JPS6045428U - 熱処理炉 - Google Patents

熱処理炉

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JPS6045428U
JPS6045428U JP1983138081U JP13808183U JPS6045428U JP S6045428 U JPS6045428 U JP S6045428U JP 1983138081 U JP1983138081 U JP 1983138081U JP 13808183 U JP13808183 U JP 13808183U JP S6045428 U JPS6045428 U JP S6045428U
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JP
Japan
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heat treatment
treatment furnace
reaction tube
abstract
center
Prior art date
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Pending
Application number
JP1983138081U
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English (en)
Inventor
小川　明直
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Publication of JPS6045428U publication Critical patent/JPS6045428U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Heat Treatments In General, Especially Conveying And Cooling (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の熱処理炉の模式的側断面構造図、第２図
は本考案の一実施例の熱処理炉の模式的側断面構造図、
第３図は第２図のＡ−Ａ断面図である。 図において１１は炉体、１２は環状の加熱ヒータ、１３
は反応管、１４は石英キャップ、１５は補助ヒータ用炉
体、１６は補助ヒータ、１７は試料載置用ボート、１８
は試料を示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 反応管中央部に環状加熱ヒニタが設けられた横型熱処理
    炉において、該反応管の試料挿入口側の側部底面に補助
    ヒータが設けられた構造を有することを特徴とする熱処
    理炉。
JP1983138081U 1983-09-05 1983-09-05 熱処理炉 Pending JPS6045428U (ja)

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JP1983138081U JPS6045428U (ja) 1983-09-05 1983-09-05 熱処理炉

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JP1983138081U JPS6045428U (ja) 1983-09-05 1983-09-05 熱処理炉

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JPS6045428U true JPS6045428U (ja) 1985-03-30

Family

ID=30309940

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