JPS5954545U - プラズマ放電電極の冷却装置 - Google Patents

プラズマ放電電極の冷却装置

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JPS5954545U
JPS5954545U JP14919382U JP14919382U JPS5954545U JP S5954545 U JPS5954545 U JP S5954545U JP 14919382 U JP14919382 U JP 14919382U JP 14919382 U JP14919382 U JP 14919382U JP S5954545 U JPS5954545 U JP S5954545U
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JP
Japan
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discharge electrode
electrode plate
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cooling device
plasma discharge
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JP14919382U
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高宮　博
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  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Drying Of Semiconductors (AREA)
  • Polymerisation Methods In General (AREA)
  • Other Resins Obtained By Reactions Not Involving Carbon-To-Carbon Unsaturated Bonds (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す縦断面図、第２図は電
極装置の正面図、第３図は第２図の■−■断面図、第４
図は第１図の要部拡大断面図である。 １・・・電極板、２・・・磁石ケース、３・・・ケース
カバー、６・・・表面保護カバー、７・・・裏面保護カ
バー、９・・・第１磁石、１０・・・第２磁石、１１・
・・環状磁性体板、１２・・・冷却水路、２１・・・第
１電極支柱、２２・・・第２電極支柱、２３・・・真空
チャンバ、２４　　　′・・・冷却水入口管、２５・・
・冷却水出口管、３０・・・冷却木管取付金具。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 真空チャンバ内に収容され゛た放電電極板と、その裏面
    に設けられた磁石と、前記電極板の裏面に設けられた冷
    却水路と、該冷却水路に接続されて前記チャンバの壁を
    貫通して該チャンバの外側べ延びた電気絶縁性冷却水管
    とを含むプラズマ放電電極の冷却装置。
JP14919382U 1982-09-30 1982-09-30 プラズマ放電電極の冷却装置 Expired JPS6026097Y2 (ja)

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JPS6026097Y2 JPS6026097Y2 (ja) 1985-08-06

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