JPS6050417A - 工業計器自動試験装置 - Google Patents
工業計器自動試験装置Info
- Publication number
- JPS6050417A JPS6050417A JP15875283A JP15875283A JPS6050417A JP S6050417 A JPS6050417 A JP S6050417A JP 15875283 A JP15875283 A JP 15875283A JP 15875283 A JP15875283 A JP 15875283A JP S6050417 A JPS6050417 A JP S6050417A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- test
- under test
- instrument under
- output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D21/00—Measuring or testing not otherwise provided for
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(イ)産業上の利用分野
この発明は計測分野で使用される工業1器の自動試験装
置、特に被試験計器に入力する試験入力信号に特徴を有
゛する工業計器自動試験装置に関する。
置、特に被試験計器に入力する試験入力信号に特徴を有
゛する工業計器自動試験装置に関する。
(ロ)従来技術
工業バ1器には、電気信号あるいは空気圧信号のいずれ
かを入力・出力信号とするものや電気信号を入力信号、
空気圧信号を出力信号とするもの、さらにその逆のもの
等がある。従来、これらの、に業計器の直線性精度を測
定するのに、外部から例えばその計器のスパンの0%、
25%、50%、75%、100%に相当する信号を入
力し、それに対応した出力信号値を測定し、その値から
精度をrtl算していた。この外部から与える信号は、
ゴー動切替か、第1図に示すよ・うに一定時間(tl)
ずつ与えるか、あるいは被試験計器の出力をチェックし
、出力が安定したら、被試験ni器のデータをサンプリ
ングし、次の試験値を被試験1器に入力する等の方法で
与えられていた。しかしながら、これらの試験信号はい
ずれも例えば0%、25%・・・100%といった一定
の値をある時間与えるものであるため、例えばmV変換
器とがアイソレータといった時定数の長い一次遅れの入
力をもつ計器の場合、どうしても1つのデータを与える
時間幅が長くなり、迅速な測定ができないという欠点が
あった。すなわち時定数をTとすると、ステップ応答に
対して定常値の99%、99.9%、99.99%にな
る時間はそれぞれ4.6 T、6.9T、9.2Tとな
り、例時定数Tを1秒、計器の精度を0.5%とすると
、99.9%のレー・ルに達するには6.9秒もの時間
を要した。
かを入力・出力信号とするものや電気信号を入力信号、
空気圧信号を出力信号とするもの、さらにその逆のもの
等がある。従来、これらの、に業計器の直線性精度を測
定するのに、外部から例えばその計器のスパンの0%、
25%、50%、75%、100%に相当する信号を入
力し、それに対応した出力信号値を測定し、その値から
精度をrtl算していた。この外部から与える信号は、
ゴー動切替か、第1図に示すよ・うに一定時間(tl)
ずつ与えるか、あるいは被試験計器の出力をチェックし
、出力が安定したら、被試験ni器のデータをサンプリ
ングし、次の試験値を被試験1器に入力する等の方法で
与えられていた。しかしながら、これらの試験信号はい
ずれも例えば0%、25%・・・100%といった一定
の値をある時間与えるものであるため、例えばmV変換
器とがアイソレータといった時定数の長い一次遅れの入
力をもつ計器の場合、どうしても1つのデータを与える
時間幅が長くなり、迅速な測定ができないという欠点が
あった。すなわち時定数をTとすると、ステップ応答に
対して定常値の99%、99.9%、99.99%にな
る時間はそれぞれ4.6 T、6.9T、9.2Tとな
り、例時定数Tを1秒、計器の精度を0.5%とすると
、99.9%のレー・ルに達するには6.9秒もの時間
を要した。
(ハ)目的
この発明の目的は、上記に鑑み、出来るだけ短時間で出
力が安定し、測定が迅速に行える工業計器自動試験装置
を提供することである。
力が安定し、測定が迅速に行える工業計器自動試験装置
を提供することである。
(ニ)構成
上記目的を達成するために、この発明の工業計器自動試
験装置は、試験信号を被試験計器に入力する当初の一定
時間、本来試験信号として加える値よりも大なる値で発
生ずるようにし、被試験計器の出力が、早期に所定値と
なるようにしている。
験装置は、試験信号を被試験計器に入力する当初の一定
時間、本来試験信号として加える値よりも大なる値で発
生ずるようにし、被試験計器の出力が、早期に所定値と
なるようにしている。
すなわら、この発明の工業計器自動試験装置は、被試験
計器に入力するため試験信号を出力する信号発生部と、
前記被試験計器の出力信号を受けて試験測定を行う測定
部と、種々の被試験ム;器の異なる遅れ時定数に対応し
て、所定の試験入力信号Eiより大きい値KEiと、そ
の値を出力する時間゛Fを含む波形パターンを予め記憶
する波形リスト記憶手段と、前記被試験計器の遅れ時定
数を入力する手段と、入力された被試験計器の遅れ時定
数に応答して前記波形リスト記憶手段より、対応する前
記KEi値、及び時間Tを導出する手段とを備え、前記
信号発生部より測定開始′■゛時間はKEiの信号を出
力し、T時間後はE iの信男を発生ずるようにしてい
る。
計器に入力するため試験信号を出力する信号発生部と、
前記被試験計器の出力信号を受けて試験測定を行う測定
部と、種々の被試験ム;器の異なる遅れ時定数に対応し
て、所定の試験入力信号Eiより大きい値KEiと、そ
の値を出力する時間゛Fを含む波形パターンを予め記憶
する波形リスト記憶手段と、前記被試験計器の遅れ時定
数を入力する手段と、入力された被試験計器の遅れ時定
数に応答して前記波形リスト記憶手段より、対応する前
記KEi値、及び時間Tを導出する手段とを備え、前記
信号発生部より測定開始′■゛時間はKEiの信号を出
力し、T時間後はE iの信男を発生ずるようにしてい
る。
(ホ)実施例
以下、実施例により、この発明をさらに1iTi細に説
明する。
明する。
第2図は実施例の工業計器自動試験装置を用いて、被試
験計器を試験する場合の概略接続図を示し、自動試験装
置1より試験信号ETが被試験計器2に入力され、この
試験入力信号EIに応答して被試験計器2より出力信号
EOが導出され、自動試験装置1に取込まれて測定され
る状態を示している。
験計器を試験する場合の概略接続図を示し、自動試験装
置1より試験信号ETが被試験計器2に入力され、この
試験入力信号EIに応答して被試験計器2より出力信号
EOが導出され、自動試験装置1に取込まれて測定され
る状態を示している。
第3図は、この発明の1実施例を示す工業計器自動試験
装置のブロック図である。同図において、11は被試験
計器の出力信号(たとえば電気信号)EOを受ける測定
部であり、この電気信号EOはA/D変換器12でアナ
ログ信号からデジタル信号に変換され、I10インタフ
ェース13を経て、CPU (マイクロプロセツサ)1
4に取込まれるようになっている。15はCPU14用
のプログラム、l&述する波形リスト等を記憶するメモ
リである。11は被試験計器に入力する試験信号EIを
発生ずる信号発生部である。信号発生部11よゲ出力さ
れる試験信号Elは電気信号又は空気圧信号であり、C
PU14よりデジタル信号で出力され、I10インタフ
ェースI3を経て、D / A変換器16でアナログ信
号に変換され、信号発生部17に加えられる信号に対応
するものである。
装置のブロック図である。同図において、11は被試験
計器の出力信号(たとえば電気信号)EOを受ける測定
部であり、この電気信号EOはA/D変換器12でアナ
ログ信号からデジタル信号に変換され、I10インタフ
ェース13を経て、CPU (マイクロプロセツサ)1
4に取込まれるようになっている。15はCPU14用
のプログラム、l&述する波形リスト等を記憶するメモ
リである。11は被試験計器に入力する試験信号EIを
発生ずる信号発生部である。信号発生部11よゲ出力さ
れる試験信号Elは電気信号又は空気圧信号であり、C
PU14よりデジタル信号で出力され、I10インタフ
ェースI3を経て、D / A変換器16でアナログ信
号に変換され、信号発生部17に加えられる信号に対応
するものである。
この試験信号Elの波形は第4図に示すように、立上が
りl&T1は本来的な試験信号E】のに信のKEiであ
り、その後は所定値Eiの倍力である。
りl&T1は本来的な試験信号E】のに信のKEiであ
り、その後は所定値Eiの倍力である。
上記K及びTIは、被試験計器の遅れ時定数によって決
まるものであり、各種の時定数に対応するK及び1゛1
の値が波形リストとじて、予めメモリ15に記憶されて
いる。18は測定信号あるいは発生信号を表示する表示
部、19は同しく測定信号あるいは発生信号をプリント
アウト である。20は設定部であって、測定部、発生部の電気
信号、空気圧信号の種別等を設定するキーの他、被試験
1器の時定数が既知であればごれを指定する既知指定キ
ー、及びその時定数を人力するためのキーを備えている
。
まるものであり、各種の時定数に対応するK及び1゛1
の値が波形リストとじて、予めメモリ15に記憶されて
いる。18は測定信号あるいは発生信号を表示する表示
部、19は同しく測定信号あるいは発生信号をプリント
アウト である。20は設定部であって、測定部、発生部の電気
信号、空気圧信号の種別等を設定するキーの他、被試験
1器の時定数が既知であればごれを指定する既知指定キ
ー、及びその時定数を人力するためのキーを備えている
。
CPUI 4ば、メモリ15に記憶されるプ1′1グラ
ムにしたがい、試験入力信号の発生、測定信号の取込等
、一連の試験測定のための処理を実行j゛る。
ムにしたがい、試験入力信号の発生、測定信号の取込等
、一連の試験測定のための処理を実行j゛る。
次に、以」二のように構成される]−業計器自動試験装
置の試験測定処理動作を第5図に示すフローチャートを
参照して説明する。なお被試験計器としてmV変換器を
例にとることとする。mV変換器の時定数が既知の場合
は、測定者は設定部20で時定数既知の指定と時定数の
設定を行う。時定数が未知の場合は既知指定の設定を行
わない。
置の試験測定処理動作を第5図に示すフローチャートを
参照して説明する。なお被試験計器としてmV変換器を
例にとることとする。mV変換器の時定数が既知の場合
は、測定者は設定部20で時定数既知の指定と時定数の
設定を行う。時定数が未知の場合は既知指定の設定を行
わない。
動作がスタ〜)・すると、まずステップS T 1で被
試験計器、すなわちmV変換器の時定数が既知か否か判
定する。設定部20で既知指定がなされていないと、こ
の’I′lJ定はNoとなり、続いてステップST2で
被試験計器に一定の大きさの信号、例えば100%の信
号〔第6図(a)参照〕を入力する。そして、この入力
波形に応答する被試験体の出力波形〔第6図(b)参照
〕をモニタする(ステップ5T3)。このモニタにより
、被試験計器の時定数を算出する。そして次のステップ
ST4に移る。
試験計器、すなわちmV変換器の時定数が既知か否か判
定する。設定部20で既知指定がなされていないと、こ
の’I′lJ定はNoとなり、続いてステップST2で
被試験計器に一定の大きさの信号、例えば100%の信
号〔第6図(a)参照〕を入力する。そして、この入力
波形に応答する被試験体の出力波形〔第6図(b)参照
〕をモニタする(ステップ5T3)。このモニタにより
、被試験計器の時定数を算出する。そして次のステップ
ST4に移る。
ステップSTIで、時定数が既知の場合は、ステップS
T2、ST3の処理は不要であり、直ちにステップST
4に移る。ステップST4では、設定入力されたあるい
は波形入力で算出された時定数に基づき、メモリ15の
波形リストを参照し、最適の試験入力信号波形を抽出す
る。ごの試験入力信号波形は、第6図(c)の通りであ
るが、この信号波形の高さh及び幅twは、−次遅れの
時定数に対応することになる。この試験入力信号が第6
図(c)に示す波形で被試験計器に入力されると、その
出力波形は第6図(d)に示す波形となり、早期に所定
レベルに達するので、この出力値の安定により、最後に
目的とする直線性の測定を実行する(ステップ5T5)
。
T2、ST3の処理は不要であり、直ちにステップST
4に移る。ステップST4では、設定入力されたあるい
は波形入力で算出された時定数に基づき、メモリ15の
波形リストを参照し、最適の試験入力信号波形を抽出す
る。ごの試験入力信号波形は、第6図(c)の通りであ
るが、この信号波形の高さh及び幅twは、−次遅れの
時定数に対応することになる。この試験入力信号が第6
図(c)に示す波形で被試験計器に入力されると、その
出力波形は第6図(d)に示す波形となり、早期に所定
レベルに達するので、この出力値の安定により、最後に
目的とする直線性の測定を実行する(ステップ5T5)
。
ここで、入力波形Elの決定方法の1例を第4図を参照
して説明する。
して説明する。
第4図のように、波形立上がりから時間′1゛1経過後
まで所定の入力値に対しα%大きな信号を入力し、出力
の立」二がりを速め、定常値の手前で所定の入力Ejに
戻すと、この場合の出力EOはEO=KEi (1−e
−〒)4−fEi−KEi−工! J」r (1−e”)l (1−e 丁 ) で表せる。
まで所定の入力値に対しα%大きな信号を入力し、出力
の立」二がりを速め、定常値の手前で所定の入力Ejに
戻すと、この場合の出力EOはEO=KEi (1−e
−〒)4−fEi−KEi−工! J」r (1−e”)l (1−e 丁 ) で表せる。
今、例えば入力KEiの信号をT1時間与えて、出力波
形の立上がりを速め、時間T1の時点で出力値Eaが定
常値の99%となるようにし、そのTI=Tとすれば、
すなわち時間T1を時定数Tと等しくすれば、 K (1−G−’) =0.99 、−、に=1.6 となる。また最終値が定常値の99.9%に達した時に
測定を行うものとすると 0.99Ei+ (1−0,99)Ei=1」1 (1−e T ) −0,999Ei これを解いて(但しTI=’F) t = 3t3 T このtは出力値が定常値の999%に達するまでの時間
を示し、ステップ入力で同じ出力を得るに要する時間6
,9Tに比べて約2である(第4図のEO:入力波形E
■に対する応答、ESSニステップ力tこ対する応答を
参照)。
形の立上がりを速め、時間T1の時点で出力値Eaが定
常値の99%となるようにし、そのTI=Tとすれば、
すなわち時間T1を時定数Tと等しくすれば、 K (1−G−’) =0.99 、−、に=1.6 となる。また最終値が定常値の99.9%に達した時に
測定を行うものとすると 0.99Ei+ (1−0,99)Ei=1」1 (1−e T ) −0,999Ei これを解いて(但しTI=’F) t = 3t3 T このtは出力値が定常値の999%に達するまでの時間
を示し、ステップ入力で同じ出力を得るに要する時間6
,9Tに比べて約2である(第4図のEO:入力波形E
■に対する応答、ESSニステップ力tこ対する応答を
参照)。
以上より、被試験計器の時定数が既知であれば、」二記
試験入力信4EyのK及びT1が決定できるから、時定
数T″に対応して、最も立」二がりを速くするK及びT
1を予めめておき、これをリストとして珂己憶しておけ
ばよい。
試験入力信4EyのK及びT1が決定できるから、時定
数T″に対応して、最も立」二がりを速くするK及びT
1を予めめておき、これをリストとして珂己憶しておけ
ばよい。
(へ)効果
この発明の工業計器自動試験装置によれば、被試験計器
に入力する試験信号を、立上がり時の所定時間T1だけ
所定値Eiよりも大なる値KEiとし、所定時間T1経
過後は、試験のための所定値Eiとするものであるから
、被試験計器が一次遅れ時定数を持つものであっても出
力波形を速く立上がらせることができ、所要の測定を迅
速に行うことができる。
に入力する試験信号を、立上がり時の所定時間T1だけ
所定値Eiよりも大なる値KEiとし、所定時間T1経
過後は、試験のための所定値Eiとするものであるから
、被試験計器が一次遅れ時定数を持つものであっても出
力波形を速く立上がらせることができ、所要の測定を迅
速に行うことができる。
第1図は従来の工業計器の直線性を測定する場合の入力
波形の1例を示す図、第2図はこの発明の実施例の工業
計器自動試験装置の使用時の接続状態を示す概略図、第
3図はこの発明の1実施例を示す]工業計器自動試験装
置のブロック図、第4図は同1ゴ動試験装置より出力さ
れる試験入力信号及びその出力応答波形を示す図、第5
図は同自動試験装置の制御ジローチャー1・、第6図は
同自動試験装置を用いて被試験計器を試験する場合の動
作を説明するだめの被試験計器の入出力波形図である。 11:測定部、 11CP[J、 15:メモリ、 17:信号発生部、 20:設定部 特許出願人 株式会社島津製作所 代理人 弁理士 中 利 茂 信 第1図 第2図 第5図・ 第6図
波形の1例を示す図、第2図はこの発明の実施例の工業
計器自動試験装置の使用時の接続状態を示す概略図、第
3図はこの発明の1実施例を示す]工業計器自動試験装
置のブロック図、第4図は同1ゴ動試験装置より出力さ
れる試験入力信号及びその出力応答波形を示す図、第5
図は同自動試験装置の制御ジローチャー1・、第6図は
同自動試験装置を用いて被試験計器を試験する場合の動
作を説明するだめの被試験計器の入出力波形図である。 11:測定部、 11CP[J、 15:メモリ、 17:信号発生部、 20:設定部 特許出願人 株式会社島津製作所 代理人 弁理士 中 利 茂 信 第1図 第2図 第5図・ 第6図
Claims (1)
- (1)被試験計器に入力するため試験信号を出力する信
号発生部と、前記被試験計器の出力信号を受けて試験測
定を行う測定部と、種々の被試験計器の異なる遅れ時定
数に対応して、所定の試験入力信号Eiより大きい値K
Eiと、その値を出力する時間Tを含む波形パターンを
予め記憶する波形リスト記憶手段と、前記被試験計器の
遅れ時定数を入力する手段と、入力された被試験1器の
遅れ時定数に応答して前記波形リスト記憶手段より、対
応する前記KEi値、及び時間Tを導出する手段とを備
え、前記信号先住部より測定開始7時間はKEiの信号
を出力し、T時間後はEiの信号を発生するようにした
ことを特徴とする工業計器自動試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15875283A JPS6050417A (ja) | 1983-08-30 | 1983-08-30 | 工業計器自動試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15875283A JPS6050417A (ja) | 1983-08-30 | 1983-08-30 | 工業計器自動試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6050417A true JPS6050417A (ja) | 1985-03-20 |
Family
ID=15678556
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15875283A Pending JPS6050417A (ja) | 1983-08-30 | 1983-08-30 | 工業計器自動試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6050417A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63205513A (ja) * | 1987-02-20 | 1988-08-25 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 誤差補正方式 |
| JPH0372221A (ja) * | 1989-08-11 | 1991-03-27 | Nagano Technical Service:Kk | 異常診断装置 |
-
1983
- 1983-08-30 JP JP15875283A patent/JPS6050417A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63205513A (ja) * | 1987-02-20 | 1988-08-25 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 誤差補正方式 |
| JPH0372221A (ja) * | 1989-08-11 | 1991-03-27 | Nagano Technical Service:Kk | 異常診断装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR970707485A (ko) | 온칩 아날로그 소자의 디지탈 조정(digital trimming of on-chip analog components) | |
| JP2001324552A (ja) | 電源電流測定ユニット及び半導体テストシステム | |
| JPS6050417A (ja) | 工業計器自動試験装置 | |
| JPH09119853A (ja) | センサーの出力値の補正方法および装置 | |
| EP0424825B1 (en) | Method for measuring DC current/voltage characteristic of semi-conductor device | |
| JPH05133997A (ja) | Ic試験装置の較正方法 | |
| JPH09184871A (ja) | 半導体テストシステムの自動校正装置 | |
| JP3071875B2 (ja) | Icテスト装置 | |
| SU991342A2 (ru) | Способ определени статистической погрешности измерительных устройств | |
| JPS63285480A (ja) | 半導体測定装置 | |
| JPH1183596A (ja) | 静電容量式センサの試験装置 | |
| JPS5815866Y2 (ja) | 校正装置 | |
| SU960689A1 (ru) | Способ определени градуировочной характеристики измерительного устройства | |
| JPS61125601A (ja) | ポテンシオメ−タを有する制御装置 | |
| JP3469369B2 (ja) | 電気計測器 | |
| JPS61117466A (ja) | 伝搬遅延時間の測定方法 | |
| JP2581404B2 (ja) | Icハンドリング装置 | |
| JP3223396B2 (ja) | Lsiテスタのプログラム変換装置 | |
| JPS5951369A (ja) | 自動特性測定装置 | |
| JP2001153915A (ja) | Icテスタ、及びic試験方法 | |
| JPH02105726A (ja) | A/dコンバータの非直線性の検査方法 | |
| KR100200714B1 (ko) | 집적회로 측정 방법 및 이를 위한 장치 | |
| JPS6076609A (ja) | 測定値処理装置 | |
| SU815693A1 (ru) | Способ поверки делител напр жени | |
| JP2944307B2 (ja) | A/dコンバータの非直線性の検査方法 |