｂは別部品で構成しているので銀めつきは通
電端子８ａ，８ｂだけに施せばよく、しかも通電端子８
ａ，８ｂの表面全体に銀めつきを施す方法であるから、
従来技術で問題にし夕た厄介なマスキング作業は不要に
なる。

従って高い効率で連続的大量に銀めつき処理を行うこと
ができ、また銀めつきを施す部品全体の小形化が計れて
部品の運搬が容易になるという他の効果もあって、真空
バルブを経済的に製作する上で有利に０なる。そしてま
た通電端子８ａ，８ｂへの銀めつきは、それぞれ単体で
表面全体に銀めつきを予め施しておく方法でありマスキ
ングが不要であるためマスキソグ剤の除去が不完全で真
空バルブの品質を低下させるというような心配がなくな
る。さ夕らに従釆例で示したように真空バルブ完成後に
通電軸に部分的銀めつきを施すという方法は、強い酸か
らなるめつき液が金属べローズに付着した場合腐食によ
ってリークを引起すという問題があったが、しかしそれ
らの問題も解消でき、真空バル０ブの品質を高める上で
種々の効果を有する。本発明の総合評価を従来技術と比
較すると表１に示すとおりである。表１総合評価 ［コを１００略にした場合の比較 ※ 銀めつき能力で試算（通電端子のサイズで異なる）
。

※※ マスキング・ブラッシングは手作業で本発明に比
べコストがかかる。※※※ ブラッシング時ヮィャープ
ラソからの金属が通電軸に付着し、綾点ろう付強度等が
バラックｏ※※※※ 従来技術は通電軸の取扱い工程が
多く、ろぅ付豚合部に取扱いにょる傷が生じ易く、組立
不良発生率が高く、品質安定性Ｋ問題がある。

以上述べたように本発明によれば、通電端子と通電軸と
を別部品で構成しておき、通電端子の表面全体に予め金
属めつきを施しておき然る後に真空バルブ組立段階で通
電端子と通電軸とを固着して構成したものであるからめ
つき工程の簡略化が計れしかもめつき液が金属べローズ
に付着して腐食を起すという問題も解消でき、安価で品
質の高い真空バルブを提供できる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一実施例を示す断面図である。 １・・・・・・絶縁容器、２ａ，２ｂ・・・・・・端板
、３・・・・・・真空容器、４ａ，４ｂ・・・・・・電
極、５ａ，６ｂ・・・・・・通電軸、６・・・…金属べ
ローズ、７…・・・アークシールド、８ａ・・・・・・
固定側通電端子、８ｂ・・・・・・可動側通電端子。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 絶縁容器と、この絶縁容器の両端を端板で閉塞した
   真空容器内に一対の接離可能な電極を配置し、前記一対
   の電極から真空密に外部に導出する通電軸を設け、少な
   くとも可動側通電軸の外部に導出した端部に銀めつきを
   施こしてなる通電端子部材を銀ろう付けで固着したこと
   を特徴とする真空バルブ。 ２ 固定側及び可動側双方の通電軸端部に通電端子部材
   が銀ろう付けで固着されている特許請求の範囲第１項記
   載の真空バルブ。