JPS6049152U - スパッタ装置 - Google Patents
スパッタ装置Info
- Publication number
- JPS6049152U JPS6049152U JP1983140266U JP14026683U JPS6049152U JP S6049152 U JPS6049152 U JP S6049152U JP 1983140266 U JP1983140266 U JP 1983140266U JP 14026683 U JP14026683 U JP 14026683U JP S6049152 U JPS6049152 U JP S6049152U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- case
- cathode
- magnetic
- sputtering
- generating means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は、従来のプレーナマグネトロン方式スパッタ装
置のスパッタ電極の縦断面図、第２図は、本考案による
プレーナマグネトロン方式スパッタ装置の一実施例を示
すスパッタ電極の縦断面図である。 １０・・・・・・真空室、２０・・・・・・冷媒入口、
２１・・・・・・冷媒出口、２２・・・・・・ケース、
２３・・・・・・陰極、２４′・・・・・・磁界発生手
段、２５・・・・・・陽極、２６′・・・・・・スパッ
タ電極、３０′ないし３２′・・・・・・磁極、３３．
３４・・・・・・コイル ３５ ’ ａｓｓｅｓｓヨー
ク。
置のスパッタ電極の縦断面図、第２図は、本考案による
プレーナマグネトロン方式スパッタ装置の一実施例を示
すスパッタ電極の縦断面図である。 １０・・・・・・真空室、２０・・・・・・冷媒入口、
２１・・・・・・冷媒出口、２２・・・・・・ケース、
２３・・・・・・陰極、２４′・・・・・・磁界発生手
段、２５・・・・・・陽極、２６′・・・・・・スパッ
タ電極、３０′ないし３２′・・・・・・磁極、３３．
３４・・・・・・コイル ３５ ’ ａｓｓｅｓｓヨー
ク。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １真空室と一端面で連通し設けられると共に冷媒出入口
が設けられたケースと、該ケースの一端面に設けられた
陰極と、該陰極と前記ケースとで形成された空間に内設
された磁界発生手段と、前記陰極と所定の空間を設けて
設けられた陽極とで構成されスパッタ電極を有する装置
において、前記磁界発生手段をコイルと共に構成する磁
極並びにヨークを磁性流体で形成したことを特徴とする
スパッタ装置。 ２ 前記磁性流体を、前記冷媒出入口から前記ケースに
導入出される磁性流体とした実用新案登録請求の範囲第
１項記載のスパッタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983140266U JPS6049152U (ja) | 1983-09-12 | 1983-09-12 | スパッタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983140266U JPS6049152U (ja) | 1983-09-12 | 1983-09-12 | スパッタ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6049152U true JPS6049152U (ja) | 1985-04-06 |
Family
ID=30314111
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1983140266U Pending JPS6049152U (ja) | 1983-09-12 | 1983-09-12 | スパッタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6049152U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020202125A (ja) * | 2019-06-12 | 2020-12-17 | 新日本無線株式会社 | マグネトロン用電磁石 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54114716A (en) * | 1978-02-28 | 1979-09-07 | Tdk Corp | Transformer |
-
1983
- 1983-09-12 JP JP1983140266U patent/JPS6049152U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54114716A (en) * | 1978-02-28 | 1979-09-07 | Tdk Corp | Transformer |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020202125A (ja) * | 2019-06-12 | 2020-12-17 | 新日本無線株式会社 | マグネトロン用電磁石 |
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