JPS6045931A - 磁気ヘツド - Google Patents
磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS6045931A JPS6045931A JP15282584A JP15282584A JPS6045931A JP S6045931 A JPS6045931 A JP S6045931A JP 15282584 A JP15282584 A JP 15282584A JP 15282584 A JP15282584 A JP 15282584A JP S6045931 A JPS6045931 A JP S6045931A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- head
- medium
- slider
- magnetic
- ferrite
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/3116—Shaping of layers, poles or gaps for improving the form of the electrical signal transduced, e.g. for shielding, contour effect, equalizing, side flux fringing, cross talk reduction between heads or between heads and information tracks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
〔発明の利用分野〕
本発明は信頼性に優れた薄膜ヘッドの構造体に係る。
磁気デ・Ｃスフ装置では、一般に第１図に示すごとく媒
体１の上にヘッド２が狭い間隙、例えば０．３〜１．０
μｍで浮上しながら情報の書込み再生動作を行う。ヘッ
ド２の構造は支持アーム３と、負荷バネ４およびスライ
ダー５と薄膜ヘッド素子部６（以下素子部と１５）とか
らなっている０スライダー５と素子部６のみの形体を、
媒体１Ｖｃ対向する側からみた正面図を第２図に示した
。スライダー５に媒体１が矢印７の方向ＶＣ走行したと
きに浮上刃が発生し、これと負荷バネ４の力とが釣合っ
たところでヘッド２が浮上するように設計されている。 一方、媒体１が停止して−るときは、ヘッド２は負荷バ
ネ４のバネ圧で媒体１ｒＣ直接接触している。そして媒
体が徐々に回転し始めると、媒体上の空気も一緒に回転
し始めるためヘッド２のスライダー５の望見流人端部に
設けられているテーパ一部８に空気が流れ込み、スライ
ダー５を持ち上げる力が発生する。しばらく所定の回転
数に媒体１が達するまでは、媒体１とヘッド２とは臣い
に機械的にこすりながら相対運動を行い、更に回転が早
くなるとヘッド２が第１図のごとく完全に媒体１より浮
き上がる。また媒体１が回転を停止するに到る過度状態
においても、前記起動時と同様にヘッド２と媒体１の摺
動現象が現出する。従ってこの媒体の起動、停止動作に
おける両者の摺動が通常の顧客使用状態におφても不可
避的に起るため、本装置の設計に当っては予めとの摺動
に充分耐えうるヘッド並びに媒体の材質と形状が大きな
技術課題となる。従来の薄膜ヘッドではこのスライダー
材料として、たとえばアルばチーチタン。カーバイト（
ＡＩ！２０ｓ−ＴｉＣ）やりチーラム−珪酸塩結晶体（
商品名「ホトセラム」）が用いられている。これらはい
づれも非磁性材料である。前者は硬い材料でビッカース
硬度で表わすと略々２，０００〜２゜３００である。素
子部の摩耗を防ぐという意味においてはすぐれたもので
あるが、実際にヘッドを製作し、上記起動、釣上動作の
繰返し耐久試験を行ったところ、大略３１口００〜ｓ
、 ｏ ｏ、ｏ 回の動作で所謂ヘッド、クランニ現象
が発生し、媒体上の磁性塗料が剥離して、当然そとに記
録されている情報も再生不可能となった。この事故現象
の原因を調査してみた結果ヘッド２のスライダー５の材
料が媒体ＩＶｃ比して非常に硬いため、ヘッドの方は殆
んど損傷せず、媒体１が一方的に傷付けられたものと判
明した。尚、ただひとつのヘッド２のみを試験に供した
こうした耐久試験では、顧客使用状態での安全なる品質
を保証するためＶＣは通常繰返し回数１００，０００回
以下では情報品質に著しい損傷が発生しないことが必要
とされている。次にもうひとつの従来形のホットで使わ
れている「ボトセラム」のスライダー５の場合では、本
材料がガラス質であり空孔等が少くこの上に薄膜を形成
するのに適している上に、加工性もよいという利点があ
る。 ビッカース硬度は約５００前後である。しかしこのスラ
イダー上に薄膜へノド素子を形成し、前記耐久試験を行
ったところ同様に出力電圧が約６．０００〜１０９口０
０の繰返し回数時に減少をきたし、安定なる情報処理動
作が不可能ｖｃなった。この場合はＡ／２０ｓ−ＴｉＣ
のスライダーと異な′り媒体１の損傷というよりもヘッ
ド２のスライダー５と素子部６の摩耗によシ磁気回路が
変化し初期の性能を維持できないことが原因であること
が判った。 ところでスライダー材料として前記耐久試験の結果も良
好で、且つ笑顔に製−品に広く用いられているものにＮ
ｉ −Ｚ ｎあるいはＭ ｎ −Ｚ ｎのフェン−（
）材（ビッカース硬直５００〜７００）がある。 この従来の別の実施例では、スライダーと電磁変換素子
部（これもフェライト材で構成）が兼用さｔじ（いる構
造である。この考え方の延長上で薄膜ヘッドを製作した
もが第３図に断面図で示されるものである。すなわち、
スライダー９は前記フェライト材で構成され、第２図の
中でボされるスライダー５のごとき形状を持っている。 ′またこれｔＩ′ｉ磁性材料であるのでこれを電磁変換
素子の閉磁路を構成する一方のコア脚も同・ 時に兼用
し゛〔いる。素子部の構造を更に詳しく説明すｔＬｌよ
、第３図に示されるように、一方のコｙｎとなるフェラ
イトスライダー９の上にギヤラグ材１０として絶縁膜を
形成する。次に導体層１１を蒸着後、所定の形状にバタ
ーニングする。 その上に再び絶縁層を形成した後、もう一方のコア脚と
なシ前記スライダー９とギヤング１ｏを介在した閉磁路
を形成するところの磁性体層１２を形成する。尚、該磁
性体層１２を形成する前にギャップ用絶縁膜は、閉磁路
を作るためエリア１３０部分は予め除去される。また外
部回路への接続細線１４と咳ヘッドの導体層１１との接
続を容易にするためのボンディング、バラ）１５４．同
＄１に形成され、素子部の保護のために例えばアルばす
のスパッタ膜とが別の保護用部材が付着される。この第
３図では前者の保護膜１６が例示されている０この種の
薄膜ヘッドは、スライダーとしてすぐれた特性と磁性体
としての特性を積極的に利用したものであると言える。 しかしながらこの従来例においても欠点がある。それは
媒体対向面１７において露出しているコアの寸法１：＋
、ｌ：ｘがアンバランスであり、且つ特に問題なのはス
ライダー側の寸法ｌ！Ｉが大きいことである。すなわち
、たとえば、蒸着、スパッタあるいはメツ中の手法で製
作される薄膜磁性体層１２の厚さＺ＊＃′ｉ１〜５μｍ
であるのにだいし、／＋はスライダー９の媒体走行方向
への長さに略々等しく ／Ｉ＝５〜４■程度であるため
１２に比べれば／ＩＦｉ殆んど無限大と考えてよい。こ
めためギャップ１０から媒体１の存在する場所に漏洩す
る磁界の強さＨｘの分布は第４図のごとく、ギャップの
中心（ｘ＝０）Ｋたいし、左右非対称となり、且つ、ス
ライダー９側のＨＸの分布は磁性体層１２の側のそれに
比べて広がってしまう。このため高密度記碌においては
隣接パルス同志の干渉が生じ、分解能の低下を招来する
。換１すれば、薄膜ヘッドのもつ、形状が微小なるが故
の急峻な磁界分布と高分解能が生かしきれていないこと
になる。 〔発明の目的〕 本発明の目的は従来ヘッドの以上の欠点を改善し薄膜ヘ
ッドとしての電磁変換特性の優秀さを生かし且つ、媒体
との摺動における耐久性も兼ね備えた新規なヘッドを提
供することにある。 【発明の概要〕 本発明の特数とするところは、媒体の走行起動ならび停
止動作時に、媒体とヘッドが１いに接触する磁気記憶装
＠において、ヘッドの浮上刃を発生させるスライダー材
料としてＮｉ−ＺｎあるいはＭｎ ｚｎフェライトを用
い、この上Ｖこ磁気的相互干渉を防ぐに足る厚さを１１
する非磁性材料を介在させた状態にて電磁変換素子部を
設置することｖＣＳする。 〔発明の実施例〕 第５図は本発明の一実施例を示す断面図である。スライ
ダー１８はＮｉ−ＺｎあるいはＭｎ−Ｚｎフェライトで
作り、媒体との摺動耐久性を持たせるようになっている
。そして第６図に示す従来のヘッドとの違いは、これを
一方のコア脚として使用せず、もっばらスライダーとし
てのみ利用することである。このため、フェライト１８
の上にＡＩ！ｔＯｓ（アルミナ）膜１９などの非磁性材
料を所定の厚さだけスパッタ法により′形成し、しかる
後、この膜の上に薄膜ヘッド素子部を製作する。フェラ
イトを一方のコア脚として用いていないため、この場合
の薄膜ヘッド素子は下部磁性体層２０を形成し閉磁路を
構成する。アルξす膜１９は素子部の保護やスライダー
材としてのフェライトの空孔を埋め清めらがな面を素子
部形成のために与えると共、磁性体であるフェライトと
素子部との磁気的カップリングを実使用状態で問題にな
らない程度に厚くすることが必要である。 このような構造をとれば前記の目的とする機能が同時に
生ずることになシ、電磁変換特性上も、機械特性も良好
なヘッドを得ることができる。 尚、別の実施例として、スパッタ法にょるアルεす１ｊ
ｉｊ９の代シニ、別の非磁性基板１９の上に素子部を形
成した後、スライダー１８と基板１９とをガラス溶着す
ることも可能である。
体１の上にヘッド２が狭い間隙、例えば０．３〜１．０
μｍで浮上しながら情報の書込み再生動作を行う。ヘッ
ド２の構造は支持アーム３と、負荷バネ４およびスライ
ダー５と薄膜ヘッド素子部６（以下素子部と１５）とか
らなっている０スライダー５と素子部６のみの形体を、
媒体１Ｖｃ対向する側からみた正面図を第２図に示した
。スライダー５に媒体１が矢印７の方向ＶＣ走行したと
きに浮上刃が発生し、これと負荷バネ４の力とが釣合っ
たところでヘッド２が浮上するように設計されている。 一方、媒体１が停止して−るときは、ヘッド２は負荷バ
ネ４のバネ圧で媒体１ｒＣ直接接触している。そして媒
体が徐々に回転し始めると、媒体上の空気も一緒に回転
し始めるためヘッド２のスライダー５の望見流人端部に
設けられているテーパ一部８に空気が流れ込み、スライ
ダー５を持ち上げる力が発生する。しばらく所定の回転
数に媒体１が達するまでは、媒体１とヘッド２とは臣い
に機械的にこすりながら相対運動を行い、更に回転が早
くなるとヘッド２が第１図のごとく完全に媒体１より浮
き上がる。また媒体１が回転を停止するに到る過度状態
においても、前記起動時と同様にヘッド２と媒体１の摺
動現象が現出する。従ってこの媒体の起動、停止動作に
おける両者の摺動が通常の顧客使用状態におφても不可
避的に起るため、本装置の設計に当っては予めとの摺動
に充分耐えうるヘッド並びに媒体の材質と形状が大きな
技術課題となる。従来の薄膜ヘッドではこのスライダー
材料として、たとえばアルばチーチタン。カーバイト（
ＡＩ！２０ｓ−ＴｉＣ）やりチーラム−珪酸塩結晶体（
商品名「ホトセラム」）が用いられている。これらはい
づれも非磁性材料である。前者は硬い材料でビッカース
硬度で表わすと略々２，０００〜２゜３００である。素
子部の摩耗を防ぐという意味においてはすぐれたもので
あるが、実際にヘッドを製作し、上記起動、釣上動作の
繰返し耐久試験を行ったところ、大略３１口００〜ｓ
、 ｏ ｏ、ｏ 回の動作で所謂ヘッド、クランニ現象
が発生し、媒体上の磁性塗料が剥離して、当然そとに記
録されている情報も再生不可能となった。この事故現象
の原因を調査してみた結果ヘッド２のスライダー５の材
料が媒体ＩＶｃ比して非常に硬いため、ヘッドの方は殆
んど損傷せず、媒体１が一方的に傷付けられたものと判
明した。尚、ただひとつのヘッド２のみを試験に供した
こうした耐久試験では、顧客使用状態での安全なる品質
を保証するためＶＣは通常繰返し回数１００，０００回
以下では情報品質に著しい損傷が発生しないことが必要
とされている。次にもうひとつの従来形のホットで使わ
れている「ボトセラム」のスライダー５の場合では、本
材料がガラス質であり空孔等が少くこの上に薄膜を形成
するのに適している上に、加工性もよいという利点があ
る。 ビッカース硬度は約５００前後である。しかしこのスラ
イダー上に薄膜へノド素子を形成し、前記耐久試験を行
ったところ同様に出力電圧が約６．０００〜１０９口０
０の繰返し回数時に減少をきたし、安定なる情報処理動
作が不可能ｖｃなった。この場合はＡ／２０ｓ−ＴｉＣ
のスライダーと異な′り媒体１の損傷というよりもヘッ
ド２のスライダー５と素子部６の摩耗によシ磁気回路が
変化し初期の性能を維持できないことが原因であること
が判った。 ところでスライダー材料として前記耐久試験の結果も良
好で、且つ笑顔に製−品に広く用いられているものにＮ
ｉ −Ｚ ｎあるいはＭ ｎ −Ｚ ｎのフェン−（
）材（ビッカース硬直５００〜７００）がある。 この従来の別の実施例では、スライダーと電磁変換素子
部（これもフェライト材で構成）が兼用さｔじ（いる構
造である。この考え方の延長上で薄膜ヘッドを製作した
もが第３図に断面図で示されるものである。すなわち、
スライダー９は前記フェライト材で構成され、第２図の
中でボされるスライダー５のごとき形状を持っている。 ′またこれｔＩ′ｉ磁性材料であるのでこれを電磁変換
素子の閉磁路を構成する一方のコア脚も同・ 時に兼用
し゛〔いる。素子部の構造を更に詳しく説明すｔＬｌよ
、第３図に示されるように、一方のコｙｎとなるフェラ
イトスライダー９の上にギヤラグ材１０として絶縁膜を
形成する。次に導体層１１を蒸着後、所定の形状にバタ
ーニングする。 その上に再び絶縁層を形成した後、もう一方のコア脚と
なシ前記スライダー９とギヤング１ｏを介在した閉磁路
を形成するところの磁性体層１２を形成する。尚、該磁
性体層１２を形成する前にギャップ用絶縁膜は、閉磁路
を作るためエリア１３０部分は予め除去される。また外
部回路への接続細線１４と咳ヘッドの導体層１１との接
続を容易にするためのボンディング、バラ）１５４．同
＄１に形成され、素子部の保護のために例えばアルばす
のスパッタ膜とが別の保護用部材が付着される。この第
３図では前者の保護膜１６が例示されている０この種の
薄膜ヘッドは、スライダーとしてすぐれた特性と磁性体
としての特性を積極的に利用したものであると言える。 しかしながらこの従来例においても欠点がある。それは
媒体対向面１７において露出しているコアの寸法１：＋
、ｌ：ｘがアンバランスであり、且つ特に問題なのはス
ライダー側の寸法ｌ！Ｉが大きいことである。すなわち
、たとえば、蒸着、スパッタあるいはメツ中の手法で製
作される薄膜磁性体層１２の厚さＺ＊＃′ｉ１〜５μｍ
であるのにだいし、／＋はスライダー９の媒体走行方向
への長さに略々等しく ／Ｉ＝５〜４■程度であるため
１２に比べれば／ＩＦｉ殆んど無限大と考えてよい。こ
めためギャップ１０から媒体１の存在する場所に漏洩す
る磁界の強さＨｘの分布は第４図のごとく、ギャップの
中心（ｘ＝０）Ｋたいし、左右非対称となり、且つ、ス
ライダー９側のＨＸの分布は磁性体層１２の側のそれに
比べて広がってしまう。このため高密度記碌においては
隣接パルス同志の干渉が生じ、分解能の低下を招来する
。換１すれば、薄膜ヘッドのもつ、形状が微小なるが故
の急峻な磁界分布と高分解能が生かしきれていないこと
になる。 〔発明の目的〕 本発明の目的は従来ヘッドの以上の欠点を改善し薄膜ヘ
ッドとしての電磁変換特性の優秀さを生かし且つ、媒体
との摺動における耐久性も兼ね備えた新規なヘッドを提
供することにある。 【発明の概要〕 本発明の特数とするところは、媒体の走行起動ならび停
止動作時に、媒体とヘッドが１いに接触する磁気記憶装
＠において、ヘッドの浮上刃を発生させるスライダー材
料としてＮｉ−ＺｎあるいはＭｎ ｚｎフェライトを用
い、この上Ｖこ磁気的相互干渉を防ぐに足る厚さを１１
する非磁性材料を介在させた状態にて電磁変換素子部を
設置することｖＣＳする。 〔発明の実施例〕 第５図は本発明の一実施例を示す断面図である。スライ
ダー１８はＮｉ−ＺｎあるいはＭｎ−Ｚｎフェライトで
作り、媒体との摺動耐久性を持たせるようになっている
。そして第６図に示す従来のヘッドとの違いは、これを
一方のコア脚として使用せず、もっばらスライダーとし
てのみ利用することである。このため、フェライト１８
の上にＡＩ！ｔＯｓ（アルミナ）膜１９などの非磁性材
料を所定の厚さだけスパッタ法により′形成し、しかる
後、この膜の上に薄膜ヘッド素子部を製作する。フェラ
イトを一方のコア脚として用いていないため、この場合
の薄膜ヘッド素子は下部磁性体層２０を形成し閉磁路を
構成する。アルξす膜１９は素子部の保護やスライダー
材としてのフェライトの空孔を埋め清めらがな面を素子
部形成のために与えると共、磁性体であるフェライトと
素子部との磁気的カップリングを実使用状態で問題にな
らない程度に厚くすることが必要である。 このような構造をとれば前記の目的とする機能が同時に
生ずることになシ、電磁変換特性上も、機械特性も良好
なヘッドを得ることができる。 尚、別の実施例として、スパッタ法にょるアルεす１ｊ
ｉｊ９の代シニ、別の非磁性基板１９の上に素子部を形
成した後、スライダー１８と基板１９とをガラス溶着す
ることも可能である。
第１図および第２図は磁気ディスク用ヘッドの使用状態
と構造を示す側面図と平面図、第３図は従来の薄膜ヘッ
ドの構造を示す素子部付近の拡大断面図、第４図は第６
図のヘッドから発生する漏洩磁界分布を示す波形図、第
５図は本発明の一実施例を示すヘッドの断面図である。 １・・・媒体 ２・・・ヘッド １８・・・フェライト（スライダー） １９・・・アルξす膜 ２０・・・下部磁性体層 オ １ ｎ ３ オ ２の
と構造を示す側面図と平面図、第３図は従来の薄膜ヘッ
ドの構造を示す素子部付近の拡大断面図、第４図は第６
図のヘッドから発生する漏洩磁界分布を示す波形図、第
５図は本発明の一実施例を示すヘッドの断面図である。 １・・・媒体 ２・・・ヘッド １８・・・フェライト（スライダー） １９・・・アルξす膜 ２０・・・下部磁性体層 オ １ ｎ ３ オ ２の
Claims (1)
- 媒体の走行起動ならび停止動作時に、媒体とヘッドが互
いに接触する磁気記憶装置において、ヘッドの浮上刃を
発生させるスライダー材料としてＮｉ −Ｚｎ Ｉ）る
いはＭｎ −ｚｎフェライトを用い、この上に磁気的相
互干渉を防ぐに足る厚さを有する非磁性材料を介在させ
た状態にて電磁変換素子部を設置してなることを特徴と
する磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15282584A JPS6045931A (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | 磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15282584A JPS6045931A (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | 磁気ヘツド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6045931A true JPS6045931A (ja) | 1985-03-12 |
| JPS6341131B2 JPS6341131B2 (ja) | 1988-08-16 |
Family
ID=15548963
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15282584A Granted JPS6045931A (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | 磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6045931A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0727771A3 (ja) * | 1995-02-17 | 1996-09-04 | Aiwa Co |
-
1984
- 1984-07-25 JP JP15282584A patent/JPS6045931A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0727771A3 (ja) * | 1995-02-17 | 1996-09-04 | Aiwa Co | |
| US5621594A (en) * | 1995-02-17 | 1997-04-15 | Aiwa Research And Development, Inc. | Electroplated thin film conductor coil assembly |
| US5853558A (en) * | 1995-02-17 | 1998-12-29 | Aiwa Research And Development Inc. | Method of fabricating a thin film conductor coil assembly |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6341131B2 (ja) | 1988-08-16 |
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