JPS6047944A - 発光分析装置 - Google Patents
発光分析装置Info
- Publication number
- JPS6047944A JPS6047944A JP15702383A JP15702383A JPS6047944A JP S6047944 A JPS6047944 A JP S6047944A JP 15702383 A JP15702383 A JP 15702383A JP 15702383 A JP15702383 A JP 15702383A JP S6047944 A JPS6047944 A JP S6047944A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spark
- discharge
- analysis
- output
- arc
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/2803—Investigating the spectrum using photoelectric array detector
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/443—Emission spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J2001/4242—Modulated light, e.g. for synchronizing source and detector circuit
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明は火花放電を光源とする発光分析装置で、複数種
の元素の同時分析に適するものである。
の元素の同時分析に適するものである。
（ロ）従来技術
火花放電を用いた発光分析では放電条件を適当に選ぶこ
とによって分析感度２分析精度の向上が得られる。放電
条件としては通常ノーマルスパークとアークライクスパ
ークの２種が選択される。
とによって分析感度２分析精度の向上が得られる。放電
条件としては通常ノーマルスパークとアークライクスパ
ークの２種が選択される。
ノーマルスパークは高電圧で持続時間が６０μ秒程度と
短いものでアリ、アークライクスパークは比較的低電圧
で持続時間が２００μ秒程度とかなシ長い放電である。
短いものでアリ、アークライクスパークは比較的低電圧
で持続時間が２００μ秒程度とかなシ長い放電である。
鋼中の炭素Ｃ２燐Ｐ、ホウ素Ｂ、ヒ素Ａ ｓ 、硫黄Ｓ
などはアークライクスパークを用いるとノーマルスパー
クの場合に比し２〜３倍程度感度が向上する。他方鋼中
のケイ素Ｓ１、マンガンＭｎ等の分析にはノーマルスパ
ークが適している。
などはアークライクスパークを用いるとノーマルスパー
クの場合に比し２〜３倍程度感度が向上する。他方鋼中
のケイ素Ｓ１、マンガンＭｎ等の分析にはノーマルスパ
ークが適している。
このため一つの試料について多元素分析を行う場合、従
来は分析を前後２段に分け、前段ではノーマルスパーク
による分析を行い、後段ではアークライクスパークによ
る分析を行うと云うような方法を採っていた。このよう
な分析のスケジュールの一例を第１図に示す。この図で
Ａは試料面を清浄化し、発光を安定化させるだめの予備
放電期間、Ｂはノーマルスパークによる分析期間、Ｃは
アークライクスパークを行う前の予備放電期間でＤはア
ークライクスパークによる分析期間である。
来は分析を前後２段に分け、前段ではノーマルスパーク
による分析を行い、後段ではアークライクスパークによ
る分析を行うと云うような方法を採っていた。このよう
な分析のスケジュールの一例を第１図に示す。この図で
Ａは試料面を清浄化し、発光を安定化させるだめの予備
放電期間、Ｂはノーマルスパークによる分析期間、Ｃは
アークライクスパークを行う前の予備放電期間でＤはア
ークライクスパークによる分析期間である。
各分析期間には夫々数百回の放電発光による測光出力を
積分するので、５秒程度の時間を要し、２段階分析では
最低１０秒位の時間が必要となる。
積分するので、５秒程度の時間を要し、２段階分析では
最低１０秒位の時間が必要となる。
生産工程における品質管理では短時間に多数の試料を分
析する必要があり、−試料について１０秒余の時間を費
すような時間的余祐はなかなか得ｇｅｔいので、分析所
要時間の短縮が強く望まれている。また二段分析では途
中で放電条件を切換える際、−瞬放電を停止するので、
分析結果に予期しない悪影響が現われる。
析する必要があり、−試料について１０秒余の時間を費
すような時間的余祐はなかなか得ｇｅｔいので、分析所
要時間の短縮が強く望まれている。また二段分析では途
中で放電条件を切換える際、−瞬放電を停止するので、
分析結果に予期しない悪影響が現われる。
ｅｌ） 目 的
本発明は多種元素に適した放電条件を適用しながら、・
しかも一段の分析で各元素の分析を行い得るようにする
ことによシ、短時間でかつ各元素とも高感度の分析がで
きるようにしようとするものである。
しかも一段の分析で各元素の分析を行い得るようにする
ことによシ、短時間でかつ各元素とも高感度の分析がで
きるようにしようとするものである。
（ニ）構 成
本発明は一放電の間にノーマルスパークとそれに続くア
ークライクスパークとが行われるコンバインドスパーク
を用い、各放電毎に測光出力サンプリングのタイミング
を設定して一放電中に時分割的に複数の測光出力をサン
プリングし、これらのサンプリングデータを全放電回数
にわたって各別に積分するようにした発光分析装置を提
供する。
ークライクスパークとが行われるコンバインドスパーク
を用い、各放電毎に測光出力サンプリングのタイミング
を設定して一放電中に時分割的に複数の測光出力をサン
プリングし、これらのサンプリングデータを全放電回数
にわたって各別に積分するようにした発光分析装置を提
供する。
第２図は各種の放電条件による光電流の時間的第３図イ
は一個のコンバインドスパーク例おける光電流の変化を
示し、Ａはノーマルスパーク領域、Ｂ［アークライクス
パーク領域で、測光出力サンプリングのタイミングを第
３図口のように設定するとノーマルスパークによる分析
データが得られ、同ハのように設定するとアークライク
スパークによる分析データが得られ、口、ハ両方のサン
プリングパルスを併用することで、一段の分析でノーマ
ルスパークによる分析とアークライクスパークに」：る
分析とが完了する。
は一個のコンバインドスパーク例おける光電流の変化を
示し、Ａはノーマルスパーク領域、Ｂ［アークライクス
パーク領域で、測光出力サンプリングのタイミングを第
３図口のように設定するとノーマルスパークによる分析
データが得られ、同ハのように設定するとアークライク
スパークによる分析データが得られ、口、ハ両方のサン
プリングパルスを併用することで、一段の分析でノーマ
ルスパークによる分析とアークライクスパークに」：る
分析とが完了する。
（ホ）実施例
第４図は本発明の一実施例装置の構成を示す。
Ｐ１〜Ｐｎは光電変換素子で図外の分光器のスペクトル
像面上で夫々分析しようとする元素の輝線位置に設置さ
れている。１１〜Ｉｎは各光電変換素子に後続する区間
積分器で、第３図口或はノ・に示すようなサンプリング
パルスが印加されている間だけ測光出力を取入れ積分す
る積分器で、積分の開始に先立ちリセットされる。Ａ
：Ｉ） Ｃ１，〜Ａｉ）Ｃｎｉ−１：Ａ／Ｄ変換器で、
対応する積分器の積分動作終了後、積分出力をＡ ／
Ｄ変換する。Ｍｕはディジタルマルチプレクサで、各Ａ
／ Ｄ変換器ＡＤＣ１〜ＡＤＣｎの出力データを順次
取出し制御コンピュータＣＰＵに入力する。サンプリン
グパルスは火花放電発光装置Ｓにおける放電動作と連動
１７ておシ、火花放電のトリガと同期したトリガ信号が
サンプリングパルス発生回路Ｇに印加される。
像面上で夫々分析しようとする元素の輝線位置に設置さ
れている。１１〜Ｉｎは各光電変換素子に後続する区間
積分器で、第３図口或はノ・に示すようなサンプリング
パルスが印加されている間だけ測光出力を取入れ積分す
る積分器で、積分の開始に先立ちリセットされる。Ａ
：Ｉ） Ｃ１，〜Ａｉ）Ｃｎｉ−１：Ａ／Ｄ変換器で、
対応する積分器の積分動作終了後、積分出力をＡ ／
Ｄ変換する。Ｍｕはディジタルマルチプレクサで、各Ａ
／ Ｄ変換器ＡＤＣ１〜ＡＤＣｎの出力データを順次
取出し制御コンピュータＣＰＵに入力する。サンプリン
グパルスは火花放電発光装置Ｓにおける放電動作と連動
１７ておシ、火花放電のトリガと同期したトリガ信号が
サンプリングパルス発生回路Ｇに印加される。
サンプリングパルス発生回路は各独立にパルス幅が設定
できるモノマルチ回路群であって、−放電毎にサンプリ
ングパルスを発生し、所定の区間積分器工１〜Ｉｎに送
っている。各サンプリングパルスの幅及び立上りのタイ
ミングは夫々モノマルチの出力パルスの幅を調整するこ
とで、各元素につき最適に設定できる。マルチプレクサ
Ｍ ｕは火花放電の一周期の間に各Ａ ／ Ｄ変換器Ａ
ＤＣＩ〜ＡＤＣｎの一走査を完了し、ＣＰＵはマルチプ
レクサＭｕから送られて来る一放電毎の各元素のサンプ
リング測光出力の積分データを弁別してメモリＭＯにお
ける各元素対応アト゛レスに入力し積３つする。所定回
数の放電が終ったら、ＣＰＵはメモＩＪ Ｍ ｅ内の各
元素のデータ積算値を読出し、ＣＲＴに表示すると共に
プリンタＲによって印字する。
できるモノマルチ回路群であって、−放電毎にサンプリ
ングパルスを発生し、所定の区間積分器工１〜Ｉｎに送
っている。各サンプリングパルスの幅及び立上りのタイ
ミングは夫々モノマルチの出力パルスの幅を調整するこ
とで、各元素につき最適に設定できる。マルチプレクサ
Ｍ ｕは火花放電の一周期の間に各Ａ ／ Ｄ変換器Ａ
ＤＣＩ〜ＡＤＣｎの一走査を完了し、ＣＰＵはマルチプ
レクサＭｕから送られて来る一放電毎の各元素のサンプ
リング測光出力の積分データを弁別してメモリＭＯにお
ける各元素対応アト゛レスに入力し積３つする。所定回
数の放電が終ったら、ＣＰＵはメモＩＪ Ｍ ｅ内の各
元素のデータ積算値を読出し、ＣＲＴに表示すると共に
プリンタＲによって印字する。
第５図は区間積分器の一例を示す。オペアンプＯＡとコ
ンデンサＣとで通常の積分回路が構成されておシ、コン
デンサＣと並列にリセット用のＦＥＴが接続してあり、
ＳＨはサンプルホールド回路である。」二連したサンプ
リングパルス発生回路Ｇからはトリガ信号によシ発せら
れるリセットパルスとそれに続くサンプリングパルス（
第３図イ又は口が送られてくる。リセットパルスｕＦＥ
Ｔのゲートに印加され、ＦＥＴが導通せしめられて積分
回路はリセットされ、引続き積分を開始する。
ンデンサＣとで通常の積分回路が構成されておシ、コン
デンサＣと並列にリセット用のＦＥＴが接続してあり、
ＳＨはサンプルホールド回路である。」二連したサンプ
リングパルス発生回路Ｇからはトリガ信号によシ発せら
れるリセットパルスとそれに続くサンプリングパルス（
第３図イ又は口が送られてくる。リセットパルスｕＦＥ
Ｔのゲートに印加され、ＦＥＴが導通せしめられて積分
回路はリセットされ、引続き積分を開始する。
サンプルホールド回路はサンプリングパルスによって入
口ゲートが開かれ、積分回路の出力を取込み、サンプリ
ングパルスの立下り直前の積分出力をホールドし、この
ホールドされた信号が第４図におけるＡ ／ Ｄ変換器
ＡＤＣＩ〜ＡＤＣ：ｎに入力される。
口ゲートが開かれ、積分回路の出力を取込み、サンプリ
ングパルスの立下り直前の積分出力をホールドし、この
ホールドされた信号が第４図におけるＡ ／ Ｄ変換器
ＡＤＣＩ〜ＡＤＣ：ｎに入力される。
（へ）効 果
本発明によれば、−放電において各元素に適したタイミ
ングで測光出力をサンプリングして、多数回の放電につ
き、測光出力を積分す′るので、一段の分析期間で多種
元素を夫々最適放電条件により分析できることになり、
従来の多段分析に比し分析能率が向上し、しかも各元素
について最適条件が得られているので分析感度は良好で
ある。また多段分析における途中の放電停止がないから
、放電停止がはさまることにより生ずる悪影響が避けら
れる。
ングで測光出力をサンプリングして、多数回の放電につ
き、測光出力を積分す′るので、一段の分析期間で多種
元素を夫々最適放電条件により分析できることになり、
従来の多段分析に比し分析能率が向上し、しかも各元素
について最適条件が得られているので分析感度は良好で
ある。また多段分析における途中の放電停止がないから
、放電停止がはさまることにより生ずる悪影響が避けら
れる。
第１図は二段分析のスケジュールの一例のタイムチャー
ト、第２図は各種放電による発光曲線のグラフ、第３図
はコンバインドスパークにおける発光曲線とサンプリン
グパルスを示すグラフ、第４図は本発明の一実施例のブ
ロック図、第５図は区間積分器の一例の回路図である。 Ｐ１〜Ｐｎ・・・光電変換素子、Ａ Ｄ Ｃ］〜Ａ Ｄ
Ｃｎ・・・Ａ ／ Ｄ変換器、ＣＰＵ・・・制御コン
ピュータ、Ｍｅ・・・メモリ。 代理人 弁理士 縣 浩 介
ト、第２図は各種放電による発光曲線のグラフ、第３図
はコンバインドスパークにおける発光曲線とサンプリン
グパルスを示すグラフ、第４図は本発明の一実施例のブ
ロック図、第５図は区間積分器の一例の回路図である。 Ｐ１〜Ｐｎ・・・光電変換素子、Ａ Ｄ Ｃ］〜Ａ Ｄ
Ｃｎ・・・Ａ ／ Ｄ変換器、ＣＰＵ・・・制御コン
ピュータ、Ｍｅ・・・メモリ。 代理人 弁理士 縣 浩 介
Claims (1)
- 一放電の間にノーマルスパークとアークライクスパーク
を含むコンバインドスパークを行わせる火花放電発光装
置と、火花放電と同期して一火花放電中に任意のタイミ
ングを設定するタイミングパルス発生器と、各元素に対
応させた光電変換器に後続し、上記タイミングパルス発
生器の出力パルスによって制御され、毎放電ごとに一放
電中の特定の期間だけ光電変換出力を取込み積分する区
間積分器と、各区間積分器の出力を所定放電回数分だけ
積分する積算手段とを有する発光分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15702383A JPS6047944A (ja) | 1983-08-26 | 1983-08-26 | 発光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15702383A JPS6047944A (ja) | 1983-08-26 | 1983-08-26 | 発光分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6047944A true JPS6047944A (ja) | 1985-03-15 |
| JPS6411134B2 JPS6411134B2 (ja) | 1989-02-23 |
Family
ID=15640491
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15702383A Granted JPS6047944A (ja) | 1983-08-26 | 1983-08-26 | 発光分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6047944A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62103541A (ja) * | 1985-06-30 | 1987-05-14 | Shimadzu Corp | 発光分析方法 |
| JPH01229942A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-09-13 | Shimadzu Corp | 発光分光分析装置 |
| JPH08210980A (ja) * | 1987-11-30 | 1996-08-20 | Shimadzu Corp | 発光分光分析装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4969183A (ja) * | 1972-11-02 | 1974-07-04 | ||
| JPS5580040A (en) * | 1978-12-13 | 1980-06-16 | Shimadzu Corp | Light source apparatus for luminous spectrochemical analyzer |
-
1983
- 1983-08-26 JP JP15702383A patent/JPS6047944A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4969183A (ja) * | 1972-11-02 | 1974-07-04 | ||
| JPS5580040A (en) * | 1978-12-13 | 1980-06-16 | Shimadzu Corp | Light source apparatus for luminous spectrochemical analyzer |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62103541A (ja) * | 1985-06-30 | 1987-05-14 | Shimadzu Corp | 発光分析方法 |
| JPH01229942A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-09-13 | Shimadzu Corp | 発光分光分析装置 |
| JPH08210980A (ja) * | 1987-11-30 | 1996-08-20 | Shimadzu Corp | 発光分光分析装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6411134B2 (ja) | 1989-02-23 |
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