JPS605116U - 気相成長用サセプタ - Google Patents

気相成長用サセプタ

Info

Publication number
JPS605116U
JPS605116U JP9621583U JP9621583U JPS605116U JP S605116 U JPS605116 U JP S605116U JP 9621583 U JP9621583 U JP 9621583U JP 9621583 U JP9621583 U JP 9621583U JP S605116 U JPS605116 U JP S605116U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
susceptor
vapor phase
phase growth
placing
heating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9621583U
Other languages
English (en)
Inventor
長谷野　義男
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP9621583U priority Critical patent/JPS605116U/ja
Publication of JPS605116U publication Critical patent/JPS605116U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のサセプターを示す図で、第１ａ図は平面
図、第１ｂ図はａ図のＡ−Ａ’における断面図。第２図
は本考案のサセプターの一実施例を示す図で、第２ａ図
は平面図、第２ｂ図はａ図のＢ−Ｂ’における断面図で
ウェハー及びスペーサーを載置した部分拡大図である。 １０．２０・・・・・・炭化けい素、１１．２１・・曲
サセプター、１２．２２・・・・・・ウェハー、１３．
２３・・・・・・外側凹部、２４・・・・・・内側凹部
、２５・・・・・・スペーサー、２６・・・・・・炭素
芯材。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ウェハーを載置するための凹部を二段有する板状部材と
    、スペーサーを載置し加熱する支持加熱−用部材とを有
    して成ることを特徴とする気相成長用サセプタ。
JP9621583U 1983-06-22 1983-06-22 気相成長用サセプタ Pending JPS605116U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9621583U JPS605116U (ja) 1983-06-22 1983-06-22 気相成長用サセプタ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9621583U JPS605116U (ja) 1983-06-22 1983-06-22 気相成長用サセプタ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS605116U true JPS605116U (ja) 1985-01-14

Family

ID=30229399

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9621583U Pending JPS605116U (ja) 1983-06-22 1983-06-22 気相成長用サセプタ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS605116U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6244981U (ja) * 1985-09-02 1987-03-18

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6244981U (ja) * 1985-09-02 1987-03-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS58131964U (ja) 半導体物質溶融用黒鉛ルツボ
JPS5850728U (ja) 音叉型振動子の支持構造
JPS58416U (ja) 半導体製造治具
JPS59145572U (ja) 白金るつぼ
JPS59103767U (ja) カ−ボン坩堝
JPS59159949U (ja) サセプタ
JPS59138213U (ja) チユ−ブラ型ソレノイドコイル
JPS6011445U (ja) 半導体ウエハ
JPS6273534U (ja)
JPS60121875U (ja) 肩掛け付き枕カバ−
JPS6013048U (ja) 二人掛け回転式ソフア−
JPS6089282U (ja) 気相成長用サセプタ−
JPS60163020U (ja) 布製チヤツク
JPS60144523U (ja) 空気の層をもつボデイカバ−
JPS59111039U (ja) 拡散用石英管
JPS59160563U (ja) 気相成長装置用サセプタ
JPS5896402U (ja) ガスバ−ナの固定装置
JPS59111231U (ja) 磁石付内張り材
JPS58107083U (ja) 紙コツプ
JPS58168574U (ja) 気相成長反応炉
JPS5973251U (ja) 鍋
JPS5839249U (ja) マグネツト枕カバ−
JPS60163068U (ja) 磁石付陶器枕
JPS5916995U (ja) 薄肉金属るつぼを高周波誘導加熱するためのるつぼ支持台
JPS58120591U (ja) ヒ−タ体の支持構造