JPS6045913A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は薄膜磁気ヘッドに係り、さらに詳しくは磁気回
路の構造を改良した薄膜磁気ヘッドに関するものである
。

従来技術 薄膜磁気ヘッドは蒸着法あるいはスパッタリング法など
の薄膜堆積法により形成されるもので、従来のバルク型
の磁気ヘッドに比較して次のような多くの利点がある。

（１）全体寸法が小さいため、コイルのインダクタンス
を通常の磁気ヘッドと等しいとした場合、容量を小さく
でき、このため共振点が高周波領域側へずれ、従来型の
磁気ヘラ下に比較して高い周波数で駆動することができ
、信号の伝達速度を増大させることができる。

（２）磁気コアを薄膜で形成することにより、渦電流が
抑制され、高周波記録、再生時のコア損失が減少し、磁
気ヘッドの周波数特性が向」ニする。

（３）薄膜堆積手段により製造されるためマルチトラッ
ク化が容易である。

一薄膜磁気ヘッドはこのような利点を生かし、コンピュ
ータの磁気ディスク用の磁気ヘッドとして採用されてい
る。

第１図に従来の薄膜磁気ヘッドの一例を示す。

第１図において符号ｌで示すものは磁性基板で、この磁
性基板１上には３ターンとして例示するコイル導体６が
渦巻状に形成されている。

このコイル導体６上をも含めて基板１」二には電極７が
形成されている。

一方、符号４で示すものは」二部磁１り：層で、その一
端は渦巻状のコイル導体の中心部であるコンタクトホー
ル２側に固定され、磁性基板Ｉと磁気的に結合がとられ
ている。

」二部磁性層４の他端は磁気記録媒体摺動面９側に導か
れ幅の狭い磁極部８を介して磁性基板１上に固定される
。

磁極部８の先端部と磁性基板１の間が磁気ギャップ５と
なっている。

なお、上部磁性層４をコンタクトホール２側に接触させ
るためにこの部分には四部３が形成される。

上述した構造を持つ薄膜磁気ヘッドの各層は薄膜堆積法
とホトリソグラフィ技術によって形成される。

このような構造の薄膜磁気ヘッドを用いて記録ツブ部５
の近傍に位置する図示していない磁気記録媒体を磁化し
て記録が行なわれる。

一方、磁気信号の再生時には磁気ギャップ５の付近に位
置する磁気記録媒体の記録磁化部から発生する磁束が磁
性基板１と上部磁性層４およびコンタクトホール２を通
って導体６．７と交差しこれが磁気記録媒体の移動に従
って変化することにより導体６．７に発生する誘起電圧
を検出して行なわれる。

一方、第２図に磁極部８の概略断面図を示す。

第２図においては第１図と同一部分または相当する部分
に同一符号が付しである。

また、磁束は点線で図示しである。

第２図から、も明らかなように」二部磁性層４の厚みが
大きい程磁束の通路は広くなり、磁気抵抗が小さくなり
記録および再生の効率が増大する。

しかし、薄膜堆積法により磁性膜を作成するとコンタク
トホール２の部分では四部３が形成されるため、この四
部の段差のある所では膜厚が小さくなる。

従って、この部分の磁気抵抗が大きくなり、磁気効率が
低下するという問題があった。

この磁気効率の低下は段差が大きく膜厚が薄い程大きく
なる。

従って導体を厚み方向に積層するＭ造では段差部におけ
る磁気抵抗の増大が特に問題となる。

目的 本発明は以上のような従来の欠点を除去するためになさ
れたもので、磁性ヨークを形成する」二部磁性層のコン
タクトホールとの接触部に生じる四部の存在により四部
の段差部の膜厚が小さくなっても磁気効率が低下するこ
とのないように構成した薄膜磁気ヘッドを提供すること
を目的としている。

実施例 以下、図面に示す実施例に基づいて本発明の詳細な説明
する。

第３図は本発明の一実施例を説明するもので、図中第１
図と同一部分には同一符号を付しその説明は省略する。

本実施例にあってはコンタクトホール２が２個所形成さ
れている。

従って、四部３も２個所となり膜厚の薄い個所は２個所
に分割される。

ところで、薄膜磁気ヘッドの磁気抵抗は各部の磁気抵抗
の和となる。従って、段差部で膜厚が小さくなったため
に磁気抵抗が大きくなるとその磁気抵抗が全体の磁気抵
抗に対して直列に加わるため磁気抵抗が大きくなるわけ
である。ところで、各部の磁気抵抗は磁束が流れる方向
の磁性体の長さ１に゛比例し磁束の流れに垂直な断面積
に反比例する。

また断面積はその個所の膜厚ｔと幅Ｃとの積である。

従っである個所における磁気抵抗Ｒは磁性体の透磁率を
μとすると次式で表わされる。

四部３の段差部における磁気抵抗を考えると、（１）式
におけるｔは段差部の磁性体の厚み、夕は段差部分の長
さであり、Ｃはコンタクトホールの周囲の長さに等しい
。

また、段差部分ではｔが小さいため（１）式により、磁
気抵抗が大きくなることが明らかである。

ところが、本実施例にあってはコンタクトホール２は２
個所設けられているため、周囲の長さの和Ｃは従来例に
比較して大きくなっている。

Ｃが大きくなければ（１）式から明らかなように磁気抵
抗Ｒが小さくなり、全体としての磁気効率が向］二する
。

実際には磁性体の透磁率は非線形特性を有しているため
、コンタクトホールの周囲長さの増大分息子に磁気抵抗
の減少に大きな効果が生じる。

ところで、コンタクトホールの形成は上部磁性層４の下
層に存在する絶縁層の形状をコンタクトホールの形状に
合わせて変形するだけで容易に行なうことができる。

このようにして磁気効率が低下することのない週７膜磁
気ヘッドを得ることができる。

なお、コンタクトホール２は第３図に示すように磁気ギ
ャップ５方向に向がって左右に２個配置した例を示した
が、第４図（Ａ）に示すようにコンタクトホール２を前
後に２個設けても良く、第４図ＣＢ）に示すように３個
設けても良く、さらには３個以上設けても良い。

このような構造を採用してもコンタクトホールの周囲の
長さを大きくすることができ、磁気効率を向上させるこ
とができる。

また、コンタクトホールの形状は」−述したような長円
形状のものに限らずどのような形状を採用しても良い。

また導体の巻数や巻線方法および１−ラック数などが図
示の例と異なるものに対しても本発明を容易に適用し得
るのはもちろんである。

効果 以上の説明から明らかなように本発明によればコンタク
トホールを複数個設けた構造を採用しているため磁気抵
抗を減少させ磁気効率の優れた薄膜磁気ヘッドを得るこ
とができる。

また、コンタクトホールを複数個設けることに戊・ より段差部に発生する内部押力の分散が可能となり、膜
の剥離現象が激減し、製品の歩留りの向］−が計れる。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は従来構造を説明するもので第１図
は斜視図、第２図は磁気回路の説廚図、第３図は本発明
の一実施例を説明する斜視図、第４図（Ａ）、（Ｂ）は
コンタクトホールの他の構造例を説明する説明図である
。 １・・・磁性基板　２・・・コンタクトポール３・・・
凹部　４・・・上部磁性層 重・・磁気ギャップ　６・・・導体 ７・・・電極　８・・・磁極舒 特許出願人　キャノン株式会社 代理人　弁理士　加　藤　卓　（゛−１第１図 第２図 第３図 第４Ｅ （Ａ）　（Ｂ） 手続補正書（自効 昭和５８年１１月１１日 特許庁長官殿 １、事件の表示 昭和　５８　年特許願　第　１５３１７２　号２、発明
の名称 ＃Ｊ磁気ヘッド ３、補正をする者 事件との関係　°特許出願人 名　称　（１００）　キャノン株式会社４、代理人　電
話　０３　（２６８）２４８１　（Ｎ図面 ６、補正の内容 第３図、第４図（Ａ）及び第４図（Ｂ）を別紙の通り補
正する。 第３図 （ 第４図 （Ａ）　（Ｂ）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 基板上にコイル導体および磁性ヨークを薄膜堆積法によ
   って形成した薄膜磁気ヘッドにおいて、磁性ヨークと基
   板との磁気的結合を行なうための領域を複数個形成した
   ことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。