JPS6046455A - 湿度素子 - Google Patents

湿度素子

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Publication number
JPS6046455A
JPS6046455A JP15525083A JP15525083A JPS6046455A JP S6046455 A JPS6046455 A JP S6046455A JP 15525083 A JP15525083 A JP 15525083A JP 15525083 A JP15525083 A JP 15525083A JP S6046455 A JPS6046455 A JP S6046455A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
electrode
permeable
humidity
sensitive film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP15525083A
Other languages
English (en)
Inventor
Takao Kariya
苅谷　嵩夫
Kenichi Yamane
山根　賢一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Chino Corp
Original Assignee
Chino Works Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Chino Works Ltd filed Critical Chino Works Ltd
Priority to JP15525083A priority Critical patent/JPS6046455A/ja
Publication of JPS6046455A publication Critical patent/JPS6046455A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
    • G01N27/048—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance for determining moisture content of the material
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/22—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance
    • G01N27/223—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance for determining moisture content, e.g. humidity
    • G01N27/225—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance for determining moisture content, e.g. humidity by using hygroscopic materials

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  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （１）発明の分野 この発明は、感湿膜を用いた湿度素子に関するものであ
る。
（２）従来技術 従来２例えば、４ｉ図に示すように、湿度に対して容量
値が変化する感湿膜１の両面に水蒸気透過性（透水性）
の電極２ａ　、　２ｂを形成し、感湿膜１を樹脂材等の
保持体３で挾持し、一方の電極２ａは直接ピン４に接続
し、他方の電極２ｂは導電ゴム５゜ピン（図示せず）に
接続されている。そして感湿膜１を含む保持体３はフィ
ルタ部６ａ、５ｂを有する金属ケース６に密閉され、こ
の金属ケース６は基部７により挾持されでいる。
このような従来の湿度素子では、金属ケース６のために
堅固であるが、高価で、熱容量が大きく。
熱応答性が遅く、正確な湿度測定を行うのに長時間を要
していた。また、直接感湿膜１．電極５ａ。
６ｂを保持体３で保持していたので、感湿膜１等を破損
することが多く、製造工数も多く要するものだった。
（３）発明の目的 この発明の目的は１以上の点に鑑み、いっそう信頼性を
向上させた湿度素子を提供することである。
（４）発明の実施例 第２図は、この発明の一実施例を示す断面説明図、第３
図は平面説明図で、第１図と同一符号は同一構成要素を
示す。
図において、感湿膜１の両面に水蒸気透過性（透水性）
の金薄膜等の電極２ａ　、　２ｂを形成し、一方の電極
２ａは延出して基部７のピン４ａに接続し。
他方の電極２ｂは導電性ゴム５を介してピン４ｂに接続
し、ピン４ａ、４ｃ間に調整用の抵抗８が基部７におい
て接続されている。感湿膜１．電極２ａ、２ｂの外面に
は水蒸気透過性（透水性）の樹脂等の保護膜され、保持
体３は基部７によって保持されている。なお、保持体３
の上下の接合部は熱溶着して一体とされている。
つまり、この湿度素子の感湿膜１へ、保持体３の穴部３
ａ　、　３ｂ　、保Ｍ膜９ａ　、　９ｂ　、電極２ａ、
２ｂを介して。
水蒸気が到達し、水蒸気量に応じて感湿膜１を挾む電極
’ｌａ　、　２ｂ間の容量値が変化し、この容量値変化
の信号は電極２ａ　、　２ｂ　、ピン４ａ、４ｂ、４ｃ
を介して外部に取り出され、容量測定値から湿度測定値
が得られる。
このように金属ケースを用いないため熱容量が小さく、
熱応答性が良好で、保護膜９ａ、９ｂは感湿膜１．電極
２ａ　、　２ｂ全体を保護しているので切断。
破損のおそれが少なく、保護膜９α、９ｂにより防塵も
行っている。
（５）発明の要約 以上述べたように、この発明は、感湿膜の両面に水蒸気
透過性の電極膜を形成し、更に感湿膜。
電極に保護膜を形、成し、この保護膜を介して感湿膜を
保持体に保持させた湿度素子である。
（６）発明の効果 フィルタを有する金属ケースを用いていないので、熱応
答性が速く、保護膜を介して感湿膜等を保持体に保持し
ているので、切断、破損のおそれはなく、保護膜により
防塵作用もあり、小型、軽量で、高信頼性であり９作業
性にもすぐれる。
【図面の簡単な説明】
第１図は、従来例を示す構成説明図、第２図。 第３図は、この発明の一実施例を示す構成説明図である
。 １・−・感湿膜、加、２ｂ・・・電極、３・・・保持体
、４，４ａ４ｂ　、　４ｃ・・・ピン、５・・・導電ゴ
ム、７・・・基’ＦＪ　＋　９”＋９ｂ・・・保護膜 特許出願人　株式会社　千野製作所

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １、　両面に水蒸気透過性の電極膜が形成された感湿膜
    と、前記感湿膜または電極膜の少なくとも一方に形成さ
    れた水蒸気透過性の保護膜と、この保護膜を介して前記
    感湿膜を保持する保持体とを備えたことを特徴とする湿
    度素子。
JP15525083A 1983-08-25 1983-08-25 湿度素子 Pending JPS6046455A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15525083A JPS6046455A (ja) 1983-08-25 1983-08-25 湿度素子

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15525083A JPS6046455A (ja) 1983-08-25 1983-08-25 湿度素子

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Publication Number Publication Date
JPS6046455A true JPS6046455A (ja) 1985-03-13

Family

ID=15601813

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15525083A Pending JPS6046455A (ja) 1983-08-25 1983-08-25 湿度素子

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5756746A (en) * 1980-09-24 1982-04-05 Hitachi Ltd Humidity sensitive semiconductor element
JPS5782760A (en) * 1980-07-09 1982-05-24 Commissariat Energie Atomique Capacitive hyglometer and making thereof

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5782760A (en) * 1980-07-09 1982-05-24 Commissariat Energie Atomique Capacitive hyglometer and making thereof
JPS5756746A (en) * 1980-09-24 1982-04-05 Hitachi Ltd Humidity sensitive semiconductor element

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