JPS6049680A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
- Publication number
- JPS6049680A JPS6049680A JP58157338A JP15733883A JPS6049680A JP S6049680 A JPS6049680 A JP S6049680A JP 58157338 A JP58157338 A JP 58157338A JP 15733883 A JP15733883 A JP 15733883A JP S6049680 A JPS6049680 A JP S6049680A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- receiving section
- photocurrents
- metal
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
- H10F77/20—Electrodes
- H10F77/206—Electrodes for devices having potential barriers
- H10F77/241—Electrodes for devices having potential barriers comprising ring electrodes
Landscapes
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体装置にかかり、特に、金属−半導体接合
の光起電効果を利用し光検出する機能を有する半導体装
置に関するものである。
の光起電効果を利用し光検出する機能を有する半導体装
置に関するものである。
従来、金属−半導体接合を利用した光電変換素子は、金
属電極を光が透過するほどの薄さにした場合やくし形雷
、極構造がとられ、主に電力変換を目的としたため、接
合面積が比較的太き力場台が多かった。しかし人から、
電力変換を目的とじカぃ場合、すカわち、光検出器とし
て利用する場合は、光電流出力は少さく力るもの、接合
面積を小さくした方が、金属−半導体接合容量が少さく
でき光応答速度も速くなる。また、接合面積が小さく力
っただけ接合の逆方向リーク電流が減少し、基板上の結
晶欠陥上に接合を設ける確率も小さくなり、より、理想
的な特性を有する光検出器となる。
属電極を光が透過するほどの薄さにした場合やくし形雷
、極構造がとられ、主に電力変換を目的としたため、接
合面積が比較的太き力場台が多かった。しかし人から、
電力変換を目的とじカぃ場合、すカわち、光検出器とし
て利用する場合は、光電流出力は少さく力るもの、接合
面積を小さくした方が、金属−半導体接合容量が少さく
でき光応答速度も速くなる。また、接合面積が小さく力
っただけ接合の逆方向リーク電流が減少し、基板上の結
晶欠陥上に接合を設ける確率も小さくなり、より、理想
的な特性を有する光検出器となる。
本発明はこのような光検出を目的とする金属−半導体接
合に有効−&m造を提案するものであり、受光部におけ
る光電流収集のための金属電極を受光部の周辺だけに設
けることを特徴とする。
合に有効−&m造を提案するものであり、受光部におけ
る光電流収集のための金属電極を受光部の周辺だけに設
けることを特徴とする。
以下、本発明の実施例を図面によって説明する。
第1図は断面図、第2図は正面図である。それぞれの図
に示したように、半導体基板1上に光電流収集のための
金属電極2を受光部3の周辺だけに設けたことを特徴と
する。4は、絶縁層である。
に示したように、半導体基板1上に光電流収集のための
金属電極2を受光部3の周辺だけに設けたことを特徴と
する。4は、絶縁層である。
受光部3の径が、金属−半導体接合により生じる空乏層
の受光面方向への広がり幅と基板材料のキャリア拡散長
の2倍以内々らば、受光部で発生したキャリアは損失な
く金属電極に到達し、光電流として寄与する。
の受光面方向への広がり幅と基板材料のキャリア拡散長
の2倍以内々らば、受光部で発生したキャリアは損失な
く金属電極に到達し、光電流として寄与する。
第1図および第2図はそれぞれ本発明実施例の断面図お
よび正面図である。 々お図において、1は半導体基板、2は金属電極、3は
受光部、4は絶縁層、である。 3− 拓l囚 第2圀
よび正面図である。 々お図において、1は半導体基板、2は金属電極、3は
受光部、4は絶縁層、である。 3− 拓l囚 第2圀
Claims (1)
- 金属−半導体接合構造による光起電効果を利用して光を
検出する半導体装置にお(・て、充電流収集金属電極が
受光部の周辺のみに設けられていることを特徴とする半
導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58157338A JPS6049680A (ja) | 1983-08-29 | 1983-08-29 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58157338A JPS6049680A (ja) | 1983-08-29 | 1983-08-29 | 半導体装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6049680A true JPS6049680A (ja) | 1985-03-18 |
Family
ID=15647500
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58157338A Pending JPS6049680A (ja) | 1983-08-29 | 1983-08-29 | 半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6049680A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107507875A (zh) * | 2017-08-14 | 2017-12-22 | 江苏科来材料科技有限公司 | 一种背接触太阳能电池片电极环绕交错结构及制备方法 |
-
1983
- 1983-08-29 JP JP58157338A patent/JPS6049680A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107507875A (zh) * | 2017-08-14 | 2017-12-22 | 江苏科来材料科技有限公司 | 一种背接触太阳能电池片电极环绕交错结构及制备方法 |
| CN107507875B (zh) * | 2017-08-14 | 2024-01-26 | 江苏科来材料科技有限公司 | 一种背接触太阳能电池片电极环绕交错结构及制备方法 |
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