JPS6049152U - スパッタ装置 - Google Patents

スパッタ装置

Info

Publication number
JPS6049152U
JPS6049152U JP14026683U JP14026683U JPS6049152U JP S6049152 U JPS6049152 U JP S6049152U JP 14026683 U JP14026683 U JP 14026683U JP 14026683 U JP14026683 U JP 14026683U JP S6049152 U JPS6049152 U JP S6049152U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
case
cathode
magnetic
sputtering
generating means
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP14026683U
Other languages
English (en)
Inventor
加藤　重和
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP14026683U priority Critical patent/JPS6049152U/ja
Publication of JPS6049152U publication Critical patent/JPS6049152U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、従来のプレーナマグネトロン方式スパッタ装
置のスパッタ電極の縦断面図、第２図は、本考案による
プレーナマグネトロン方式スパッタ装置の一実施例を示
すスパッタ電極の縦断面図である。 １０・・・・・・真空室、２０・・・・・・冷媒入口、
２１・・・・・・冷媒出口、２２・・・・・・ケース、
２３・・・・・・陰極、２４′・・・・・・磁界発生手
段、２５・・・・・・陽極、２６′・・・・・・スパッ
タ電極、３０′ないし３２′・・・・・・磁極、３３．
３４・・・・・・コイル　３５　’　ａｓｓｅｓｓヨー
ク。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １真空室と一端面で連通し設けられると共に冷媒出入口
    が設けられたケースと、該ケースの一端面に設けられた
    陰極と、該陰極と前記ケースとで形成された空間に内設
    された磁界発生手段と、前記陰極と所定の空間を設けて
    設けられた陽極とで構成されスパッタ電極を有する装置
    において、前記磁界発生手段をコイルと共に構成する磁
    極並びにヨークを磁性流体で形成したことを特徴とする
    スパッタ装置。 ２　前記磁性流体を、前記冷媒出入口から前記ケースに
    導入出される磁性流体とした実用新案登録請求の範囲第
    １項記載のスパッタ装置。
JP14026683U 1983-09-12 1983-09-12 スパッタ装置 Pending JPS6049152U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14026683U JPS6049152U (ja) 1983-09-12 1983-09-12 スパッタ装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14026683U JPS6049152U (ja) 1983-09-12 1983-09-12 スパッタ装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6049152U true JPS6049152U (ja) 1985-04-06

Family

ID=30314111

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14026683U Pending JPS6049152U (ja) 1983-09-12 1983-09-12 スパッタ装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6049152U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020202125A (ja) * 2019-06-12 2020-12-17 新日本無線株式会社 マグネトロン用電磁石

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54114716A (en) * 1978-02-28 1979-09-07 Tdk Corp Transformer

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54114716A (en) * 1978-02-28 1979-09-07 Tdk Corp Transformer

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020202125A (ja) * 2019-06-12 2020-12-17 新日本無線株式会社 マグネトロン用電磁石

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6049152U (ja) スパッタ装置
JPS5927499A (ja) 簡単で高能率なシ−トプラズマの生成法
JPS6331481Y2 (ja)
JPS59191750U (ja) アルゴンイオンレ−ザ装置
JPS6064559U (ja) 放電トリガ−
JPS58168566U (ja) スパツタリング装置
JPS59187136U (ja) 半導体薄膜形成装置
JPS5823255U (ja) 溶融金属急冷法により製造される磁性薄帯板の巻取用リ−ル
JPS60184254U (ja) 陰極線管
JPS58107550U (ja) 電子ビ−ム管
JPS597551U (ja) マグネトロン
JPS59152555U (ja) イオン源装置
JPS5861461U (ja) スパツタリング装置
JPS58126598A (ja) 電磁ブザ−
JPS5979954U (ja) パルスマグネトロン
JPS58142910U (ja) 着磁消磁型自己保持ソレノイド
JPS58193774U (ja) コアレスモ−タ
JPS5588247A (en) Magnet built-in type magnetron
JPS58144750U (ja) イオン打込機のイオン源部
JPS58120549U (ja) 磁石内蔵型マグネトロン
JPS59180357U (ja) マグネトロン
JPS5924234U (ja) 電磁チヤツク
JPS59152593U (ja) 高周波加熱装置
JPS59169352U (ja) スパツタリング装置の電極部構造
JPS5852739U (ja) 磁気検知器