JPH05190387A - 真空コンデンサの製造方法 - Google Patents

真空コンデンサの製造方法

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JPH05190387A
JPH05190387A JP4005263A JP526392A JPH05190387A JP H05190387 A JPH05190387 A JP H05190387A JP 4005263 A JP4005263 A JP 4005263A JP 526392 A JP526392 A JP 526392A JP H05190387 A JPH05190387 A JP H05190387A
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JP
Japan
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blazing
brazing
alloy
vacuum capacitor
bellows
Prior art date
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Pending
Application number
JP4005263A
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English (en)
Inventor
Toshimasa Fukai
利真 深井
Taiji Noda
泰司 野田
Teiji Kondo
貞次 近藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Meidensha Corp
Meidensha Electric Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Meidensha Corp
Meidensha Electric Manufacturing Co Ltd
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Publication date
Application filed by Meidensha Corp, Meidensha Electric Manufacturing Co Ltd filed Critical Meidensha Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 真空コンデンサの製造工程を簡素化する。 【構成】 Cu,Sn,Pを主成分とする合金からなる
ベローズを導体の接合部位にロー付けする工程を有する
真空コンデンサの製造方法において、Cu,Ag,Sn
合金からなるロー材を用い、無酸素雰囲気且つ730
[℃]ないし750[℃]の温度でロー付けを行うよう
にした。 【効果】 合金間の溶融現象が生じないので、ロー付け
前に接合部位表面をメッキ処理する必要がなくなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、大電力送信機の発振回
路、増幅回路、あるいは誘導過熱装置のタンク回路等に
用いられる真空コンデンサの製造方法に関し、特に、真
空シールを行うベローズを有する可変形真空コンデンサ
の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】電圧および電流の定格が高く、同調比、
自己回復性に優れることから、近年、大電力コンデンサ
用途に真空コンデンサが用いられている。
【0003】図1は従来の一般的な可変形真空コンデン
サの断面構造図であり、例えばその両端に銅製のフラン
ジ11a,11bが付いたセラミック12で側面部を形
成し、この側面部を固定導体13と金属製蓋体14とで
閉塞して高耐力真空誘電体を充填するための真空容器1
0を形成している。
【0004】固定導体13内側には内径の異なる複数の
略円筒状電極板を同心円状に一定間隔をもって設けて固
定電極15を形成しており、また、この固定電極15の
各電極間隙内に非接触状態で挿出入できるように内径の
異なる複数の円筒状電極板を設けて可動電極16を形成
している。この可動電極16は軸受17に沿って摺動可
能の可動導体18に取り付けられている。
【0005】また、19は弾性を有する軟質金属製のベ
ローズであり、真空容器10内を気密に保持しながら可
動導体18(可動電極16)が上下動できるように、蓋
体14内壁にその一端縁を接合するとともに、他端縁を
可動導体18の背面若しくはその支持体側面に接合して
いる。このベローズ19は、上記真空シールの外、蓋体
14に設けられた外部電源端子(図示省略)と可動電極
16との通電路をも兼ねる。
【0006】このような構造の真空コンデンサでその静
電容量の調整を行う場合は、可動電導体18を摺動させ
て固定電極15と可動電極16との交叉面積を変え、両
電極間に生じる静電容量の値を連続的に変化させる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記構造の
真空コンデンサでは、誘電体が真空であることから低損
失となるが、通常は高周波帯で使用されるので、ベロー
ズ19の材質には導電性に優れたものが要求される。こ
の要求を満足し得る軟質金属として、Cu,Be、ある
いはCu,Sn,Pを夫々主成分とする合金がある。
【0008】また、ベローズ19と可動導体18および
蓋体14内壁との接合は、通常、ロー付け工程により行
われるが、ベローズ19の弾性を確保するためには、ロ
ー付け温度を750[℃]以下の低温にする必要があ
る。この場合、低温にて使用可能なロー材は限られてお
り、Cu,Agに15wt%程度のInが含有する部材
(Cu,Ag,In合金)を選択せざるを得ない。
【0009】しかしながら、このようなロー材を用いる
と、Cu,Beを主成分とする合金では、その表面に形
成されるBeOの影響でロー付けが不可能となる。一
方、Cu,Sn,Pを主成分とする合金では、ロー付け
は可能であるが、母材のSnとロー材のInとが反応し
て溶融現象が起き、真空シールが不十分になる欠点があ
った。そのため、従来、Cu,Sn,Pを主成分とする
合金でベローズ19を形成する場合は、そのロー付け部
位にCuやNiによるメッキ処理を施さなければなら
ず、真空コンデンサの製造工程が複雑になって、コスト
が上昇する問題があった。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明では、上記問題を
解決するため、Cu,Sn,Pを主成分とする合金から
なるベローズを導体の接合部位にロー付けする工程を有
する真空コンデンサの製造方法において、前記ロー付け
を、Cu,Ag,Sn合金からなるロー材を用い、73
0[℃]ないし750[℃]の温度で、且つ、無酸素雰
囲気で行うようにした。
【0011】
【作用】ベローズのSnと反応しないロー材を用いてロ
ー付けを行うので、溶融現象が生ぜず、また、730な
いし750[℃]の温度で行うので、ロー材の融点を確
保しつつ、ベローズの軟化が防止される。
【0012】更に、無酸素雰囲気で行うことで、接合部
位表面の酸化が防止され、ロー付けが容易になる。
【0013】
【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。なお、本
発明は、従来の製造方法を改良したものなので、完成品
たる真空コンデンサの構造については、図1に示した符
号をそのまま使用して説明する。
【0014】本実施例は、Cu,Sn,Pを主成分とす
る合金からなるベローズ19を可動導体18および蓋体
(導体)14の接合部位にロー付けする際の条件を変
え、従来の問題点の解決を図るものである。
【0015】具体的には、Cu,Ag,Sn合金からな
るロー材を用い、730[℃]ないし750[℃]の温
度でロー付けを行う。
【0016】このロー材の選定は、従来のものが、In
を含んでいたために溶融現象を起こしていた点に鑑みた
もので、上記成分からなる合金を用いることで、該現象
が防止される。これにより、接合部にCuやNiのメッ
キ処理を施す必要がなくなり、ロー付け接合の工程が簡
素化される。
【0017】なお、合金の成分は、Cu30wt%、A
g60wt%、Sn10wt%、或はその前後にするの
が好ましく、しかも、真空中あるいはArガス等の不活
性ガス雰囲気で、無酸素状態にてロー付けするのが好ま
しい。これにより、接合部位表面の酸化が防止され、ロ
ー付けをより容易且つ確実に行うことができる。
【0018】また、上記温度設定は、730[℃]未満
ではロー材の融点以下であり、750[℃]を越えると
ベローズ19が軟化して弾性を喪失してしまうことによ
る。
【0019】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明では、C
u,Sn,Pを主成分とする合金からなるベローズを導
体にロー付けする際に、Cu,Ag,Sn合金からなる
ロー材を用いて730[℃]ないし750[℃]の温度
で行うようにしたので、接合後における両合金間の溶融
現象が防止される効果がある。
【0020】また、接合部位を無酸素雰囲気に置くこと
で、その表面の酸化が防止され、ロー付けをより容易且
つ確実に行うことができる効果がある。
【0021】これにより、CuやNiのメッキ処理が不
要になるので、ロー付け工程が簡素化され、真空コンデ
ンサの製造コストを大幅に下げることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明が適用される可変形真空コンデンサの断
面構造図である。
【符号の説明】
10…真空容器、11a,11b…フランジ、12…セ
ラミック、13…固定導体、14…蓋体、15…固定電
極、16…可動電極、17…軸受、18…可動導体、1
9…ベローズ。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 Cu,Sn,Pを主成分とする合金から
    なるベローズを導体の接合部位にロー付けする工程を有
    する真空コンデンサの製造方法において、 前記ロー付けを、Cu,Ag,Sn合金からなるロー材
    を用いて730[℃]ないし750[℃]の温度で行う
    ことを特徴とする真空コンデンサの製造方法。
  2. 【請求項2】 前記ロー付けは無酸素雰囲気で行うこと
    を特徴とする請求項1記載の真空コンデンサの製造方
    法。
JP4005263A 1992-01-16 1992-01-16 真空コンデンサの製造方法 Pending JPH05190387A (ja)

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