JPS6046363A - 防湿性を有する透明薄膜の形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野： 本発明は防湿性を有する透明薄膜の形成方法。

特に、基材の種類にかかわらず透明で高め防湿性の薄膜
を形成する方法に関する。

従来技術： 包装材料、特に食品、薬品、化学製品などの包装に用い
られる包装材料は、内容物の変質を防ぐために防湿機能
をもっていることが必要である。

そのために、従来は９例えばベースプラスチックフィル
ムにアルミニラム箔を貼り合わせてアルミニクム箔の防
湿特注を利用することが行われている。この盛合の包装
材料は、防湿性については沙れているがベースプラスチ
ックフィルムの透明性が損われ内容物を透視することが
できない。しかも、フレキシビリティが面端に低減する
ためビンホールを生じるおそれがちる。包装材料の別の
例としては、それ自体が防湿性を有する塩化ビニリデン
系・フッ水系樹脂フィルムかわる。これらフィルムは防
湿性を厳しく要求される用途にはフィルム厚を厚くしな
ければならず、製造作業上にも種々の問題が生じる。

まだ、プラスチックの表面に金属ア／レミをＪ１空蒸着
することＫより防湿性を向上させる試みがなされている
。しかし、アｙ４蒸盾膜は不透明で心るだめに、これを
包装材料に使用したときには内容物を？１視することが
できない。しかも、蒸着さしｆｃ　アｔｖミニウムとペ
ースフィルムとの密着強度も比較的低いため、その界面
において剥離の生じるおそれがある。

このような従来の包装材料の欠点を改良すべく。

例えば特公昭５１−４８５１１号公報にはプラスチック
フィルムの表面にケイ素酸化物の蒸着層を設けて透明防
湿フィルムを得ることが提案されている。

このケイ累酸化物蒸着フィルムは、ケイ素酸化物が水に
わずかながら溶解するだめ、その防湿性能は経時的に劣
化する。また、特開昭５４−１５２０８９号公報には金
属、金属酸化物および酸化ケイ素を蒸着したポリエステ
ｐフイＡ・ムが開示されている。

この蒸着フィルムは基材にポリエステルフィルムが用い
られたときのみその防湿性能を発現しうるにすぎない。

電子工業分野においても、近年ますます、ＥＬ素子や太
陽電池などに透明でしかも高度の耐湿性能を有する膜が
保護膜として要求されつつある。

発明の目的： 本発明の目的は、基材の種類にかかわらず透明でかつ高
防湿性を有する薄膜を形成する方法を提供することにち
る。本発明の他の目的は、基材との密着性にすぐれた薄
膜の形成方法を提供することにある。

発明の要旨： 本発明の薄膜形成方法は、真空槽内に酸素ガスを導入し
つつ金属マグネシウムを加熱し蒸発させて基材上に透明
なマグネシウム酸化物薄膜を形成するものであシ、その
ことにより上記目的が達成される。

用いられる基材としては特に限定されないが透明で柔軟
性に富むポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリエチレ
ン、ポリエステ／１／、ポリ塩化ビニリチン、ナイロン
、ポリビニルアルコ−ル素樹脂などでなるフィルムが用
いられる。なお基材は板状であってもよいし，レンズ状
のプラスチック成形体であってもよい。フィルムの厚み
には特に制限はなＡが作業性を考慮すると．５μｍ　〜
３００μｍが好ましい。この透明フィルムに酸素ガスを
供給し反応蒸着法によりマグネシウム酸化物薄膜を形成
する。具体的には，真空槽内に上記フィルムを配設し真
空槽を真空ポンプで排気しながら酸素ガスを導入し金属
マグネシウムを抵抗加熱。

電子ビーム加熱等の既知の加熱方法によシ加熱する。こ
の加熱によりマグネシウム蒸気を発生させる。このマグ
ネシウム蒸気が導入酸素ガスと反応し基材上にマグネシ
ウム酸化物薄膜が形成される。

導入する暇素ガヌ量は，通常，真空冶の容器．真空ポン
プの排気能力，マグネシウムの蒸発速度などにより適宜
決定されるが，蒸着中の酸素分圧がＩ　Ｘ　１０−’〜
Ｉ　Ｘ　１０−８）−ルとなるよう調整されることが好
ましい。酸素分圧がＩ　Ｘ　１０　）　−　ｐよシも偲
いと形成されたマグネシウム酸化物薄膜中の酸素量が少
なくなシ着色するために透明性が損なわれる。酸素分圧
ＩＸＩＯＩーールよりも高いと形成されたマグネシウム
酸化物薄膜の膜質がボーフヌとなり防湿性が低下する。

マグネシウム酸化物薄膜は，反応蒸着法のほかに反応性
イオンブレーティング法によっても形成されうる。この
方法により得られる薄膜も前記反応蒸着法による薄膜と
その性能において４’ｌｉ　ｇ４はない。

マグネシウム酸化物薄膜の膜厚としては０．０１ｐ１ｎ
〜０．５μｍが好ましい。膜厚が０．０１μｍ以下の場
合一様な連続膜になりにくい。そのために防湿性が著し
く低下する。０．５μｍ以上では形成されたマグネシウ
ム酸化物薄膜にクラックが発生しやすくなり防湿性の低
下をきたす。

実施例： 以下に本発明を実施例に°りいて説明する。

実施例１ 厚さｌ　５　７１　Ｆ７１のポリエチレンテレフタレー
）ＯＰＥ丁）フィルムをぺ−７・フィルムとし，これ金
具駅檜内に配置する。相内を１ｘｌＯ−５ト−／しに排
気したのち，巧πｊ中の酸素ガス分圧が３Ｘ１０−４１
−−＃の圧力になるよう酸素ガスを導入した。純ノより
９９％の金属マグネシウムを抵抗加２，うによって加熱
し，蒸発源とＰＥＴフィルムとの距離が２５（耳のとき
にマグネシウム酸化物の成膜速度が約”°°”／　ｍ　
Ｋになるように蒸着を行なった。そして膜厚が１０００
Ａと２０００Ａの２種類の蒸着薄膜を得た。このように
して選られた透明蒸着フィルム透湿度を透明度と共に表
に示す。透湿度は、ＪＩＳＺ０２０８に基づく４０°・
９０％ＲＨにおける水蒸気透過率を示す。透明度は目視
観察により測定され、透明度の優れたものを１、良好な
ものを＋、不透明なものを−で表示されている。

実施例２ 酸素ガス分圧を５Ｘ１０−４トールに調整したこと以外
は実施例１と同じである。結果を表に示す。

実施例３ ベースフイルレムとして二軸延伸ポリプロピレンフイル
ムを用いたこと以外は実施例２と同じである。結果を表
に示す。

比較例１ 真空度５Ｘ１０　）−ｔｖ下で、１γさ１５μ７ｎのＰ
ＥＴフイルム上にＳｉＯを約ｌｏｏｏ、Ａおよび２００
ＯＡ　＋７）二種の膜厚に蒸着した。その透湿度を透明
度と共に表に示す。

比較例２ 真空度５　Ｘ　１Ｏ−５）−ル下で、厚さ１５μｍ０Ｐ
ＥＴフイルム上に５ｉ０２を約１０００人およＵ　２０
００久の０種の膜厚に蒸着をした。その透湿度を透明度
と共に表に示す。

比較例３ 蒸着中の酸素分圧が５　Ｘ　ｌｏ−５）−ルの条件で行
なったこと以外はすべて実施例１と同じである。

その結果を表に示す。

発明の効果： 本発明方法で得られる薄膜は、基材フィルムの種類に無
関係に透明でかつ防湿性に：？れている。

その防湿性は、しかも、従来のケイ素１９）化物の蒸着
フィルムに比較し序端に向上している。本発明によるマ
グネシウム酸化嘆の基材フィルムへの密着性も良好であ
り、ＪＩＳＤ−０２０２によるｉｌｌ臣試験に合格して
いる。

本発明の透明薄膜をつけた透明グフヌチツクフイルムは
、このように、従来にない優れた防Ｎ汁能を有するため
１食品・医桑品・化学某品などの包装材および電子工業
分野におけるＥＬ素子や太陽電池の保護喚として最適で
ある。

以上

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、真空槽内に酸素ガスを供給しつつ合成マグネシウム
   を加熱し蒸発させて基材上に透明なマグネシヮム酸化物
   薄膜を形成する防湿性を有する透明薄膜の形成方法。 ２、前記酸素ガスの供給量を制御することによシ企属マ
   グネシウム蒸り中の酸素分圧をＩ　Ｘ　ｌＯ”〜１１０
   　）−ルとする特許請求の範囲第１項に記載の方法。 ３、前記基材が透明なフＶキシグルンートまたはフィル
   ムである特許請求の範囲第１項に記載の方法。