JPS6047541B2 - 赤外線検出器 - Google Patents
赤外線検出器Info
- Publication number
- JPS6047541B2 JPS6047541B2 JP55124939A JP12493980A JPS6047541B2 JP S6047541 B2 JPS6047541 B2 JP S6047541B2 JP 55124939 A JP55124939 A JP 55124939A JP 12493980 A JP12493980 A JP 12493980A JP S6047541 B2 JPS6047541 B2 JP S6047541B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellet
- pyroelectric
- outer peripheral
- peripheral edge
- infrared detector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N15/00—Thermoelectric devices without a junction of dissimilar materials; Thermomagnetic devices, e.g. using the Nernst-Ettingshausen effect
- H10N15/10—Thermoelectric devices using thermal change of the dielectric constant, e.g. working above and below the Curie point
Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は入射赤外線変化量に応じて電荷を発生する焦
電体ペレットを備えた赤外線検出器に関する。
電体ペレットを備えた赤外線検出器に関する。
通常、入射赤外線変化量に応じて電荷を発生する焦電
体ペレットはその散逸熱が小である程出力が増大する特
性を有しており、従つて従来のペレットは断熱されるべ
く支持台上に宙吊り状態に支持されていた。
体ペレットはその散逸熱が小である程出力が増大する特
性を有しており、従つて従来のペレットは断熱されるべ
く支持台上に宙吊り状態に支持されていた。
しカル乍ら、焦電体ペレットはその厚さが数１０μｍと
極めて薄く且つ形状も数ミリ角と小さいため、上述のよ
うに宙吊りにする場合取扱いに困難を有し素子の股座性
が低かつた。 本発明は斯る点に鑑みてなされたもので
、以下本発明実施例を、人の侵入を検知すると警報を発
する侵入警報器の検知部に用いる赤外線検出器について
、図面に基づいて詳述する。 第１図において、１は入
射赤外線変化量に応じて電荷を発生するタンタル酸リチ
ウム（ＬｉＴａＯ゜）結晶等で形成された焦電体ペレッ
ト、２及び３は夫々ニクロム（Ｎｉ−Ｃｒ）の真空蒸着
により形成された上記ペレット１の表、裏面電極で、表
面電極２は互いに分離され且つ同形状を有する第１及び
第２表面電極２ａ、２ｂからなつて おり、裏面電極３
は上記ペレット１の裏面全面に施されている。
極めて薄く且つ形状も数ミリ角と小さいため、上述のよ
うに宙吊りにする場合取扱いに困難を有し素子の股座性
が低かつた。 本発明は斯る点に鑑みてなされたもので
、以下本発明実施例を、人の侵入を検知すると警報を発
する侵入警報器の検知部に用いる赤外線検出器について
、図面に基づいて詳述する。 第１図において、１は入
射赤外線変化量に応じて電荷を発生するタンタル酸リチ
ウム（ＬｉＴａＯ゜）結晶等で形成された焦電体ペレッ
ト、２及び３は夫々ニクロム（Ｎｉ−Ｃｒ）の真空蒸着
により形成された上記ペレット１の表、裏面電極で、表
面電極２は互いに分離され且つ同形状を有する第１及び
第２表面電極２ａ、２ｂからなつて おり、裏面電極３
は上記ペレット１の裏面全面に施されている。
４ａ及び４ｂは夫々第１及び第２引出線５ａ、５ｂを上
記第１及び第２表面電極２ａ、２ｂに超音波ボンディン
グするための第１及び第２パッドで、該第１及び第２パ
ッドは夫々アルミニウム等の真空蒸着膜から成り上記第
１及び第２表面電極２ａ、２ｂの角部に設けられている
。
記第１及び第２表面電極２ａ、２ｂに超音波ボンディン
グするための第１及び第２パッドで、該第１及び第２パ
ッドは夫々アルミニウム等の真空蒸着膜から成り上記第
１及び第２表面電極２ａ、２ｂの角部に設けられている
。
上記焦電体ペレット１前面において、人が矢印Ａの如
く通過すると、ます第１表面電極２ａ側のペレット１に
て人体から放射された赤外線に基づいて入射赤外線量が
変化する。
く通過すると、ます第１表面電極２ａ側のペレット１に
て人体から放射された赤外線に基づいて入射赤外線量が
変化する。
斯る場合、第１表面電極２ａ側のペレット１に電荷が発
生し、斯る電荷による信号が第１表面電極２ａ及ひ裏面
電極３、第２表面電極２ｂを介して第１、第２引出し線
５ａ、５ｂから外部へ導出される。次いで第２表面電極
２ｂ側のペレット１にて入射赤外線量が変化する。斯る
場合も同様にして信号が第１、第２引出し線５ａ、５ｂ
から外部へ導出される。そ・して、これらの信号に基づ
いて侵入警報器からは警報が発せられる。 尚、上記ペ
レット１において、例えば白熱球の点灯により白熱球か
ら放射される赤外線に対しては、入射赤外線量が変化し
ても第１及ひ第２引出・し線５ａ、５をからの出力信号
は存在しない。
生し、斯る電荷による信号が第１表面電極２ａ及ひ裏面
電極３、第２表面電極２ｂを介して第１、第２引出し線
５ａ、５ｂから外部へ導出される。次いで第２表面電極
２ｂ側のペレット１にて入射赤外線量が変化する。斯る
場合も同様にして信号が第１、第２引出し線５ａ、５ｂ
から外部へ導出される。そ・して、これらの信号に基づ
いて侵入警報器からは警報が発せられる。 尚、上記ペ
レット１において、例えば白熱球の点灯により白熱球か
ら放射される赤外線に対しては、入射赤外線量が変化し
ても第１及ひ第２引出・し線５ａ、５をからの出力信号
は存在しない。
即ち、斯る場合、ペレット１全面に亘つて等量の赤外線
が同時に入射するから、第１及び第２表面電極２ａ、２
ｂには等量且つ同符号の電荷が同時に発生し、従つて第
１及び第２表面電極２ａ、２ｂの電荷は相殺されて第１
及び第２引出し線５ａ，５ｂからは信号が出力されない
。６はペレット１を支持する支持台で、該支持台は例え
ば銅から成つている。
が同時に入射するから、第１及び第２表面電極２ａ、２
ｂには等量且つ同符号の電荷が同時に発生し、従つて第
１及び第２表面電極２ａ、２ｂの電荷は相殺されて第１
及び第２引出し線５ａ，５ｂからは信号が出力されない
。６はペレット１を支持する支持台で、該支持台は例え
ば銅から成つている。
上記支持台６の構造を更に説明するに、上記支持台６が
上記ペレット１と相対する上面の外周縁部７においての
み、上記ペレット１を接着剤（図示しない）にて接着支
持すべく、上記外周縁部７以外は深さ２０ｐｍ，以上に
酸エッチングされて空間、即ち凹部８となつている。斯
る凹部８により、上記ペレット１の散逸熱を充分に小さ
く抑えることができ、従つて従来の如くペレットを宙吊
り状態に堡Ａする場合と同様に出力を充分増大できる。
又、上記外周縁部７の一部として、上記第１及び第２バ
ッド４ａ，４ｂ直下にも上記ペレット１を支持する第１
及び第２台９ａ，９ｂが設けられている。斯る第１及び
第２台９ａ，９ｂは、夫々上記ペレット１に上記第１及
び第２引出し線５ａ，５ｂを超音波ボンディングする際
に、上記ペレット１が破損しないように支持するための
ものである。更に、本発明構造によれば、赤外線検出器
の製造工程が極めて簡単となり最産に適したものとなる
。
上記ペレット１と相対する上面の外周縁部７においての
み、上記ペレット１を接着剤（図示しない）にて接着支
持すべく、上記外周縁部７以外は深さ２０ｐｍ，以上に
酸エッチングされて空間、即ち凹部８となつている。斯
る凹部８により、上記ペレット１の散逸熱を充分に小さ
く抑えることができ、従つて従来の如くペレットを宙吊
り状態に堡Ａする場合と同様に出力を充分増大できる。
又、上記外周縁部７の一部として、上記第１及び第２バ
ッド４ａ，４ｂ直下にも上記ペレット１を支持する第１
及び第２台９ａ，９ｂが設けられている。斯る第１及び
第２台９ａ，９ｂは、夫々上記ペレット１に上記第１及
び第２引出し線５ａ，５ｂを超音波ボンディングする際
に、上記ペレット１が破損しないように支持するための
ものである。更に、本発明構造によれば、赤外線検出器
の製造工程が極めて簡単となり最産に適したものとなる
。
即ち、第２図に示すように、支持台１０上面に酸エッチ
ングにより深さ２０ｐｍ以上の上記凹部８，８，・・・
・を縦横等間隔に形成する。この時、５上記各凹部８，
８，・・・・に対応して各々外周縁部７，７，・・が形
成されることは勿論である。又、上記酸エッチング時に
は上記各凹部８，８，・・・・の２隅に上記第１及び第
２台９ａ，９ｂを上記各外周縁部７，７，・・・・の一
部として残すよう。にする。そして、上記支持台１０上
面の第１及び第２台９ａ，９ｂを含む外周縁部７，７，
・・・・上に接着剤にて焦電体ウェーハ（図示しない）
を接着支持する。その後、凹部８、外周縁部７及び第１
、第２台９ａ，９ｂにて一つの組を形成すべく、上記焦
電体ウェーハを上記支持台１０と共にダイシングすれば
第１図に示す如き焦電体ペレット１及び支持台６を含む
赤外線検出器が大量に得られる。尚、上記ダイシング前
には、上記焦電体ウェーハの表裏面に上記焦電体ペレッ
ト１及び支持台６に対応して第１、第２表面電極２ａ，
２ｂ及び裏面電極３が形成される。本発明実施例では、
支持台６とペレット１とのその相対する各々の面の外周
縁部７以外において、上記各面間に空間を形成するに、
支持体６のその上面にて外周縁部７以外に凹部８を設け
ていたが、平坦な支持台上面の外周縁部にペレットの接
着を兼ねて接着剤を厚さ２０μｍｌこ塗布するようにし
ても良い。
ングにより深さ２０ｐｍ以上の上記凹部８，８，・・・
・を縦横等間隔に形成する。この時、５上記各凹部８，
８，・・・・に対応して各々外周縁部７，７，・・が形
成されることは勿論である。又、上記酸エッチング時に
は上記各凹部８，８，・・・・の２隅に上記第１及び第
２台９ａ，９ｂを上記各外周縁部７，７，・・・・の一
部として残すよう。にする。そして、上記支持台１０上
面の第１及び第２台９ａ，９ｂを含む外周縁部７，７，
・・・・上に接着剤にて焦電体ウェーハ（図示しない）
を接着支持する。その後、凹部８、外周縁部７及び第１
、第２台９ａ，９ｂにて一つの組を形成すべく、上記焦
電体ウェーハを上記支持台１０と共にダイシングすれば
第１図に示す如き焦電体ペレット１及び支持台６を含む
赤外線検出器が大量に得られる。尚、上記ダイシング前
には、上記焦電体ウェーハの表裏面に上記焦電体ペレッ
ト１及び支持台６に対応して第１、第２表面電極２ａ，
２ｂ及び裏面電極３が形成される。本発明実施例では、
支持台６とペレット１とのその相対する各々の面の外周
縁部７以外において、上記各面間に空間を形成するに、
支持体６のその上面にて外周縁部７以外に凹部８を設け
ていたが、平坦な支持台上面の外周縁部にペレットの接
着を兼ねて接着剤を厚さ２０μｍｌこ塗布するようにし
ても良い。
斯る場合の接着剤としては、エポテツク社製の品番Ｈ−
６１のエポキシ系接着剤が適当である。以上の説明から
明らかな如く、本発明によれば、焦電体ペレットと該ペ
レットを支持する支持台とのその相対する各々の面の外
周縁部以外において、上記各面間に空間を形成するよう
にしたから、焦電体ペレットの散逸熱を充分に小とでき
出力を増大でききると共に、製造工程が簡単且つ量産に
適した赤外線検出器を提供できる。
６１のエポキシ系接着剤が適当である。以上の説明から
明らかな如く、本発明によれば、焦電体ペレットと該ペ
レットを支持する支持台とのその相対する各々の面の外
周縁部以外において、上記各面間に空間を形成するよう
にしたから、焦電体ペレットの散逸熱を充分に小とでき
出力を増大でききると共に、製造工程が簡単且つ量産に
適した赤外線検出器を提供できる。
第１図は本発明実施例赤外線検出器の一部分解斜視図、
第２図は同検出器の量産製造に用いる支持台の平面図で
ある。 １・・・・・・焦電体ペレット、６・・・・・・支持台
、７・・・外周縁部、８・・・・・凹部。
第２図は同検出器の量産製造に用いる支持台の平面図で
ある。 １・・・・・・焦電体ペレット、６・・・・・・支持台
、７・・・外周縁部、８・・・・・凹部。
Claims (1)
- １ 支持台にて支持され、入射赤外線変化量に応じて電
荷を発生する焦電体ペレットを備え、上記支持台とペレ
ットとのその相対する各々の面の外周縁部以外において
、上記各面間に空間を形成したことを特徴とする赤外線
検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55124939A JPS6047541B2 (ja) | 1980-09-08 | 1980-09-08 | 赤外線検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55124939A JPS6047541B2 (ja) | 1980-09-08 | 1980-09-08 | 赤外線検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5748623A JPS5748623A (en) | 1982-03-20 |
| JPS6047541B2 true JPS6047541B2 (ja) | 1985-10-22 |
Family
ID=14897919
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55124939A Expired JPS6047541B2 (ja) | 1980-09-08 | 1980-09-08 | 赤外線検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6047541B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63294868A (ja) * | 1987-05-27 | 1988-12-01 | 山上恒産株式会社 | 降下用の胴衣 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5928629A (ja) * | 1982-08-10 | 1984-02-15 | Sanyo Electric Co Ltd | 焦電型赤外線検出器の製造方法 |
| EP0630058A3 (de) * | 1993-05-19 | 1995-03-15 | Siemens Ag | Verfahren zur Herstellung einer Pyrodetektoranordnung durch elektronisches Ätzen eines Silizium Substrats. |
-
1980
- 1980-09-08 JP JP55124939A patent/JPS6047541B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63294868A (ja) * | 1987-05-27 | 1988-12-01 | 山上恒産株式会社 | 降下用の胴衣 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5748623A (en) | 1982-03-20 |
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