JPS6050922A

JPS6050922A - 位置合わせ装置

Info

Publication number: JPS6050922A
Application number: JP58159241A
Authority: JP
Inventors: Kazuyoshi Sugihara; 和佳杉原; Toru Tojo; 東条　徹; Toshiaki Shinozaki; 篠崎　俊昭; Mitsuo Tabata; 光雄田畑; Tsutomu Ito; 力伊藤; Ichiro Mori; 一朗森
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1983-08-31
Filing date: 1983-08-31
Publication date: 1985-03-22

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の技術分野〕本発明は、電子ビーム露光装置やマスク欠陥検査装置等
の各種のＬＳＩ製造装置に用いられる位置合わせ装置の
改良に係わり、特に電子ビーム等倍転写装置で用いられ
る光電マスクとウェハとの相対位置合わせに好適する位
置合わせ装置に関する。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

従来、シリコンウェハ等の試料上にレジストパターンを
形成するには、微細幅の電子ビームをレジスト上で走査
してレジストを露光する、いわゆる電子ビーム描画方式
が採用されている。しかし、この方式では描画にかなり
の時間を要し、大量のウェハを量産するには限度がある
。従って。

良質のマスクパターンを電子ビーム描画方式で形成し、
これをマスターマスクとして精度を落とさずにウェハに
短時間でパターン転写する電子ビーム転写方式が量産に
適している。しかし、近紫外光による転写では、回折現
象のため０．１［μｍ］オーダの転写ができず、このた
めＸ線や電子線等にて試料上にパターンを転写する各種
の転写装置が即発されている。そして、これらの転写装
置のうちで紫外光を受けて光電子を放出する光電マスク
を用い、このマスクと試料との間に適当な磁界を印加し
、上記マスクから放射された光電子を加速収束せしめて
転写を行う光電面マスク形電子ビーム転写装置が微細パ
ターン転写に最も有効であると考えられている。

光電面マスク形電子ビーム転写装置を用いる場合、光電
マスクとウェハとの間の相対位置合わせをどのような機
構によって行うかが必要な精度を確保する上での重要な
問題となる。すなわち、０．１［μｍ］オーダの転写精
度を達成するためには少なくても位置合わせ機構に次の
ようなことが要求される。

（１）０．１［μｍ］より一桁上、すなわち０゜０１［
μｍ］のステップ送りが可能なＸ方向及びＹ方向の駆動
機構（以下Ｘテーブル、Ｙテーブルと呼ぶ）を持つこと
、さらにこの精度を量産レベルで達成するために同程度
の精度安定性を持つこと。また、Ｘ方向及びＹ方向のス
トロークは、ウェハが予めアライメントされて搬送され
るため、数［＃ｌｌ＋＋］のストロークを持っているこ
と。

（２）上記Ｘテーブル及びＹテーブルのステップ精度に
相当する回転ステップ送りが可能なＺ軸回りの回転機構
く以下θテーブルと呼ぶ）を持つこと。

（３）ウェハと光電マスクとの間の平行度の悪さが転写
パターン歪みを生じさせるため、Ｘ軸及びＹ軸回りの回
転が可能な駆動機構（以下Ｘθテーブル、Ｙθテーブル
と呼ぶ）を持つこと。

（４）ウェハと光電マスクとの間の距離は約６［配］程
度であるがこの間隔でウェハの搬送を行うことは難しい
ため、数１０［ｍ］のストロークができ、また数Ｌμｍ
」の精度で転写位置の位置決めが可能な上下動の移動機
ＩＩ（以下Ｚテーブルと呼ぶ）を持つこと。

（５）０．１　［μｍ］程度の転写精度を達成するため
には、１０うオーダの集束磁界の均一性が必要であり、
このため使用する材才斗はできる限り非磁性であること
。

（６）位置合わせ装置の大形化は真空排気ポンプの大形
化等を招くので、できる限りコンバクＩ・であること。

〈７）光電マスクとウェハとの間には〜５０［Ｋ■］程
度の高電圧が印加されるため、グランド側で上記６軸の
動きを全て行わせること。高圧が印加された側を動かす
ことも可能であるが、安全上の問題が多くグランド側を
可動にせざるをえない。

しかしながら、上記要求の全てを満足する位置合わせ装
置は実在せず、また従来装置の機構や構造を単純に組合
わせて構成することも極めて困難である。このため、上
記要求の全てを満足する新しい装置の開発が望まれてい
る。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、集束磁界に悪影響を与えることなく、
高精度の位置合わせが可能な６軸駆動の位置合わせ装置
を提供することにある。

〔発明の概要〕

本発明の骨子は、微少なステップ送りを行うため印加電
圧の大きさにより伸縮する圧電素子を用い、かつ構成材
料としてできる限り非磁性材料を用いることにある。

すなわち本発明は、６軸駆動を有する位置合わせ装置に
おいて、案内体に転動体を介して案内支持されねじ送り
によりＺ軸方向に移動するＺテーブルと、このＺテーブ
ル上に弾性部材と弾性部材及び印加電圧に応じて伸縮す
る圧電素子の組合わせからなる第１の駆動部材とを並列
的に介して案内支持され上記Ｚ軸に直交するＹ軸回りに
回動するＹθテーブルと、このＹθテーブル上に弾性部
材と弾性部材及び圧電素子の組合わせからなる第２の駆
動部材とを並列的に介して案内支持され上記Ｚ軸及びＹ
軸にそれぞれ直交するＸ軸回りに回動するＸθテーブル
と、このＸθテーブル上に移動自在に載置されＸ方向及
びＹ方向に直進移動すると共にＺ軸を中心として回転す
るＸＹθテーブルと、このＸＹθテーブル上に固定され
その上面に半導体試料を固定保持する試料台とを具備し
、前記ＸＹθテーブルを前記Ｘθテーブル上に移動自在
に載置された第１及び第２の移動部材と、圧電素子から
なりその伸縮方向両端に上記第１及び第２の移動部材が
取着された第３の駆動部材と、上記第１及び第２の移動
部材の回転中心を決定する手段と、上記第１及び第２の
移動部材を前記入θテーブル上に交互に固定すると共に
これらの少なくとも一方を常に固定する手段と、上記第
１及び第２の移動部材の一部にそれぞれ弾性部材を介し
て案内支持された第３及び第４の移動部材と、前記第１
及び第２の移動部材間に接続された圧電素子の伸縮方向
と直交する方向に伸縮する圧電素子からなりその伸縮方
向両端に上記第１．第３の移動部材及び上記第２．第４
の移動部材がそれぞれ取着された第４の駆動部材と、上
記第３及び第４の移動部材を前記Ｘθテーブル上に上記
第１及び第２の移動部材と交互に固定すると共にこれら
の少なくとも一方を常に固定する手段とで構成づるよう
にしたものである。

〔発明の効果〕

本発明によれば、圧電素子の採用により次のような効果
が得られる。

（１）０．０１　［μｌＩｌ］程度のステップ送りが可
能で、かつ原理的には無限のストロークが可能なガタの
ないＸテーブル及びＹテーブルを実現することができる
。

（２）Ｘテーブル及びＹテーブルのステップ精度に相当
する回転ステップ送りが可能で、かつ１回転以上のスト
ロークが可能なガタのないθテーブルを実現することが
できる。

（３）Ｘテーブル、Ｙテーブル及びθテーブル、すなわ
ちＸＹθテーブルを同一平面で形成することができ、コ
ンパクト化をはかることが可能である。

（４）弾性ヒンジと圧電素子との採用により、高い回転
分解能とガタのないＸθテーブル及びＹθテーブルの実
現が可能である。

く５）高い磁界の均一性が要求される領域内の構成材料
を全て非磁性材料で構成することができるので、磁界の
均一性向上をはかり得る。

（６）上記理由から、６軸の動きが可能で極めてコンパ
クトな位置合わせ装置を実現することができる。

〔発明の実施例〕

第１図及び第２図はそれぞれ本発明の一実施例に係わる
位置合わせ装置の概略構成を示す斜視図である。第１図
中１０は半導体ウェハ（試料）を載置する試料台で、こ
の試料台１０の上面には図示しない静電チャック機構が
設けられている。

そして、この試料台１０は支柱１１を介してＸＹθテー
ブル２０上に支持されている。ＸＹθテーブル２０は後
述する如くＸ方向及びＹ方向に直進移動すると共にＺ軸
を中心として回転移動するもので、第２図に示す如くＸ
θテーブル４０上に移動自在に載置されている。Ｘθテ
ーブル４０は２個の弾性ヒンジ４１ａと弾性ヒンジ４１
ｂ及び圧電素子４２からなる駆動部材（第１の駆動部材
）とを並列的に介してＹθテーブル５０上に固定されて
いる。Ｙθテーブル５０は２個の弾性ヒンジ５１ａと弾
性ヒンジ５１ｂ及び圧電素子５２からなる駆動部材（第
２の駆動部材）とを並列的に介してＺテーブル６０上に
固定されている。Ｚテーブル６０は４個のリニアベアリ
ング６１により案内体７０に案内支持されている。案内
体７０は真空容器の壁面９０にボルト等により固定され
ている。Ｚテーブル６０の下部には図示しないナツトが
取付けられており、このナツトにリードネジ６２が螺合
されている。リードネジ６２の下端部にはかさ歯車６３
が取付けられ、リードネジ６２にはかさ歯車６３に噛合
うかさ歯車６４が取付けられた連結棒６５が接続されて
いる。連結棒６５の他端には駆動用モータ８０が取り着
けられており、このモータ８０の回転により連結棒６５
及びり−ドネジ６２が回転し、Ｚテーブル６０がＺ方向
（上下方向）に移動するものとなっている。なお、図中
６６．６７．６８．６９は軸受、７１はＺテーブル１０
と真空容器の壁面９０との間に接続されたベローズを示
している。

次に、上記構成された位置合わせ装置の各部構造をより
具体的に説明する。

第３図はＸＹθテーブル２０の具体的構成を示すもので
（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ＞の矢視Ａ−Ａ断面図で
ある。図中２１．２２．２３゜２４はそれぞれ移動部材
であり、これらの移動部材２１〜２４は導電性の基台、
すなわちＸθテーブル４０上に載置されている。移動部
材２１（第１の移動部材）と移動部材２２（第２の移動
部材）とは−次元弾性ヒンジ２５によって回転伸縮自由
の状態で結合されている。一方、移動部材２３（第３の
移動部材）及び移動部材２４（第４の移動部材）は４個
の一部元弾性ヒンジ２６により移動部材２１．２２にそ
れぞれ接続されている。移動部材２１〜２４の隣接する
もの同士は駆動部材２７ａ、２７ｂ、２８ａ、２８ｂに
よりそれぞれ接続されている。すなわち、移動部材２１
．２２間には２個の駆動部材２７ａ、２７ｂ　（第３の
駆動部材）が、移動部材２１．２３間には駆動部材２８
ａ（第４の駆動部材）が、移動部材２２，２４間には駆
動部材２８ｂ（第４の駆動部材）が設けられティる。駆
動部材２７ａ、２７ｂ、２８ａ。

２８ｂはそれぞれ印加電圧に応じて伸縮する圧電素子、
例えばチタン酸ジルコン酸鉛からなるもので、その伸縮
方向く図中に示す矢印方向）両端に前記各移動部材２１
，２２．２３．２４がそれぞれ取着固定されている。な
お、この固定は接着、ねじ止め或いは圧入のいずれであ
ってもよい。また、駆動部材２７ａにはスイッチを介し
て可変電圧電源が接続され、同様に駆動部材２７ｂ、２
８ａ、２８ｂにもスイッチを介して電源がそれぞれ接続
されるものとなっている。

一方、前記移動部材２１の下部には電極３１及び絶縁層
３２．３３からなる静電チャック（固定手段）が設けら
れており、同様に移動部材２２゜２３．２４の下部にも
静電チャックがそれぞれ設けられている。そして、これ
らの移動部材２１〜２４は上記静電チャックに電圧を印
加することによって基台４０上に吸着固定されるものと
なっている。

このように構成されたＸＹθテーブル２０において、回
転運動をさせるには、まず前記静電チャックにより移、
動部材２２．２４を基台４０上に固定したのち、第４図
（ａ）に示す如く駆動部材２７ａを縮めると共に駆動部
材２７ｂを伸ばす。

これにより、移動部材２１．２３が矢印Ｐ方向に弾性ヒ
ンジ２５を中心として微小回動する。次いで、前記静電
チャックにより移動部材２１．２３を基台４０上に固定
したのち、移動部材２２．２４の固定を解除する。この
状態で第４図（ｂ）に示す如く駆動部材２７ａを伸ばす
と共に駆動部材１２７ｂを縮めると、移動部材２２．２
４が矢印Ｐ方向に弾性ヒンジ２５を中心として微小回動
する。

以上の操作を繰返すことによって、移動部材２１〜２４
は矢印Ｐ方向に微小なステップ送りで回転せしめられる
ことになる。

また、Ｘ方向に直進移動させるには、まず駆動部材２７
ａ、２７ｂの伸び量を同じにし移動部材２１．２２を平
行にする。静電チャックにより移動部材２２．２４を基
台４０上に固定したのち、第５図（ａ）に示す如く駆動
部材２７ａ、２７ｂを同じ長さだけ伸ばす。これにより
、移動部材２１．２３は矢印Ｑ方向に微小に移動する。

次いで、静電チャックにより移動部材２１．２３を固定
したのち、移動部材２２．２４の固定を解除する。

この状態で第５図（ｂ）に示す如く駆動部材２７ａ、２
７ｂを同じ量だけ縮めると、移動部材２２゜２４が矢印
Ｑ方向に微小移動する。以上の操作を繰返すことにより
移動部材２１〜２４は矢印Ｑ方向、すなわちＸ方向に直
進移動せしめられることになる。

Ｙ方向に移動させるには、駆動部材２７ａ。

２７ｂの伸び量を同じにし、さらに駆動部材２８ａ、２
８ｂの伸び量を同じにし、移動部材２１゜２２を平行に
する。静電チャックにより移動部材２１．２２を基台４
０上に固定したのち、第６図（ａ）に示す如く駆動部材
２８ａ、２８．ｂを同じ量だけ伸ばす。これにより、移
動部材２３．２４が矢印Ｒ方向に微小移動する。次いで
、静電チャックにより移動部材２３．２４を固定したの
ち、移動部材２１．２２の固定を解除する。この状態で
第６図（ｂ）に示す如く駆動部材２８ａ、２８ｂを同じ
量だけ縮めると、移動部材２１．２２が矢印Ｒ方向に微
小移動する。以上の操作を繰返すことによって移動部材
２１〜２４は矢印Ｒ方向、すなわちＹ方向に直進移動せ
しめられることになる。

かくして移動部材２１〜２４を回転成いは直進移動させ
ることによって試料を載置した試料台１０を同様に動か
すことができ、また移動部材２１〜２４の運動方向は駆
動部材２７ａ〜２７ｂの各伸縮作用と静電チャックの各
固定作用とを適当に選択することによって、自由にその
方向を設定することができる。

第７図はＸ軸回りの回転を行うＸθテーブル４０の具体
的構造を示す斜視図である。Ｘθテーブル４０は弾性ヒ
ンジ４１ａ、４１ｂを介してＹθテーブル５０上に支持
されている。ここで、２個の弾性ヒンジ４１ａは上記テ
ーブル４０．５０間に直接挿入されているが、弾性ヒン
ジ４１ｂは圧電素子４２を介して挿入されている。また
、弾性ヒンジ４１ａはＸθテーブル４０の回転時の回転
軸となるよう配置されている。こうすることにより圧電
素子４２の伸縮によりＸ軸回りのみの回転が可能となり
、上下方向及びＹ軸回りの回転に対しては極めて高い剛
性を持つことになる。なお、図中４３は前記ＸＹθテー
ブル２０のＸθテーブル４０からのずれ落ちを防止する
ストッパを示している。このストッパ４３はＸＹθテー
ブル２０の直進及び回転移動の妨げとならないようＸＹ
θテーブル２０の外側に該テーブル２０と十分離間する
位置に設けられている。

第８図はＹ軸回りの回転を行うＹθテーブル５０の具体
的構造を示す斜視図である。Ｙθテーブル５０はＸθテ
ーブル４０と同様に弾性ヒンジ５１ａ、５１ｂを介して
２テーブル６０上に固定されている。ここで２個の弾性
ヒンジ５１ａはテーブル５０．６０間に直接挿入されて
いるが、弾性ヒンジ５１ｂは圧電素子５２を介して挿入
されている。また、弾性ヒンジ５１ａは圧電素子５２の
伸縮によりＹθテーブル５０の回転時の回転軸となるよ
うに配置されている。こうすることにより、圧電素子５
２の伸縮によりＹ軸回りのみの回転が可能となり、上下
方向及びＸ軸回りの回転に対して極めて高い剛性を持つ
ことになる。

第９図はＺテーブル６０の具体的構造を一部切欠して示
す斜視図である。Ｚテーブル６０はリニアベアリング６
１を介して案内体７０に上下移動可能に案内支持されて
いる。また、相互に対向するリニアベアリング６１間に
は図示しない転動体及びリテーナが挿入されてその間隔
が決められ、リテーナは重力や往復走行時の微少滑り等
により下方に降下することのないようになっている。Ｚ
テーブル６０の下部には前記リードネジ６２と噛合うナ
ツト７２が設けられ、このナツト７２はゴムパッド等の
弾性部材７３を介してＺテーブル６０の下面に取着され
た円板体７４に固定されている。また、２テーブル６０
の下部にはリードネジの抜は穴が設けられている。リー
ドネジ６２は軸受け６７により片持状態で支持されてお
り、その支持端側にはかさ歯車６３が取付けられており
、このかさ歯車６３にはかさ歯車６４が噛合っている。

これによって、回転軸を９０度曲げている。

かさ歯車６４は連結棒６５の一端に取付けられており、
この駆動軸６５は両端部を軸受け６８，６９で支持され
て、他端に前記駆動用モータ８０が取付けられている。

こうすることによって、モータ８０を中心磁界に影響を
与えない所まで離すことができる。

一方、Ｚテーブル６０の下面には真空シール用ベローズ
７１がリードネジ６２を包み囲むように取付けられ、ベ
ロースフ１の下端が真空容器の壁面９０に取付けられて
いる。これにより、Ｚテーブル６０の上下動を妨げるこ
となく真空シールが可能となっている。

次に、上記構成された本装置の作用について説明する。

まず、７テーブル６０が下降した状態で搬送機構（図示
せず）により試料（ウェハ）が試料テーブル１０上に搬
送され、静電チャックによって保持固定される。次いで
、駆動用モータ８０を回転させてＺテーブル６０を第１
の位置まで上昇させる。この位置で試料と光電マスクと
の平行度を測定し、Ｘθテーブル４０及びＹθテーブル
５０の駆動部材４２．５２を駆動して光電マスクに対す
る試料の傾きを許容値以内に設定する。

この状態を保ったままＺテーブル６０を第２の位置（転
写位置）まで上昇させる。この位置で試料と光電マスク
との相対位置あわせを行う。すなわち、ＸＹθテーブル
２０の各駆動部材２７ａ〜２７ｂを駆動してＸ方向、Ｙ
方向及びθ方向の補正を行う。なお、これらの動作はマ
イクロコンピュータを用いて行うことが可能である。

かくして本装置によれば、６軸方向での位置合わせを行
うことができ、しかも次のような効果が得られる。

（１）印加電圧に応じて伸縮する圧電素子の採用により
、ｏ、ｏｉ　ｃμｍ］程度のステップ送りが可能で、か
つ無限のストロークが可能なガタのないＸテーブル及び
Ｙテーブルを実現することができる。

（２）圧電素子の採用により、Ｘテーブル及びＹテーブ
ルのステップ精度に相当する回転ステップ送りが可能で
、かつ１回転以上のストロークが可能なガタのないθテ
ーブルを実現することができる。

（３）ＸＹθテーブル２０を同一平面で形成しているの
で、全体構成のコンパクト化が可能である。

（４）弾性ヒンジ４’１ａ、５１ａと圧電素子４２゜５
２との採用により、高い回転分解能とガタのないＸθ′
４０テーブル及びＹθテーブル５０の実現が可能である
。

（５）高い磁界の均一性が要求される領域内の構成材料
を全て非磁性材料で構成できるので、磁界の均一性向上
をはかり得る。

なお、本発明は上述した実施例に限定されるものではな
い。例えば、前記ＸＹθテーブルを構成する第１及び第
２の移動部材と第３及び第４の移動部材とは必ずしも同
一平面上に設ける必要はなく、第１及び第２の移動部材
の上若しくは下に第３及び第４の移動部材を設けるよう
にしてもよい。また、ＸＹθテーブルの各構成部材や弾
性ヒンジの形状等は、仕様に応じて適宜変更可能である
。さらに、前記各移動部材を固定する手段として、静電
チャックの代わりに圧電素子の伸縮を利用することも可
能である。さらに、各種テーブルその他の構成材料を非
磁性材料で構成し、より高い磁界の均一性をはかること
も可能である。その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲
で、種々変形して実施することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図はそれぞれ本発明の一実施例に係わる
位置合わせ装置の概略構成を示す斜視図、第３図は上記
装置に使用したＸＹθテーブルの具体的構造を示すもの
で第３図（ａ）は平面図、第３図（ｂ）は同図（ａ）の
矢視Ａ−Ａ断面図、第４図（ａ）（ｂ）　〜第６図（ａ
）（ｂ）はそれぞれ上記ＸＹθテーブルの作用を説明す
るための平面図、第７図は上記装置に使用したＸθテー
ブルの具体的構造を示す斜視図、第８図は上記装置に使
用したＹθテーブルの具体的ｍ造を示す斜視図、第９図
は上記装置に使用した２テーブルの具体的構造を一部切
欠して示す示す斜視図である。１０・・・試料台、２０・・・ＸＹθテーブル、２１・
・・第１の移動部材、２２・・・第２の移動部材、２３
・・・第３の移動部材、２４・・・第４の移動部材、２
５゜２６・・・弾性ヒンジ、２７ａ、２７ｂ・・・第３
の駆動部材、２８ａ、２８ｂ・・・第４の駆動部材、４
０・・・Ｘθテーブル、４１ａ、４１ｂ・・・弾性部材
、４２・・・第２の駆動部材、５０・・・Ｙθテーブル
、５１ａ。５１ｂ・・・弾性部材、５２・・・第１の駆動部材、６
０・・・２テーブル、６１・・・リニアベアリング、６
２・・・リードネジ、６３．６’３かさ歯車、６５・・
・連結棒、７０・・・案内体、７１・・・ベローズ、７
２・・・ナツト、７３・・・弾性部材、７４・・・円板
体、８０・・・駆動用モータ、９０・・・真空容器の壁
面。出願人代理人　弁理士　鈴江武彦第７図第８図第９図第１頁の続き０発　明　者　伊　藤　力　川崎市幸区小向東芝町１研
究所内０発　明　者　森　−朗　川崎市幸区小向東芝町１研究
所内：番地　東京芝浦電気株式会社総合り番地　東京芝浦電気株式会社総合１１７−

Claims

【特許請求の範囲】

（１）案内されＺ軸方向に移動可能なＺテーブルと、こ
のＺテーブル上に弾性部材と弾性部材及び印加電圧に応
じて伸縮する圧電素子の組合わせからなる第１の駆動部
材とを並列的に介して案内支持され上記Ｚ軸に直交する
Ｙ軸回りに回動するＹθテーブルと、このＹθテーブル
上に弾性部材と弾性部材及び圧電素子の組合わせからな
る第２の駆動部材とを並列的に介して案内支持され上記
Ｚ軸及びＹ軸にそれぞれ直交するＸ軸回りに回動する×
θテーブルと、このＸθテーブル上に移動自在に載置さ
れＸ方向及びＹ方向に直進移動すると共にＺ軸を中心と
して回転するＸＹθテーブルと、このＸＹθテーブル上
に固定されその上面に試料を固定保持する試料台とを具
備し、前記ＸＹθテーブルは前記Ｘθテーブル上に移動
自在に載置された第１及び第２の移動部材と、圧電素子
からなりその伸縮方向両端に上記第１及び第２の移動部
材が取着された第３の駆動部材と、上記第１及び−第２
の移動部材の回転中心を決定する手段と、上記第１及び
第２の移動部材を前記Ｘθテーブル上に交互に固定する
と共にこれらの少なくとも一方を常に固定する手段と、
上記第１及び第２の移動部材の一部にそれぞれ弾性部材
を介して案内支持された第３及び第４の移動部材と、前
記第１及び第２の移動部材間に接続された圧電素子の伸
縮方向と直交する方向に伸縮する圧電素子からなりその
伸縮方向両端に上記第１．第３の移動部材及び上記第２
．第４の移動部材がそれぞれ取着された第４の駆動部材
と、上記第３及び第４の移動部材を前記Ｘθテーブル上
に上記第１及び第２の移動部材と交互に固定すると共に
これらの少なくとも一方を常に固定する手段とからなる
ものであることを特徴とする位置合わせ装置。
（２）前記案内体、試料台及び各テーブルの構成材料は
、非磁性材料からなるものであることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の位置合わせ装置。
（３）前記各圧電素子は、チタン酸ジルコン酸鉛で形成
されたものであることを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載または第２項記載の位置合わせ装置。
（４）前記各固定部材は、電極及び誘電層からなる静電
チャック機構で形成されたものであることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の位置合わせ装置。
（５）前記第１及び第２の移動部材の回転中心を決定す
る手段として、材料の弾性を利用した弾性ヒンジで上記
各移動部材を接続してなることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の位置合わせ装置。