JPS6050751A - 回路基板の計測検査装置 - Google Patents
回路基板の計測検査装置Info
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- JPS6050751A JPS6050751A JP58159499A JP15949983A JPS6050751A JP S6050751 A JPS6050751 A JP S6050751A JP 58159499 A JP58159499 A JP 58159499A JP 15949983 A JP15949983 A JP 15949983A JP S6050751 A JPS6050751 A JP S6050751A
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- Japan
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- signal
- circuit
- frequency
- recording
- circuit board
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 30
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 23
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 22
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 claims description 7
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 2
- 230000005236 sound signal Effects 0.000 description 54
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 3
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B27/00—Editing; Indexing; Addressing; Timing or synchronising; Monitoring; Measuring tape travel
- G11B27/36—Monitoring, i.e. supervising the progress of recording or reproducing
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B20/00—Signal processing not specific to the method of recording or reproducing; Circuits therefor
- G11B20/02—Analogue recording or reproducing
- G11B20/06—Angle-modulation recording or reproducing
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、回路基板の計測検査装置に係り、特に被周波
数変調音声信号を発生して記録用ヘッドに供給する回路
や、再生用ヘッドからの再生被周波数変調音声信号をF
M復調して出力する回路が搭載された回路基板を計測
し検査、調整する装置に関する。
数変調音声信号を発生して記録用ヘッドに供給する回路
や、再生用ヘッドからの再生被周波数変調音声信号をF
M復調して出力する回路が搭載された回路基板を計測
し検査、調整する装置に関する。
背景技術
本出願人は先に特願昭57−210211号等にて、映
像信号記録再生用回転ヘッドとは別に設けた専用の回転
ヘッドにより、被周波数変調音声信号(FM音声信号)
を、磁気テープ上のビデオトラックと同一の位置にオー
ディオトラックを形成して記録し、これを再生する方式
を提案した。
像信号記録再生用回転ヘッドとは別に設けた専用の回転
ヘッドにより、被周波数変調音声信号(FM音声信号)
を、磁気テープ上のビデオトラックと同一の位置にオー
ディオトラックを形成して記録し、これを再生する方式
を提案した。
かかる提案方式によれば、FM音声信号を専用の回転ヘ
ッドにより記録しているから、FM音声信号とFM映像
信号とを夫々多重して同一の回転ヘッドにより記録再生
する従来方式に比し、キャリア周波数間のビートによる
相互干渉を大幅に低減することができ、従って、再生画
面中のモアレを略なくすことができ、長時間モードの如
く磁気テープの走行速度が特に近い場合であっても、極
めて高品質な音声信舅の記録、再!1ができる等の(a
れた特長を右する。
ッドにより記録しているから、FM音声信号とFM映像
信号とを夫々多重して同一の回転ヘッドにより記録再生
する従来方式に比し、キャリア周波数間のビートによる
相互干渉を大幅に低減することができ、従って、再生画
面中のモアレを略なくすことができ、長時間モードの如
く磁気テープの走行速度が特に近い場合であっても、極
めて高品質な音声信舅の記録、再!1ができる等の(a
れた特長を右する。
かかる提案方式が適用された磁気記録再牛装首(VTR
)には、従来にはなかった上記の[N1?“′。
)には、従来にはなかった上記の[N1?“′。
声信号記録、再生回路が搭載された回路基板が組込まれ
ることになる。この回路基板は従来のヘリカルスキャン
方式VTRには存在しなかったものであり、よってこの
回路本1板十の各回路の81測。
ることになる。この回路基板は従来のヘリカルスキャン
方式VTRには存在しなかったものであり、よってこの
回路本1板十の各回路の81測。
調整のための装置も存在1)でおらず、この回路基板上
の各回路のに1測、調整のためには、例えば第1図に示
す如き概略構成の計測検査装置を使用することが考えら
れる。
の各回路のに1測、調整のためには、例えば第1図に示
す如き概略構成の計測検査装置を使用することが考えら
れる。
第1図において、回路基板1には入力音声信局をFM信
号に変換する周波数変調器(FM変調器)や雑音低減の
ための1ノベル圧縮回路などからなる音声信号記録回路
と、再生FM音声信号をF M 41調するFM復調器
、ドロップアウト補償回路、ディエンファシス回路、更
には雑音低減のためのレベル伸長回路などからなる音声
信号再生回路が搭5− 載されており、VTR2内から引き出されている。
号に変換する周波数変調器(FM変調器)や雑音低減の
ための1ノベル圧縮回路などからなる音声信号記録回路
と、再生FM音声信号をF M 41調するFM復調器
、ドロップアウト補償回路、ディエンファシス回路、更
には雑音低減のためのレベル伸長回路などからなる音声
信号再生回路が搭5− 載されており、VTR2内から引き出されている。
回路基板1−1−の音声信号記録回路の計測検査項目と
しては、FM音声信号のキャリア周波数、 FM変調度
、FM記録レベル等があり、音声信号再生回路の網側検
査項目どしては、音声信号出力レベル、レバ1ノージヨ
ン、S/Nなどがある。
しては、FM音声信号のキャリア周波数、 FM変調度
、FM記録レベル等があり、音声信号再生回路の網側検
査項目どしては、音声信号出力レベル、レバ1ノージヨ
ン、S/Nなどがある。
まず、音声信号記録回路の計測検査について説明するに
、記録音声信号の入力を停止してFM変調器の出力端に
おける周波数、すなわち無変調時のFMキギヤア周波数
を第1図に示す周波数カウンタ3にj:り計測し、所定
の周波数(例えば左チ17ンネルでは3.1M I−I
Z 、右チャンネルでは1.7MHz)であるか否か
を検査し、所定の周波数に調整する。次に基準レベルで
、かつ、音声帯域の例えば1kl−1zの正弦波を第1
図に示した発振器4より発生出力させ、この正弦波をV
TR2の音声信号入力端子を介して回路基板1上の音声
信号記録回路に供給し、ここでFM信号に変換させた後
、FM変調度測定器5に供給する。FM変調度測定器5
は入力FM信号をFM復調して復調正弦6− 波を得た後、その直流1ノベルを周波数に模篇してFM
信号の周波数偏移をバ1測し、これと変調周波数とより
FM変調度を4測する+1 :l:た、上記の1M信号
はオシロスヨープロにも供給され、ここでそのレベル(
?r′なわち「M記録レベル)が計測され、所定値でな
いどきには、ヘッド入力側の可変抵抗器にJ−り所定値
となるようにレベル調整をりる。
、記録音声信号の入力を停止してFM変調器の出力端に
おける周波数、すなわち無変調時のFMキギヤア周波数
を第1図に示す周波数カウンタ3にj:り計測し、所定
の周波数(例えば左チ17ンネルでは3.1M I−I
Z 、右チャンネルでは1.7MHz)であるか否か
を検査し、所定の周波数に調整する。次に基準レベルで
、かつ、音声帯域の例えば1kl−1zの正弦波を第1
図に示した発振器4より発生出力させ、この正弦波をV
TR2の音声信号入力端子を介して回路基板1上の音声
信号記録回路に供給し、ここでFM信号に変換させた後
、FM変調度測定器5に供給する。FM変調度測定器5
は入力FM信号をFM復調して復調正弦6− 波を得た後、その直流1ノベルを周波数に模篇してFM
信号の周波数偏移をバ1測し、これと変調周波数とより
FM変調度を4測する+1 :l:た、上記の1M信号
はオシロスヨープロにも供給され、ここでそのレベル(
?r′なわち「M記録レベル)が計測され、所定値でな
いどきには、ヘッド入力側の可変抵抗器にJ−り所定値
となるようにレベル調整をりる。
次に音声信号再生回路の4測検査についで説明するに、
予め定められたgt 11!ニレベルで一定周波数の正
弦波で周波数変調された[M信7Jが左、右両チャンネ
ル分記録されている第1の記録]へラックと、一方のブ
ヤンネルのFM信号のみが記録され、他方のチャンネル
は無信号である第2の記録]・ラックと、両チャンネル
どもに無信号である無記録部分とが夫々形成されている
、測定用磁気テープ7をVTR2に装填して、これを再
生せしめる。
予め定められたgt 11!ニレベルで一定周波数の正
弦波で周波数変調された[M信7Jが左、右両チャンネ
ル分記録されている第1の記録]へラックと、一方のブ
ヤンネルのFM信号のみが記録され、他方のチャンネル
は無信号である第2の記録]・ラックと、両チャンネル
どもに無信号である無記録部分とが夫々形成されている
、測定用磁気テープ7をVTR2に装填して、これを再
生せしめる。
これにより、磁気テープ7より再生された信号は、回路
基板1上の音声信号再生回路により再生された後計測器
に供給される。
基板1上の音声信号再生回路により再生された後計測器
に供給される。
この場合、上記第1の記録1−ラックから再生されたF
M信号の復調信号レベルを測定することにより、出力レ
ベルを測定でき、また上記第2の記録トラックの再生時
に、無信号である他方のチャンネルの復調出力D%j
、(f)レベル(一方のチャンネルからの漏れ信号レベ
ル)などを計測することにより、セパレーションの計測
ができる。また両チャンネル共に無信号である部分を再
生したときの雑音レベルを測定することにより、S/N
チェックができる。
M信号の復調信号レベルを測定することにより、出力レ
ベルを測定でき、また上記第2の記録トラックの再生時
に、無信号である他方のチャンネルの復調出力D%j
、(f)レベル(一方のチャンネルからの漏れ信号レベ
ル)などを計測することにより、セパレーションの計測
ができる。また両チャンネル共に無信号である部分を再
生したときの雑音レベルを測定することにより、S/N
チェックができる。
発明が解決しようとする問題点
]ノかるに、上記の計測検査装置は、回路基板1の4測
検査のために、本来別個の1ffl器である周波数カウ
ンタ34発振器4.FM変調度測定器5及びオシロスコ
ープ6などを用意しなければならないので高価となり、
またそれらの多くの機器を計測検査項目に応じて使い分
けなければならず作業が煩雑であり、特に音声チャンネ
ルが2チヤンネルの場合はより一層作業が煩雑となり、
更にスペース効率−し悪いという問題点があった。また
更に、音声信号再生回路の各種の計測検査のために、測
定用磁気テープ7を使用しなければならないが、磁気テ
ープ7は再生の都度、ヘッドと1習接するので、耐久性
や信頼性の点で問題があった。
検査のために、本来別個の1ffl器である周波数カウ
ンタ34発振器4.FM変調度測定器5及びオシロスコ
ープ6などを用意しなければならないので高価となり、
またそれらの多くの機器を計測検査項目に応じて使い分
けなければならず作業が煩雑であり、特に音声チャンネ
ルが2チヤンネルの場合はより一層作業が煩雑となり、
更にスペース効率−し悪いという問題点があった。また
更に、音声信号再生回路の各種の計測検査のために、測
定用磁気テープ7を使用しなければならないが、磁気テ
ープ7は再生の都度、ヘッドと1習接するので、耐久性
や信頼性の点で問題があった。
そこで、本発明は信号発生回路、FM復調器。
検波回路1周波数カウンタ、周波数変調器1表示器等を
−の筐体に内蔵すると共に、再生FM信号に相当する信
号も発生出力するよう+i4成することにより、上記の
問題点を解決した回路基板の計測検査装置を提供するこ
とを目的とする。
−の筐体に内蔵すると共に、再生FM信号に相当する信
号も発生出力するよう+i4成することにより、上記の
問題点を解決した回路基板の計測検査装置を提供するこ
とを目的とする。
問題点を解決するための手段
本発明は、被周波数変調波信号を記録信号と1ノで出力
する記録回路と、FM復調回路を有する再生回路とが夫
々搭載された回路基板のM測検査装置であって、入力信
号に相当する基準1ノベルの信号を上記記録回路を通し
て得た第1の被周波数変調波信号をFM復調するFM復
調器と、該FM復調器の出力信号レベル」;すFM変調
度を指示1−る第1の表示器と、該第1の被周波数変調
波信号を検波する検波回路と、該検波回路の出力伏目し
ベ9− ル」−り記録レベルを表示する第2の表示器と、該L↓
準レベルの信号の上記記録回路への送出停止時における
該第1の被周波数変調波信号周波数を副側する周波数カ
ウンタど、レベルを可変し得る信号を発生する信号発生
回路と、該信号発生回路の出力信号で前記所定の周波数
と同一のキャリア周波数を周波数変調して得た第2の被
周波数変調波信号を前記再生回路へ出力する周波数変調
器とよりなり、−の筐体内に収納された上記の各回路に
にり前記回路基板の4測検査を行なうよう構成したもの
であり、以下その一実施例について第2図乃至第5図と
共に説明する。
する記録回路と、FM復調回路を有する再生回路とが夫
々搭載された回路基板のM測検査装置であって、入力信
号に相当する基準1ノベルの信号を上記記録回路を通し
て得た第1の被周波数変調波信号をFM復調するFM復
調器と、該FM復調器の出力信号レベル」;すFM変調
度を指示1−る第1の表示器と、該第1の被周波数変調
波信号を検波する検波回路と、該検波回路の出力伏目し
ベ9− ル」−り記録レベルを表示する第2の表示器と、該L↓
準レベルの信号の上記記録回路への送出停止時における
該第1の被周波数変調波信号周波数を副側する周波数カ
ウンタど、レベルを可変し得る信号を発生する信号発生
回路と、該信号発生回路の出力信号で前記所定の周波数
と同一のキャリア周波数を周波数変調して得た第2の被
周波数変調波信号を前記再生回路へ出力する周波数変調
器とよりなり、−の筐体内に収納された上記の各回路に
にり前記回路基板の4測検査を行なうよう構成したもの
であり、以下その一実施例について第2図乃至第5図と
共に説明する。
実施例
本発明装置の一実施例について説明する前に、まず本発
明装置により計測検査されるべき回路基板に搭載されて
いる回路について説明するに、第2図は回路基板上の記
録回路の一例の回路系統図、第3図は回路基板上の再生
回路の一例の回路系統図を示η。両図中、左チヤンネル
音声信号伝送路の各回路には番月に添字しを付してあり
、また右10− チャンネル音声イlO伝送路の各回路には番8に添字R
を付しである。第2図において、入力端子91−.9R
にはヂューナにより受信復調された左。
明装置により計測検査されるべき回路基板に搭載されて
いる回路について説明するに、第2図は回路基板上の記
録回路の一例の回路系統図、第3図は回路基板上の再生
回路の一例の回路系統図を示η。両図中、左チヤンネル
音声信号伝送路の各回路には番月に添字しを付してあり
、また右10− チャンネル音声イlO伝送路の各回路には番8に添字R
を付しである。第2図において、入力端子91−.9R
にはヂューナにより受信復調された左。
右チヤンネル音声信号が入来し、入力端子101と11
1−.10Rと11nにはマイクロホンその他の音声機
器よりの左、右チヤンネル音声信号が入来し、入力端子
12+−,12Rにはテレビジョ1ンカメラよりの左、
右チヤンネル音声信号が入来する。左、右チヤンネル音
声信号はスイッチング回路13L、13Rと可変抵抗器
14+−,14Rとを夫々通してへGG回路151−.
15Rに供給される。
1−.10Rと11nにはマイクロホンその他の音声機
器よりの左、右チヤンネル音声信号が入来し、入力端子
12+−,12Rにはテレビジョ1ンカメラよりの左、
右チヤンネル音声信号が入来する。左、右チヤンネル音
声信号はスイッチング回路13L、13Rと可変抵抗器
14+−,14Rとを夫々通してへGG回路151−.
15Rに供給される。
△GC回路15L、15Rはスイッチ16にJ:リオフ
、オン制御される構成とされており、オン時には入力音
声信号のピークレベルを一定に制限する。このΔGC回
路15L、15Rの出力音声信号は雑音低減のためのレ
ベル圧縮及びエンコーダ1フL、1フR,アンプ18L
、18R,低域フィルタ191−.19R,ΔGC回路
151− 。
、オン制御される構成とされており、オン時には入力音
声信号のピークレベルを一定に制限する。このΔGC回
路15L、15Rの出力音声信号は雑音低減のためのレ
ベル圧縮及びエンコーダ1フL、1フR,アンプ18L
、18R,低域フィルタ191−.19R,ΔGC回路
151− 。
15Rのオフ時の過大レベルを振幅制限するためのリミ
ッタ2OL、20R1及び可変抵抗器21L。
ッタ2OL、20R1及び可変抵抗器21L。
21R1更にはプリエンファシス回路(図示せず)を夫
々通して周波数変調器(FM変調器)22L。
々通して周波数変調器(FM変調器)22L。
22R供給される。
1M変調器22Lは可変抵抗器23Lによって1171
7周波数が例えば1.3M+−17に設定されており、
左チャンネル音声信号で1.3MH7を周波数変調して
被周波数変調音声信号(FM音声信号)を出力する。こ
の左チャンネルFM音声信号は低域フィルタ24L、記
録レベル調整用可変抵抗器251−を夫々通してプリア
ンプ26に供給される。
7周波数が例えば1.3M+−17に設定されており、
左チャンネル音声信号で1.3MH7を周波数変調して
被周波数変調音声信号(FM音声信号)を出力する。こ
の左チャンネルFM音声信号は低域フィルタ24L、記
録レベル調整用可変抵抗器251−を夫々通してプリア
ンプ26に供給される。
使方、FM変調器22Rは可変抵抗B 23 Rによっ
てキャリア周波数が例えば1.7M Hzに設定されて
おり、右チャンネルFM音声信号を出力する。
てキャリア周波数が例えば1.7M Hzに設定されて
おり、右チャンネルFM音声信号を出力する。
この右チャンネルFM音声信号は、低域フィルタ24R
及び記録レベル調整用可変抵抗器25Rを夫々通してプ
リアンプ26に供給され、ここで左チヤンネルFM音声
信号と周波数分割多重された後、出力端子27−1及び
27−2を通して2つの音声信号記録用回転ヘッド(図
示せず)に夫々供給される。
及び記録レベル調整用可変抵抗器25Rを夫々通してプ
リアンプ26に供給され、ここで左チヤンネルFM音声
信号と周波数分割多重された後、出力端子27−1及び
27−2を通して2つの音声信号記録用回転ヘッド(図
示せず)に夫々供給される。
次に第3図に示づ一再生回路について説明するに、前記
本出願人の提案になる信号記録、再生方式のように、映
像伏目用回転ヘッドとは別に設けられた、例えば211
71の音声信号用回転ヘッドく図示せず)からの夫々の
再生信号(左チャンネルFM合声信号と右チヤンネル音
声信号との周波数分割多重信号)は、1フィールド周期
毎に交互に入力端子28−1.28−2に入来し、更に
プリアンプ29を通してアンプ30に供給される。アン
プ30より取り出された再生信号は帯域フィルタ31L
及び31Rに夫々供給され、ここで左チャンネルFM音
声信号及び右チ17ンネルFM音声信号が周波数選択さ
れて取り出される。再生左チャンネルFM音声信号はア
ンプ32Lを通してリミッタ33L及びドロップアラ[
・検出回路34 Lに夫々供給される。リミッタ33L
の出力再生FM音声信号は、位相比較器35し、電圧制
御発振器(VCO)36L及びバッファアンプ371−
よりなる周知のフェーズ・ロックド・ループ(P L
L )13− にjこるFM復調器によりFM復調された後、カットオ
フ周波数60kH7程度の低域フィルタ39L及びアン
プ40しを通してサンプルホールド回路411−に供給
される。同様にして、帯域フィルタ31Rより取り出さ
−れだ再生右チャンネルFM音声信号は、アンプ32R
を通してドロップアウト検出回路34Rに供給される一
方、P I−Lを用いたFtl調器によりFM復調され
た後サンプルホールド回路41Rに供給される。サンプ
ルホールド回路41 L及び41Rは、ドロップアウト
検出回路34+ 、34Rよりの検出信号に基づき、ド
ロップアウト発生期間は、その直前の再生信号レベル(
ホールド・コンデンサ42L、42Rの端子電圧)を保
持している回路で、ドロップアウトが発生していない期
間は入力信号をそのまま通過させる回路である。
本出願人の提案になる信号記録、再生方式のように、映
像伏目用回転ヘッドとは別に設けられた、例えば211
71の音声信号用回転ヘッドく図示せず)からの夫々の
再生信号(左チャンネルFM合声信号と右チヤンネル音
声信号との周波数分割多重信号)は、1フィールド周期
毎に交互に入力端子28−1.28−2に入来し、更に
プリアンプ29を通してアンプ30に供給される。アン
プ30より取り出された再生信号は帯域フィルタ31L
及び31Rに夫々供給され、ここで左チャンネルFM音
声信号及び右チ17ンネルFM音声信号が周波数選択さ
れて取り出される。再生左チャンネルFM音声信号はア
ンプ32Lを通してリミッタ33L及びドロップアラ[
・検出回路34 Lに夫々供給される。リミッタ33L
の出力再生FM音声信号は、位相比較器35し、電圧制
御発振器(VCO)36L及びバッファアンプ371−
よりなる周知のフェーズ・ロックド・ループ(P L
L )13− にjこるFM復調器によりFM復調された後、カットオ
フ周波数60kH7程度の低域フィルタ39L及びアン
プ40しを通してサンプルホールド回路411−に供給
される。同様にして、帯域フィルタ31Rより取り出さ
−れだ再生右チャンネルFM音声信号は、アンプ32R
を通してドロップアウト検出回路34Rに供給される一
方、P I−Lを用いたFtl調器によりFM復調され
た後サンプルホールド回路41Rに供給される。サンプ
ルホールド回路41 L及び41Rは、ドロップアウト
検出回路34+ 、34Rよりの検出信号に基づき、ド
ロップアウト発生期間は、その直前の再生信号レベル(
ホールド・コンデンサ42L、42Rの端子電圧)を保
持している回路で、ドロップアウトが発生していない期
間は入力信号をそのまま通過させる回路である。
サンプルホールド回路41L、4.1Rの出力再生音声
信号は、アンプ44L、44R,ディエンファシス回路
45 L 、45 Rz可変抵抗器46L。
信号は、アンプ44L、44R,ディエンファシス回路
45 L 、45 Rz可変抵抗器46L。
46R1レベル伸長及びデコーダ47L、47R。
14−
アンプ/I8+−,48Rを夫々通して出力9訃了40
゜49Rに出力される。このようにして、出力※;1:
子49LにはFM復調され、ドロップアウトの補償や雑
音低減処理が施された再生左チャンネル音声信号が取り
出され、J、た出力端子49Rには同様の信号処理が施
された再生右ヂ17ンネル昌声信弓が取り出される。な
お、破線501. 、50 r<で囲んだ回路部分はT
C(集積回路)化することができる。
゜49Rに出力される。このようにして、出力※;1:
子49LにはFM復調され、ドロップアウトの補償や雑
音低減処理が施された再生左チャンネル音声信号が取り
出され、J、た出力端子49Rには同様の信号処理が施
された再生右ヂ17ンネル昌声信弓が取り出される。な
お、破線501. 、50 r<で囲んだ回路部分はT
C(集積回路)化することができる。
次に、上記の回路基板上の記録回路、再生回路の各部を
計測検査する、本発明装置の一実施例について説明する
。第4図(Δ>、(1B)は本発明装置の一実施例のブ
ロック系統図、第5図は本発明装置の一実施例の外観正
面図を承り。両図中、同一構成部分には同一符号を何し
である。本実施例は記録回路の網側検査をし、Fl、た
再(1回路には計測検査用信号を供給する装置であり、
第4図(Δ)、(r3)に示す全回路【、1第5図に示
J′12体70内に収納されている。なd3、再生回路
のit 1lll+検査は第1図で説明したと同様の方
法で行なわ4する。まず、記録回路の計測検査動作につ
き説明するに、第5図にRFCで示した記録釦を押し、
記録調整モードにする。FMキャリア周波数の計測検査
時には、第5図の釦71L又は71Rを押す。
計測検査する、本発明装置の一実施例について説明する
。第4図(Δ>、(1B)は本発明装置の一実施例のブ
ロック系統図、第5図は本発明装置の一実施例の外観正
面図を承り。両図中、同一構成部分には同一符号を何し
である。本実施例は記録回路の網側検査をし、Fl、た
再(1回路には計測検査用信号を供給する装置であり、
第4図(Δ)、(r3)に示す全回路【、1第5図に示
J′12体70内に収納されている。なd3、再生回路
のit 1lll+検査は第1図で説明したと同様の方
法で行なわ4する。まず、記録回路の計測検査動作につ
き説明するに、第5図にRFCで示した記録釦を押し、
記録調整モードにする。FMキャリア周波数の計測検査
時には、第5図の釦71L又は71Rを押す。
釦71+−を押した場合は、第4図(A>のスイッチ5
8が接点り側に接続され、釦71Rを押した揚台はスイ
ッチ58が接点R側に接続される。まIζ記録回路の第
2図に示した入力端子9L〜12L。
8が接点り側に接続され、釦71Rを押した揚台はスイ
ッチ58が接点R側に接続される。まIζ記録回路の第
2図に示した入力端子9L〜12L。
9R〜12Rには信号が供給されない。従って、出力端
子27−1又は27−2を介して第4図(△)の入力端
子54に入来するFM信号は、無変調時の左チャンネル
FM信号と右チヤンネルFM信号との周波数分割多重信
号であり、この多重信号はバッファアンプ55を通して
帯域フィルタ561−及び56Rに夫々供給される。
子27−1又は27−2を介して第4図(△)の入力端
子54に入来するFM信号は、無変調時の左チャンネル
FM信号と右チヤンネルFM信号との周波数分割多重信
号であり、この多重信号はバッファアンプ55を通して
帯域フィルタ561−及び56Rに夫々供給される。
帯域フィルタ56Lは通過帯域が左チャンネル「M音声
信号(例えば1.3MH1±150kH2)を通過させ
るに必要な帯域に選定されており、また帯域フィルタ5
6Rは通過帯域が右チヤンネルFM信号信号(例えば1
.7M+−12±150kHz )を通過させるに必要
な帯域に選定されている。従って、帯域フィルタ501
−からは無要L1!1時の/FヂψンネルFM信号が取
り出され、帯域フーイルタ56Rからは無変調時の右チ
ヤンネルF M I ;’iが取り出される。帯域フィ
ルタ561−.56RC1;り取り出されたFM信号は
、分配器57+−,57Rにより3分岐されてFM復調
器61 c 、 61 r< 、平均値検波回路621
−.62R,及びスイッチ58の接点り、Rに供給され
る。ここで、釦71Lが押されているものとすると、分
配器57 +−の出力FM信号がスイッチ58を通して
周波数カウンタ59に供給され、ここでその周波数がバ
1数されて周波数表示器60によりその値がディジタル
表示される。
信号(例えば1.3MH1±150kH2)を通過させ
るに必要な帯域に選定されており、また帯域フィルタ5
6Rは通過帯域が右チヤンネルFM信号信号(例えば1
.7M+−12±150kHz )を通過させるに必要
な帯域に選定されている。従って、帯域フィルタ501
−からは無要L1!1時の/FヂψンネルFM信号が取
り出され、帯域フーイルタ56Rからは無変調時の右チ
ヤンネルF M I ;’iが取り出される。帯域フィ
ルタ561−.56RC1;り取り出されたFM信号は
、分配器57+−,57Rにより3分岐されてFM復調
器61 c 、 61 r< 、平均値検波回路621
−.62R,及びスイッチ58の接点り、Rに供給され
る。ここで、釦71Lが押されているものとすると、分
配器57 +−の出力FM信号がスイッチ58を通して
周波数カウンタ59に供給され、ここでその周波数がバ
1数されて周波数表示器60によりその値がディジタル
表示される。
この周波数値は左チャンネル「M信号の無変調キャリア
周波数であるから1.3M+−12である。この周波数
値が1.3M1−17から例えば10 kl−l z以
上離れていた場合は、第2図の可変抵抗器23 +−を
調整して1.3M+−17±10kl−IZ内の周°波
数になるように調整をする。
周波数であるから1.3M+−12である。この周波数
値が1.3M1−17から例えば10 kl−l z以
上離れていた場合は、第2図の可変抵抗器23 +−を
調整して1.3M+−17±10kl−IZ内の周°波
数になるように調整をする。
同様に、釦71Rを押すことにより、周波数表17−
示器60に分配器57Rより取り出された右チヤンネル
FM信号の無変調キャリア周波数を測定表示ざ1!るこ
とかできる。 この周波数値が1.7M117±10k
l−1z外の周波数であるときは、第2図の可変抵抗器
23Rの抵抗値を可変して1.7M t−1l−+=1
0 kl−1z内の周波数となるように調整をする。こ
のようにして、釦71L、71Rを押すだけで、記録さ
れる左、右チヤンネルのFM音声信伏目無変調キャリア
周波数の計測、検査ができ、更にその調整が容易となる
。
FM信号の無変調キャリア周波数を測定表示ざ1!るこ
とかできる。 この周波数値が1.7M117±10k
l−1z外の周波数であるときは、第2図の可変抵抗器
23Rの抵抗値を可変して1.7M t−1l−+=1
0 kl−1z内の周波数となるように調整をする。こ
のようにして、釦71L、71Rを押すだけで、記録さ
れる左、右チヤンネルのFM音声信伏目無変調キャリア
周波数の計測、検査ができ、更にその調整が容易となる
。
次に、FM変調度、FM信号記録レベルを計測検査する
ときは基板上の記録回路へ変調信号として例えば1kH
z正弦波−20dBを供給し、基板のFM小出力入力端
子54に人力する。これにより、第4図(A)のPl−
1−検波方式によるFM復調器61L、61RからはF
M復調された1kl−12の正弦波が取り出されて変調
度表示器63に夫々供給される。変調度表示器63は第
5図に示す如く、万いに色が異なる2つの指針72L及
び72Rを夫々有しており、FM復調器61mよりの左
チ18− ヤンネルの復調信号の直流ピークツウピークレベルを偏
移周波数(lt1位k)−lz)に換棹して指↑172
Lで表示Jると共に、FMtLJ[61Rヨリの右チャ
ンネルの復調信号の直流ピークツウピークレベルを同様
に偏移周波数に換算して指1t72Rで表示する。上記
の基準レベルは、1M信(コの動作デビエーション(例
えば±50kH7)が得られる値に選定されているから
、かかる動作デビエーション(FM変調度)が得られる
ように、表示器63を監視しつつ第2図の可変抵抗器2
1し。
ときは基板上の記録回路へ変調信号として例えば1kH
z正弦波−20dBを供給し、基板のFM小出力入力端
子54に人力する。これにより、第4図(A)のPl−
1−検波方式によるFM復調器61L、61RからはF
M復調された1kl−12の正弦波が取り出されて変調
度表示器63に夫々供給される。変調度表示器63は第
5図に示す如く、万いに色が異なる2つの指針72L及
び72Rを夫々有しており、FM復調器61mよりの左
チ18− ヤンネルの復調信号の直流ピークツウピークレベルを偏
移周波数(lt1位k)−lz)に換棹して指↑172
Lで表示Jると共に、FMtLJ[61Rヨリの右チャ
ンネルの復調信号の直流ピークツウピークレベルを同様
に偏移周波数に換算して指1t72Rで表示する。上記
の基準レベルは、1M信(コの動作デビエーション(例
えば±50kH7)が得られる値に選定されているから
、かかる動作デビエーション(FM変調度)が得られる
ように、表示器63を監視しつつ第2図の可変抵抗器2
1し。
21Rの抵抗値が可変される。このようにして、FM変
調度の計測検査と調整とができる。
調度の計測検査と調整とができる。
一方、平均値検波回路62L、62Rにり取り出された
左、右チャンネルのFM信号の検波信号は、記録レベル
表示器64に供給される。記録レベル表示器64は第5
図に示すように、互いに色が異なる2つの指t173L
及び73Rを夫々有しており、指it 73 Lにより
最大50111Vp−pのレベルまでを表示でき、指針
73nににり最大200mV p −pのレベルまでを
表示できるJ:うに構成されており、平均値検波回路6
2しの出力検波電圧を指針731−により表示し、平均
値検波回路62Rの出力゛検波電圧を指針73Rにより
表示する4M成とされている。従って、表示器64の指
針731−により左チヤンネルFM信号の記録レベルが
計測表示され、指i+ 73 Rにより右チヤンネルF
M信号の記録レベルが計測表示される。指針73L、7
3Rを見ながら、所定の記録レベルを表示するように、
第2図の可変抵抗器25L。
左、右チャンネルのFM信号の検波信号は、記録レベル
表示器64に供給される。記録レベル表示器64は第5
図に示すように、互いに色が異なる2つの指t173L
及び73Rを夫々有しており、指it 73 Lにより
最大50111Vp−pのレベルまでを表示でき、指針
73nににり最大200mV p −pのレベルまでを
表示できるJ:うに構成されており、平均値検波回路6
2しの出力検波電圧を指針731−により表示し、平均
値検波回路62Rの出力゛検波電圧を指針73Rにより
表示する4M成とされている。従って、表示器64の指
針731−により左チヤンネルFM信号の記録レベルが
計測表示され、指i+ 73 Rにより右チヤンネルF
M信号の記録レベルが計測表示される。指針73L、7
3Rを見ながら、所定の記録レベルを表示するように、
第2図の可変抵抗器25L。
25Rの抵抗値が可変される。なお、テープの記録再生
のレベル特性は周知の如く高域周波数で低下するので、
これを補なうために、左チヤンネルFM信号よりも高周
波数の右チヤンネルFM信号の方が記録レベルを大にし
て記録される。
のレベル特性は周知の如く高域周波数で低下するので、
これを補なうために、左チヤンネルFM信号よりも高周
波数の右チヤンネルFM信号の方が記録レベルを大にし
て記録される。
次に再生回路に測定用信号を供給する動作について説明
するに、まず第5図にPBで示した釦を押して測定用信
号出力モードにする。この測定用信号は第4図(B)の
信号発生回路65の出力信号に基づいて生成される。信
号発生回路65は、第5図のつまみ7/Iにより、例え
ば20Hz。
するに、まず第5図にPBで示した釦を押して測定用信
号出力モードにする。この測定用信号は第4図(B)の
信号発生回路65の出力信号に基づいて生成される。信
号発生回路65は、第5図のつまみ7/Iにより、例え
ば20Hz。
1oo1−1z 、4001−17. 1 kl−1z
、5 kl−1z 、10kHz 、 15 kHz
及び201(11zの8種類の同波数のう)5の−の周
波数を発生出力でる。この信号発生回路65よりの甲−
周波数信号は可変アッテネータ66に供給され、ここで
O〜−60,lRまでの範囲内で1市ステツプ又は10
ceスデツブで減衰量が可変される。この減衰量を1
dBステップで小にするときは第5図の釦75を押し、
1 (Eステップで大にするとき(より大なる減衰量を
得るとき)は釦76を押し、10」ステップで減衰量を
小、大にするには釦77.78を押す。釦75〜78を
押した回数がステップ数どなる。
、5 kl−1z 、10kHz 、 15 kHz
及び201(11zの8種類の同波数のう)5の−の周
波数を発生出力でる。この信号発生回路65よりの甲−
周波数信号は可変アッテネータ66に供給され、ここで
O〜−60,lRまでの範囲内で1市ステツプ又は10
ceスデツブで減衰量が可変される。この減衰量を1
dBステップで小にするときは第5図の釦75を押し、
1 (Eステップで大にするとき(より大なる減衰量を
得るとき)は釦76を押し、10」ステップで減衰量を
小、大にするには釦77.78を押す。釦75〜78を
押した回数がステップ数どなる。
信号発生回路65と可変アッテネータ66とは、信号発
生回路を構成しており、その出力信号周波数と減衰量と
は夫々第5図の表示器81.82によりディジタル表示
される。可変アッテネータ66より取り出された音声帯
域の単一周波数信号は、周波数変調器(電圧−周波数変
換器)67し及び67Rに夫々供給されてFM信号に変
換される。なお、−例として減衰量−20」でFM信号
21− のデビエーションが±50kl−Izとなる。周波数変
調器67Lはキャリア周波数1.3MH2を入力信号で
周波数変調して得たFM信号を左チヤンネルFM信号と
して、常閉のスイッチ68Lを通して混合回路69に供
給する。また周波数変調器67Rは周波数変調器67L
と同様に内部調整歪率が1kH2時0.05%以下であ
るが、入力信号でキャリア周波数1.7M Hzを周波
数変調して得たF M (i号を右チヤンネルFM信号
として、常閉のスイッチ68Rを通して混合回路69に
供給する。これにより、混合回路69からは、左チヤン
ネルFM信号と右チヤンネルFM信号とが夫々周波数分
割多重されてなる信号が、再生FM信号として、回路基
板上の第3図に示した再生回路の帯域フィルタ31 +
−及び31Rの入力側に供給される。
生回路を構成しており、その出力信号周波数と減衰量と
は夫々第5図の表示器81.82によりディジタル表示
される。可変アッテネータ66より取り出された音声帯
域の単一周波数信号は、周波数変調器(電圧−周波数変
換器)67し及び67Rに夫々供給されてFM信号に変
換される。なお、−例として減衰量−20」でFM信号
21− のデビエーションが±50kl−Izとなる。周波数変
調器67Lはキャリア周波数1.3MH2を入力信号で
周波数変調して得たFM信号を左チヤンネルFM信号と
して、常閉のスイッチ68Lを通して混合回路69に供
給する。また周波数変調器67Rは周波数変調器67L
と同様に内部調整歪率が1kH2時0.05%以下であ
るが、入力信号でキャリア周波数1.7M Hzを周波
数変調して得たF M (i号を右チヤンネルFM信号
として、常閉のスイッチ68Rを通して混合回路69に
供給する。これにより、混合回路69からは、左チヤン
ネルFM信号と右チヤンネルFM信号とが夫々周波数分
割多重されてなる信号が、再生FM信号として、回路基
板上の第3図に示した再生回路の帯域フィルタ31 +
−及び31Rの入力側に供給される。
これにより、磁気テープの再生信号を用いることなく、
再生回路の各種計測を行なわせることができる。なお、
セパレーションチェック時には、第5図に示した釦79
又は80を押して、第4図22− (B)のスイッチ68し又は68[≧をA)とし、2ヂ
ヤンネルの[M伏目のうち一方のチャンネルのFM信号
を無信号と1)だ信号を混合回路69より出力させ、ま
たS / Nチェック時には釦79及び80を共に押し
て混合回路69の出力「M信号を無信号とする。なお、
第5図に示すスイッチ83をrMIXJ側にすると、第
4図(13)に示した混合回路69の出力信gが外部へ
出力され、rsEPΔRAT「」側に切換えると、スイ
ッチ681−.68Rの両川力信号が左、右fヤンネル
FM信号出力端子に夫々別々に出力される。
再生回路の各種計測を行なわせることができる。なお、
セパレーションチェック時には、第5図に示した釦79
又は80を押して、第4図22− (B)のスイッチ68し又は68[≧をA)とし、2ヂ
ヤンネルの[M伏目のうち一方のチャンネルのFM信号
を無信号と1)だ信号を混合回路69より出力させ、ま
たS / Nチェック時には釦79及び80を共に押し
て混合回路69の出力「M信号を無信号とする。なお、
第5図に示すスイッチ83をrMIXJ側にすると、第
4図(13)に示した混合回路69の出力信gが外部へ
出力され、rsEPΔRAT「」側に切換えると、スイ
ッチ681−.68Rの両川力信号が左、右fヤンネル
FM信号出力端子に夫々別々に出力される。
効果
上述の如く、本発明によれば、信号発生回路。
FM復調器、検波回路1周波数カウンタ、周波数変換器
3表示器等を−の筺体に内蔵するようにしたので、個別
の計測機器を夫々用意した場合に比し、スペース効率を
向上覆ることができると共に安価に構成することができ
、また回路基板に対する接続を切換えることなく、筺体
に設しプだスイッチ、釦操作だけで所望の計測検査項目
を計測できるので、計測作業能率を大幅に向上すること
ができると共に、調整作業能率も向上することができ、
また再生FM信号に相当する信号を信号発生回路により
発生量ノコするようにしたので、磁気テープの再生信号
を使用する場合に比し、テープ特有の劣化等の問題を解
決でき、調整精度を大幅に向上することができると共に
、磁気テープの保管等の煩られしさからも解放され、ま
た前記検波回路は平均値検波回路なので回路構成が簡単
であり、更に周波数カウンタは入力信号のチャンネル数
に拘らず1個で済むので回路構成を更に簡単にすること
ができる等の特長を有するものである。
3表示器等を−の筺体に内蔵するようにしたので、個別
の計測機器を夫々用意した場合に比し、スペース効率を
向上覆ることができると共に安価に構成することができ
、また回路基板に対する接続を切換えることなく、筺体
に設しプだスイッチ、釦操作だけで所望の計測検査項目
を計測できるので、計測作業能率を大幅に向上すること
ができると共に、調整作業能率も向上することができ、
また再生FM信号に相当する信号を信号発生回路により
発生量ノコするようにしたので、磁気テープの再生信号
を使用する場合に比し、テープ特有の劣化等の問題を解
決でき、調整精度を大幅に向上することができると共に
、磁気テープの保管等の煩られしさからも解放され、ま
た前記検波回路は平均値検波回路なので回路構成が簡単
であり、更に周波数カウンタは入力信号のチャンネル数
に拘らず1個で済むので回路構成を更に簡単にすること
ができる等の特長を有するものである。
第1図は回路基板計測検査装置どして使用し得る構成の
一例を示す図、第2図は本発明装置で計測し得る回路基
板」二の記録回路の一例を示す回路系統図、第3図は本
発明装置で計測し得る回路基板上の再生回路の一例を示
す回路系統図、第4図(Δ)、(B)は夫々本発明装置
の一実施例を示寸ブロック系統図、第5図は本発明装置
の一実施例の外観を示す正面図である。 1・・・回路基板、3・・・周波数カウンタ、7・・・
測定用磁気テープ、91〜12L・・・左チヤンネル音
声信号入力端子、9R〜12R・・・右チA7ンネル音
声信号入力端子、17L、17R・・・レベル圧縮及び
エンコーダ、22L、22R・・・周波数変調器(FM
変調器)、25L、25R・・・記録レベル調整用可変
抵抗器、28−1.28−2・・・再生FM音声信号入
力端子、34L、34R・・・ドロップアウト検出回路
、47L、47R・・・レベル伸長及びデコーダ、50
L、50R・・・IC,54・・・FM信号入力端子、
56L、56R・・・帯域フィルタ、58・・・スイッ
チ、59・・・周波数カウンタ、60・・・周波数表示
器、61L、61R・・・FM復調器、62し。 62R・・・平均値検波回路、63・・・変調度表示器
、64・・・記録レベル表示器、65・・・信号発生回
路、66・・・可変アッテネータ、671−.67R・
・・周波数変調器、69・・・混合回路、72m、72
R。 73L、73R・・・指11゜ 25−
一例を示す図、第2図は本発明装置で計測し得る回路基
板」二の記録回路の一例を示す回路系統図、第3図は本
発明装置で計測し得る回路基板上の再生回路の一例を示
す回路系統図、第4図(Δ)、(B)は夫々本発明装置
の一実施例を示寸ブロック系統図、第5図は本発明装置
の一実施例の外観を示す正面図である。 1・・・回路基板、3・・・周波数カウンタ、7・・・
測定用磁気テープ、91〜12L・・・左チヤンネル音
声信号入力端子、9R〜12R・・・右チA7ンネル音
声信号入力端子、17L、17R・・・レベル圧縮及び
エンコーダ、22L、22R・・・周波数変調器(FM
変調器)、25L、25R・・・記録レベル調整用可変
抵抗器、28−1.28−2・・・再生FM音声信号入
力端子、34L、34R・・・ドロップアウト検出回路
、47L、47R・・・レベル伸長及びデコーダ、50
L、50R・・・IC,54・・・FM信号入力端子、
56L、56R・・・帯域フィルタ、58・・・スイッ
チ、59・・・周波数カウンタ、60・・・周波数表示
器、61L、61R・・・FM復調器、62し。 62R・・・平均値検波回路、63・・・変調度表示器
、64・・・記録レベル表示器、65・・・信号発生回
路、66・・・可変アッテネータ、671−.67R・
・・周波数変調器、69・・・混合回路、72m、72
R。 73L、73R・・・指11゜ 25−
Claims (4)
- (1) 入力仁君で所定のキャリア周波数を周波数変調
して得た被周波数変調波信号を記録信号として発生出力
する記録回路ど、再生信号どして入力された被周波数変
調波信号をFM復復調ソノ出力する回路とが搭載された
回路基板の計測検査装置であって、上記入力信gに相当
する基t1(レベルの信号を上記記録回路を通して得た
第1の被周波数変調波信号をFMM復調器「M復調器と
、該FM復調器の出力信号レベルJ:す「M変調度を指
示する第1の表示器と、該第1の被周波数変調波信号を
検波する検波回路と、該検波回路の出力信号1ノベルj
二り配録1ノベルを表示する第2の表示器ど、該基準レ
ベルの信号の上記記録回路への送出停止時におりる該第
1の被周波数変調波信号周波数を計測覆る周波数カウン
タと、レベルを可変し得る信号を発生する信号発生回路
と、該信号発生回路の出力信号で前記所定の周波数と同
一のキャリア周波数を周波数変調して得た第2の被周波
数変調波信号を前記再生回路へ出力する周波数変調器と
よりなり、−の筐体内に収納された上記の各回路により
前記回路基板の計測検査を行なうことを特徴とする回路
基板の計測検査装置。 - (2)該信号発生回路は、互いに周波数が異なる複数の
信号のうち任意に選択された−の周波数の信号を、予め
設定した複数の減衰量のうち任意に選択された減衰量で
減衰して出力する回路である特許請求の範囲第1項記載
の回路基板の4測検査装置。 - (3) 該回路基板は互いにキャリア周波数が異なる複
数チャンネルの被周波数変調波信号を記録信号として出
力すると共に、該複数チャンネルのFM復調信号を得る
回路を搭載されており、該FM復調器、検波回路及び周
波数変調器は夫々該チャンネル数に応じて複数個並列に
設けられ、かつ、該第1及び第2の表示器の相別は夫々
該チA7ンネル故に応じて複数個RQ l−Jられたこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1]1″i記載の回路
基板の計測検査装置。 - (4)該検波回路は平均値検波回路であり、該FM復調
器はフ:[−ズ・ロックド・ループを用いたピーク検波
方式の回路であることを特徴とする特許請求の範囲第1
項記載の回路基板の副側検査装置。 6)該回路基板はnいにキャリア周波数が異なる複数チ
ャンネルの被周波数変調波18号を記録信号として11
1力するど共に、該複数ヂVン才ルのFM復調信号を1
qる回路を搭載されており、該周波数カウンタは入力段
に該複数ブヤンネルの被周波数変調波信号のうl)の任
意の−のチ17ンネルの被周波数変調波信8のみを選択
出力するスイッチを右づることを特徴とげる171訂請
求の範囲第1項又は第3項記載の回路基板のπ1測検査
装四。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58159499A JPS6050751A (ja) | 1983-08-31 | 1983-08-31 | 回路基板の計測検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58159499A JPS6050751A (ja) | 1983-08-31 | 1983-08-31 | 回路基板の計測検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6050751A true JPS6050751A (ja) | 1985-03-20 |
| JPH0140419B2 JPH0140419B2 (ja) | 1989-08-29 |
Family
ID=15695100
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58159499A Granted JPS6050751A (ja) | 1983-08-31 | 1983-08-31 | 回路基板の計測検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6050751A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5965309A (en) * | 1997-08-28 | 1999-10-12 | International Business Machines Corporation | Focus or exposure dose parameter control system using tone reversing patterns |
| US6317211B1 (en) | 1996-05-02 | 2001-11-13 | International Business Machines Corporation | Optical metrology tool and method of using same |
| CN109342916A (zh) * | 2018-08-29 | 2019-02-15 | 昆明理工大学 | 一种基于微控制器的调幅度检测电路装置 |
-
1983
- 1983-08-31 JP JP58159499A patent/JPS6050751A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6317211B1 (en) | 1996-05-02 | 2001-11-13 | International Business Machines Corporation | Optical metrology tool and method of using same |
| US5965309A (en) * | 1997-08-28 | 1999-10-12 | International Business Machines Corporation | Focus or exposure dose parameter control system using tone reversing patterns |
| US6004706A (en) * | 1997-08-28 | 1999-12-21 | International Business Machines Corporation | Etching parameter control system process |
| CN109342916A (zh) * | 2018-08-29 | 2019-02-15 | 昆明理工大学 | 一种基于微控制器的调幅度检测电路装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0140419B2 (ja) | 1989-08-29 |
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