JPS605119U - 露光装置 - Google Patents
露光装置Info
- Publication number
- JPS605119U JPS605119U JP9653783U JP9653783U JPS605119U JP S605119 U JPS605119 U JP S605119U JP 9653783 U JP9653783 U JP 9653783U JP 9653783 U JP9653783 U JP 9653783U JP S605119 U JPS605119 U JP S605119U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exposure
- mercury lamp
- power level
- illuminance
- exposure equipment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は、従来の露光装置のブロック図、第２図はこの
考案の露光装置の一実施例のブロック図、第３図はこの
考案の露光装置の一実施例の概略構成図、第４図はこの
考案の露光装置の動作を説明するためのタイミングチャ
ート、第５図ａはこの考案の露光装置の他の実施例の要
部の平面図、第５図すは第５図ａの平面図である。 １・・・水銀灯用電源、２・・・光マスク露光装置、３
・・・光マスク露光装置制御装置、４・・・超高圧水銀
灯、５・・・露光装置ステージ部、６・・・ブランクス
、７・・・リミットスイッチ、訃・・光センサ、９・・
・反射鏡、１０・・・フォト・センサー用光源、１１・
・・フォト・センサー。
考案の露光装置の一実施例のブロック図、第３図はこの
考案の露光装置の一実施例の概略構成図、第４図はこの
考案の露光装置の動作を説明するためのタイミングチャ
ート、第５図ａはこの考案の露光装置の他の実施例の要
部の平面図、第５図すは第５図ａの平面図である。 １・・・水銀灯用電源、２・・・光マスク露光装置、３
・・・光マスク露光装置制御装置、４・・・超高圧水銀
灯、５・・・露光装置ステージ部、６・・・ブランクス
、７・・・リミットスイッチ、訃・・光センサ、９・・
・反射鏡、１０・・・フォト・センサー用光源、１１・
・・フォト・センサー。
Claims (1)
- 露光装置ステージ部と連動するスイッチ手段と、このス
イッチ手段により、水銀灯を露光に必要かつ最適な露光
パワーレベルまたは上記水銀灯の消費電力を最少限に押
さえかつ照度の安定に理想のアイドルパワーレベルに制
御する制御手段と、露光照度を検出する光センサと、こ
の先センサの信号に応じて上記水銀灯の露光パワーレベ
ルを制御する手段とを具備してなる露光”装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9653783U JPS605119U (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9653783U JPS605119U (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS605119U true JPS605119U (ja) | 1985-01-14 |
Family
ID=30230021
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9653783U Pending JPS605119U (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS605119U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2022224576A1 (ja) * | 2021-04-23 | 2022-10-27 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 照明装置の制御方法及び露光装置 |
-
1983
- 1983-06-24 JP JP9653783U patent/JPS605119U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2022224576A1 (ja) * | 2021-04-23 | 2022-10-27 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 照明装置の制御方法及び露光装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS605119U (ja) | 露光装置 | |
| JPS6122034U (ja) | 露光量調整装置 | |
| JPS5911560U (ja) | 原稿照明装置 | |
| JPS58169760U (ja) | モニタ−テレビ付インタ−ホン | |
| JP2939652B2 (ja) | 映像転写装置及び電子カメラ | |
| JPS5948580U (ja) | 液晶表示装置 | |
| JPS5946497U (ja) | 放電灯点灯装置 | |
| JPS605098U (ja) | 照明自動点燈装置 | |
| JPS5989337U (ja) | オ−バ−ヘツドプロジエクタ− | |
| JPH0453234U (ja) | ||
| JPS6056085U (ja) | 表示板の照明装置 | |
| JPS5998642U (ja) | 照明光源装置 | |
| JPS60102898U (ja) | パネルの絵柄面積率測定装置における光源光量調整装置 | |
| JPS5821126U (ja) | 表示輝度可変型の表示装置 | |
| JPS5845522U (ja) | 液晶表示装置 | |
| JPS5883864U (ja) | 調光光源装置 | |
| JPS58121026U (ja) | カメラの電源回路 | |
| JPS58160383U (ja) | 電子機器の表示部照明装置 | |
| JPS58185818U (ja) | 顕微鏡の照明光源制御装置 | |
| JPS6146540U (ja) | 複写機の照明装置 | |
| JPS5836780U (ja) | 液晶表示素子の照明装置 | |
| JPS59152990U (ja) | 位相制御装置 | |
| JPS6026481U (ja) | 展望用エレベ−タ−のかご内照明制御装置 | |
| JPS60135777U (ja) | 表示装置 | |
| JPS5831697U (ja) | 照明灯の自動点消灯装置 |