JPS6066028U - 炉芯管 - Google Patents
炉芯管Info
- Publication number
- JPS6066028U JPS6066028U JP1983157640U JP15764083U JPS6066028U JP S6066028 U JPS6066028 U JP S6066028U JP 1983157640 U JP1983157640 U JP 1983157640U JP 15764083 U JP15764083 U JP 15764083U JP S6066028 U JPS6066028 U JP S6066028U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- outer tube
- hearth tube
- abstract
- furnace core
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の炉芯管の側断面図、第２図は本考案の一
実施例を示す側断面図、第３図は第２図のＡ−Ａ線に沿
う断面図、第４図は第２図炉芯管の分解時の側断面図で
ある。 ４・・・被熱処理物（半導体ウェーハ）、８・・・炉芯
管、９・・・外管、１０・・・内管。
実施例を示す側断面図、第３図は第２図のＡ−Ａ線に沿
う断面図、第４図は第２図炉芯管の分解時の側断面図で
ある。 ４・・・被熱処理物（半導体ウェーハ）、８・・・炉芯
管、９・・・外管、１０・・・内管。
Claims (1)
- 外管と、当該外管内に同軸に且つ着脱可能に嵌着されて
その内部で被熱処理物を処理する内管とで二重管構造に
したことを特徴とする炉芯管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983157640U JPS6066028U (ja) | 1983-10-11 | 1983-10-11 | 炉芯管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983157640U JPS6066028U (ja) | 1983-10-11 | 1983-10-11 | 炉芯管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6066028U true JPS6066028U (ja) | 1985-05-10 |
Family
ID=30347491
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1983157640U Pending JPS6066028U (ja) | 1983-10-11 | 1983-10-11 | 炉芯管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6066028U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0256433U (ja) * | 1988-10-18 | 1990-04-24 | ||
| JPH07263368A (ja) * | 1994-03-24 | 1995-10-13 | Nec Yamagata Ltd | 炉芯管洗浄乾燥装置 |
-
1983
- 1983-10-11 JP JP1983157640U patent/JPS6066028U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0256433U (ja) * | 1988-10-18 | 1990-04-24 | ||
| JPH07263368A (ja) * | 1994-03-24 | 1995-10-13 | Nec Yamagata Ltd | 炉芯管洗浄乾燥装置 |
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