JPS6047491A - 半導体レ−ザ−ウエハの劈開方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 く技術分野〉 本発明は半導体レーザーウェハの駒間方法に関する。

〈従来技術〉 半導体レーザーウェハを短冊状にする方法として、通常
カッター等の鋭い刃を用いて襞間させる。

若しくは、ウェハの端にダイヤモンド針でスクライプ後
、傷を起点として襞間させる。スクライプ後、襞間する
方法として、薄い金属板にワックスで接着し、円柱に巻
きつけ、金属板ごと溶剤にっけ、ワックスを落し、短冊
状ウェハを取り出す。

しかしながら、この方法では、襞間後、金属板に固定さ
れているため、共振器端面の衝突、接触による損傷が起
る。

〈発明の目的〉 本発明の目的は上記衝突等の生じない半導体レーザーウ
ェハの駒間方法を提供子ることにある。

〈実施例〉 第１図に示すように、ウェハ１のスクライプ部分２だけ
を薄い粘着シート３に貼シつけ、同じ部分をセロハンの
様な薄い透明なシート４で覆い被せる。

そして、第２図（断面図）及び第３図（斜視図）に示す
ように、シートの両端に張力Ｔ、Ｔを力えながら、一定
温度（ヒーター６内蔵）の円柱５に巻きつけ、スクライ
プを起点として襞間させる。

襞間後、シートは円柱の温度と張力で伸び、短冊状半導
体レーザーウェハ７は間隔をもつ。しだがって、隣接す
る短冊状半導体レーザーウェハの共振器端面間の衝突、
接触は起らない。

また、襞間後の短冊状ウェハは粘着シートにより飛散し
ないだめ、取り扱い易い。透明シートを覆い被せなけれ
ば、円柱に巻きつけだ時、襞間せずに、剥＋Ｖ１１する
。粘着シートの粘着力を強くすれば、襞間後の粘着シー
トからの取り出しで折れる。

〈効果〉 以上説明したように、本発明によれば、共振器端面の衝
突、接触による損傷の生じない、きわめて有用な半導体
レーザーウェハの璧開方法を得ることができるものであ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は断面図、第３図は斜視図である。 符号の説明 ］　：　半４体レーザーウェハ、２ニスクライブ部分、
３：粘着シート、４：透明ノート、５：円柱、６、ヒー
ター、７．短冊状半導体レーザーウェハ、Ｔ：張力。 代理人　弁理士　福　士　愛　彦（他２名）手続補正書 （４Ｍ許庁　殿） １、事件の表示 特願昭５８−１５６７２５ ２、発明の名称 半導体レーザーウェハの襞間方法 ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 ４、代理　人 仕　所　■５４５犬阪１１」阿倍野区長池町２２番２２
号自　発 ６、補正の対象 （１）明細書の発明の詳細な説明の欄 （２）明細書の図面の簡単な説明の欄 （１）明細型の第１頁第１６行の１−短冊状にする１を
「襞間分割する」と訂正します。 （２）明細書の第１頁第１７行の「用いて」を［−ウェ
ハ端部に押し当てて」と訂正しまず。 （３）明細書の第１頁第１８行の［ダイヤモンド針１を
「ダイヤモンド金１等」と訂正しまず。 （４）明細書の第２頁第２行の「短冊状ウェハ」を「襞
間分割された短冊状ウェハ」と３」正しまず。 （５）明細書の第２頁第４行の「共振器Ｊ、：？而−１
を「襞間面にある共振器端面」と訂ｉ１Ｅ　ｌ、まず。 （６）明細書の第２頁第１８行の「短冊」を１−１１η
開分割された短冊」と訂正しまず。 （７）明細書の第３頁第１８行の［７：短冊状半）！゛
ス体レーザーウェハ」を「７：襞間分割された短冊状半
導体レーザーウェハ」と訂正しまず、。 以　１−

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、スクライプ部分を粘着シートに貼シ付けると共に、
   他面を透明シートで覆い、該両シートの両端に張力を与
   えながら、一定温度の円柱に巻きつけることによって、
   スクライプを起点として襞間させることを特徴とする半
   導体レーザーウェハの層間方法。