JPS6047066B2 - 4方向ラツプ盤 - Google Patents

4方向ラツプ盤

Info

Publication number
JPS6047066B2
JPS6047066B2 JP51006373A JP637376A JPS6047066B2 JP S6047066 B2 JPS6047066 B2 JP S6047066B2 JP 51006373 A JP51006373 A JP 51006373A JP 637376 A JP637376 A JP 637376A JP S6047066 B2 JPS6047066 B2 JP S6047066B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lapping
gear
workpiece
speed
carrier
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP51006373A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5290893A (en
Inventor
安夫 渡辺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hamai Co Ltd
Original Assignee
Hamai Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hamai Co Ltd filed Critical Hamai Co Ltd
Priority to JP51006373A priority Critical patent/JPS6047066B2/ja
Publication of JPS5290893A publication Critical patent/JPS5290893A/ja
Publication of JPS6047066B2 publication Critical patent/JPS6047066B2/ja
Expired legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明の目的は、4方向ラップ盤においてラップを行な
う材料の大小、形状、材質等によりラップ作業を行なう
各部の回転数及び回転比を自在に調制して、全てのワー
クに最適のラップ条件を与えることにより従来よりも遥
かに、高能率、高精度でしかもワーク破損の少いラップ
盤を提供することにある。
以上の目的を達成するために特に提案された本発明の要
旨は、4方向ラップ盤に於いて上ラップ板、下ラップ板
、中心ギヤーインターナショナルギヤーの夫々に対して
、回転数を自在に制御できる各別の駆動源を設けるとと
もに、これらの駆動源を集中制御することによつて前記
各部材の回転比を自在に制御出来るようにしたことにあ
る。
近年高精度の平行平面が要求される部品が多くなり、ラ
ップ盤が急速に進歩した。例えば、ラップ板の回転速度
を向上させる方法、上下ラップ板を回動させ、且フキヤ
リヤーを中心ギヤーで駆動させる方法、上下ラップ板、
中心ギヤー、インターナルギヤーをともに回転させる4
方向ラップの方法等である。しかしながら、この等の改
造機は母機以上の精度以上に精度を高めることは不可能
であり、かえつてラップ速度の高速化のために逆に精度
低下を来たしている現状である。
以上の高能率化の例に共通していることは、単位時間当
りのラップ長さを長くするために、機構の改造をするこ
となく単純にラップ板の全体の回転数を上げた結果、ワ
ークがラップ板に追従せず、従つて精度低下を来たすの
が主な原因である。このような欠陥は、本発明の構成に
より除去され、全てのワークに対して最適のラップ速度
と回転比即ちラップ条件を整えることが可能となる。
即ち、本発明は、水平に回動する上下ラップ板と、該上
下ラップ板の間を水平に回動するキャリヤーと、キャリ
ヤーを回動させる中心ギヤー、イ・ンターナルギヤーに
対して夫々の回転数を自在に制御し得る駆動源を設けて
、ラップする材料の大小、形状、材質等により種々夫々
の回転数を設定するとともに各部の回転比をも同時に変
更制御出来るようにして高速かつ高精度でしかもワーク
破・損の少いラップ加工を行ない得る如くしたラップ盤
である。次に図面に基いて詳述する。
図面は平面4方向ラップ盤の模式的側面説明図であるが
、上ラップ板駆動部1により回動する上ラップ板2と下
ラップ板3との間に図の如くキャリヤー4と、このキャ
リヤー4を回動させるためその内側に中心ギヤー5、外
側にインターナルギヤー6が設けられている。
又上ラップ板2の上方には例えばスプリングを利用した
公知の加圧機構7が、下ラップ板3の下方には上下ラッ
プ板2,3の水平回動を維持するための回転軸受機構8
が設けられる。この軸受機構8は下ラップ板3に下面に
、その底面に間歇的にカム状凹部9を穿刻した断面方形
の輪状枠10を取付けるとともに、該輪状枠10を水平
な底部11を有する輪状油槽12の油13中に浸漬した
もので下ラップ板3により輪状枠10が回転させられる
と主としてカム状凹部9内に流入する油13の抵抗によ
り輪状枠10は上方からの荷重に対抗して浮上する。従
つてラップ作業中は下ラップ板3キャリヤー4上ラップ
板2等の水平回動が維持される。駆動系としては、中心
ギヤー5、下ラップ板3、インターナルギヤー6、上ラ
ップ板2は夫々各別の駆動源Ml,M2,M3,M4に
一方向クラッチ14を介して連結されている。
駆動源M1乃至M4としては、回転数を自在に変更する
ことが出来る直流サーボモーター、インバーター用モー
ター、油圧モーター等公知の可変速モーターが使用され
、これらの各駆動源に対する始動変速、停止等の操作は
夫々の操作機構を集合させた集中制御盤15から指令す
るようになつている。前記したような改良された従来の
ラップ盤は上下ラップ板、中心ギヤー、インターナルギ
ヤー等.の駆動に対して1箇の駆動源を使用し、これか
らベルト、歯車、等を介して上記各回動部材を回転させ
るようにしたものである。
しかし、このような構成によるときは各回動部材相互間
の回転比が固定されているので、もしこ.れを変更しよ
うとすれば、歯車の交換、ベルト掛替等の変速機構の設
置が必要となる。
しかし、このような変速機構の設置は機構的に複雑でラ
ップ盤自体の構造が大きくなりすぎること、変速の範囲
に制約があること、性能の向上の程度に比較し・てコス
トがかかりすぎる等の理由から実現していない。勿論ワ
ークが金属材料でできているときはその剛性のために、
上述のような従来装置でも或る程度の高速化を計ること
ができるが、ワークがセラミックスやシリコンウェハー
等の硬く脆い材料等でできており、しかもその厚さも極
端に薄くなると、回転比を固定したまま単純に増速する
だけでは、ラップの仕上げ精度が低下するのみならず、
ワークの破損率が増加する。
したがつて、ワークの大小、形状、材質、表面粗さラッ
プ程度等に対応して常に適切なラップ条件を設定するこ
とができれば、高速、高精度、破゛損率の減少、という
要求を満足させることができる筈である。
本発明は上下ラップ板、中心ギヤー、インターナルギヤ
ーに対しその回転数を自在に変えられる各別の駆動源を
設けることによつて回転比の固定を除去し、常に適切な
ラップ条件をワークに与えることができるようにしたも
のである。さらに本発明においては上記各駆動源の操作
を集中制御盤によつて集中制御することとしたが、単に
同時始動同時停止に有用であるばかりでなく、常に最適
のラップ条件を維持しつつラップ作業を実施するための
不可欠の要件である。
上述のように、ワークの形状、材質等は多岐にわたり各
別のラップ条件が要求される。
この場合予め経験的に知られた回転数、回転比を設定し
てラップするが、ワークの性状は厳密に言えば個個に異
なると考えられ、その最大公約数的な適正ラップ条件を
探して、ラップ盤全体を円滑に運転するためには、ラッ
プ板相互及びラップ板とキャリヤーとの回転数及び回転
比について、夫々の回転状況をみながら相互に調整して
、全体としてのラップ条件を整合させる必要がある。又
ラップ作業中にラップ板を増速運転させたり、平面又は
曲面の修正のためにラップ条件を変更する場合も同様で
ある。
ラップ条件の設定変更は常に上下ラップ板中心ギヤー、
インターナルギヤーの回転数及び回転比に関係するので
それらの相互間を調整しながら、ラップ板の増速、変速
、回転比の変更等の操作を集中して制御する必要かある
。以上のように本願発明は多種のワークに対し常に適切
なラップ条件を設定できるととにラップ作業中において
もラップ程度に応じて自在にラップ条件を変更できるの
で、硬く脆い材質のワークに対しても高速、高能率でか
つワーク破損の少いラノブが可能となつた新規有用のラ
ップ盤である。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明ラップ盤の概要を示す模式的側面図である
。 図において符号1は上ラップ板駆動部2は上ラップ板3
は下ラップ板4はキャリヤー5は中心ギヤー6はインタ
ーナルギヤー7は上ラップ板可圧機構8は回転軸受機構
9はカム状凹部10は輪状枠11は輪状油槽12の水平
底部12は輪状油槽13は油14は一方向クラッチ15
は集中制御盤Ml,M2,M3,M4は駆動源である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 水平に回動する上下ラップ板と該上下ラップ板の間
    を水平に回動するキャリヤーと該キャリヤーを駆動させ
    る中心ギヤーとインターナルギヤーとから成る4方向ラ
    ップ盤において、上下ラップ板、中心ギヤーインターナ
    ルギヤーを夫々の回転数を自在にに制御し得るようにし
    た各別の駆動源により駆動させるとともに、各駆動源を
    集中制御して夫々の回転比を自在に変更制御する集中制
    御盤を具えたことを特徴とする4方向ラップ盤。
JP51006373A 1976-01-24 1976-01-24 4方向ラツプ盤 Expired JPS6047066B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP51006373A JPS6047066B2 (ja) 1976-01-24 1976-01-24 4方向ラツプ盤

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP51006373A JPS6047066B2 (ja) 1976-01-24 1976-01-24 4方向ラツプ盤

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12871479A Division JPS55125977A (en) 1979-10-04 1979-10-04 4-direction lapping machine

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5290893A JPS5290893A (en) 1977-07-30
JPS6047066B2 true JPS6047066B2 (ja) 1985-10-19

Family

ID=11636560

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP51006373A Expired JPS6047066B2 (ja) 1976-01-24 1976-01-24 4方向ラツプ盤

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6047066B2 (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5440391A (en) * 1977-09-06 1979-03-29 Mo Buisushiee Tekhn Uchiritsus Method of lapping group of work pieces and planetary lapping machine
JPS58196967A (ja) * 1982-05-11 1983-11-16 Hitachi Ltd ウエハの両面研磨方法
JPS59109447U (ja) * 1983-01-06 1984-07-24 ホ−ヤ株式会社 両面加工装置
JPH0755448B2 (ja) * 1990-03-14 1995-06-14 九州電子金属株式会社 両面精密研摩用ラップ盤
JPH09123058A (ja) * 1995-10-27 1997-05-13 Hamai Sangyo Kk 超精密ラップ盤

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5114394Y2 (ja) * 1972-01-17 1976-04-16

Also Published As

Publication number Publication date
JPS5290893A (en) 1977-07-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4343020B2 (ja) 両面研磨方法及び装置
EP0491051B1 (en) Numerically controlled grinding machine for glass plate
JPH11254308A5 (ja)
JPS6047066B2 (ja) 4方向ラツプ盤
EP1048409B1 (en) Planetary gear system parallel planer
JP3234881B2 (ja) 両面研磨装置
JP4384742B2 (ja) 半導体ウェーハのラッピング装置及びラッピング方法
CN212291773U (zh) 一种玻璃翻转角度的多指控制装置
JPH06170298A (ja) ドクタブレードの高さ位置調節方法及びその装置
JPH10202511A (ja) 両面研磨装置
CN206277214U (zh) 磨削装置
JPH02274460A (ja) ワイヤ式切断装置の切断速度制御方法およびその装置
JP3129625B2 (ja) ワイヤソー装置
JPS6158270B2 (ja)
JPH10230452A (ja) 両面研磨装置
JPS61182760A (ja) ワイヤによる切断方法
JPH0596466A (ja) 両面研磨方法及び装置
JP2007152499A (ja) ワーク研磨方法
JP3193989B2 (ja) 両面研磨装置
JP2005111578A (ja) 溝研削盤の動力伝達装置
JP3051437B2 (ja) 遊星歯車式研磨装置による研磨制御方法
CN209615051U (zh) 一种锯条毛刺去除装置
JPH07108509B2 (ja) 平面研磨方法及び装置
CN119238387A (zh) 一种砂纸生产用自动纠偏植砂装置
JPS61257769A (ja) 研削盤による研削方法